- Prehľad
- Dopyt
- Súvisiace produkty

Argón (AR), fluór (F2), hélium (He), néon (Ne) – predzmiešané plyny používané na excitáciu lásere v oftalmologickom excimerovom laserovom zariadení sú predovšetkým fluór a argón, pričom ako vyvážiaci plyn sa používa néon. Fľaše dodávané našou spoločnosťou sú oceľové, bezpečnosť sa kontroluje pred každým plnením a nefunkčné fľaše sa nepreplňujú, ale recyklujú. Excimerové laserové plyny pozostávajú zo zmesi vzácneho plynu (inertného plynu) a halogénu. 193 nm lúč sa vytvorí reakciou Ar a F2 pod vhodnými podmienkami elektrickej stimulácie a vysokého tlaku. Tento proces vyžaduje vysokú technológiu a je schopných ho vykonávať len niekoľko plynárskych spoločností na svete
Excimer ply pre čiastkové modely |
||||||
Značka |
Vlnová dĺžka |
Cylinder |
Ventil |
|||
Coherent |
193nm |
20 l |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 L/50 L |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10L/20 L |
DIN 14 |
|||
VISX |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 l |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
20L |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193nm |
10 l |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||






AGEM predstavuje presne navrhnuté riešenie pre potreby zmesí plynov pre excimerové lasery: kalibračný plyn pre kryptónový excimerový laser pozostávajúci z Xe, Kr a Ne, prispôsobený náročným aplikáciám v oblasti fotolitografie a technologických plynov pre polovodičové výrobné procesy. Ako dôverihodný dodávateľ špeciálnych plynov využíva AGEM desaťročia odborných skúseností v oblasti výroby plynov a výskumu a vývoja (R&D) na dodávanie kalibračných zmesí Kr/Xe/Ne, ktoré spĺňajú prísne požiadavky na čistotu, stabilitu a sledovateľnosť v produkčných i laboratórnych prostrediach.
Prehľad výrobku a kľúčové vlastnosti
Táto zmes plynov pre excimerové lasery je formulovaná na podporu systémov excimerových laserov s kryptónom a xenónom a na poskytnutie presnej kalibračnej výkonnosti Kr/Xe/Ne pre optické a elektronické výrobné procesy. Kalibračný plyn AGEM pre excimerové lasery s kryptónom – zmes plynov Xe, Kr, Ne – je dostupný v kontrolovaných koncentráciách s prísne overenou presnosťou. Zmes plynov pre excimerové lasery profituje z prísnych kontrol kvality AGEM a dlhoročnej skúsenosti s riešeniami špeciálnych plynov, čo zabezpečuje spoľahlivé dodávky a predvídateľné správanie za prevádzkových podmienok.
- Čistota a konzistencia: AGEM zaisťuje vysokú čistotu zložiek a presné zmiešavanie, aby vytvorila konzistentnú zmes plynov pre excimerové lasery. Kalibračná zmes Kr/Xe/Ne sa vyrába pomocou overených postupov a pokročilých analytických techník, čím sa minimalizujú nečistoty, ktoré by mohli ovplyvniť výkon laseru alebo presnosť kalibrácie.
- Stopovateľná kalibrácia: Každá fľaša kalibračného plynu Kr/Xe/Ne obsahuje stopovateľné osvedčenie a dávkovú dokumentáciu, čím podporuje postupy a kvalitné systémy v súlade so štandardom ISO pre polovodičové výrobné závody (Fabs) a laboratóriá. Zmes plynov pre excimerový laser je vhodná pre kritické metrológie, kde sú nevyhnutné stopovateľnosť a zdokumentovaná kvalita.
- Stabilita a trvanlivosť: Zloženie a balenie zachovávajú integritu zmesi plynov pre excimerový laser počas skladovania a prepravy, čím sa zníži riziko zmeny zloženia. Riešenia AGEM pre špeciálne plyny zahŕňajú správu fľaší a odporúčania pre ich skladovanie, aby sa zachovala stabilita plynov počas prevádzky.
- Bezpečnosť a zhoda: Kalibračný plyn Kr/Xe/Ne sa vyrába v súlade s regulačnými požiadavkami a najlepšími postupmi a spĺňa bezpečnostné, označovacie a manipulačné štandardy potrebné pre priemyselné a laboratórne prostredia. AGEM poskytuje bezpečnostné listy údajov (SDS) a technickú podporu pre integráciu do existujúcich infraštruktúr na manipuláciu s plynmi.
Použitie
Kalibračný plyn AGEM Krypton Excimer Laser Gas Xe Kr Ne je navrhnutý pre rôzne aplikácie, kde je kritická presná zloženie plynu a kalibračné správanie:
- Fotolitografia a mikrofabrikácia: Ako zmes pre excimerový laser podporuje tento plyn systémy laserov KrF a XeCl a umožňuje presné vytváranie vzorov a kalibračné úlohy pri výrobe polovodičov. Kalibračný plyn Kr/Xe/Ne je optimalizovaný tak, aby udržiaval konštantné charakteristiky expozície a overoval parametre výstupu laseru.
- Kalibrácia plynov používaných v polovodičových procesoch: Kalibračná zmes Kr/Xe/Ne je vhodná na kalibráciu senzorov, regulátorov prietoku a analytických prístrojov používaných pri správe plynov v polovodičových procesoch. Špeciálne plynové riešenia AGEM zabezpečujú spoľahlivé referenčné štandardy, ktoré sú nevyhnutné pre kontrolu procesov a optimalizáciu výťažku.
– Výskum a vývoj: Výskumné laboratóriá zamerané na vývoj laserov, optickú metrológiu a diagnostiku plynnej fázy môžu spoľahnúť na zmes excimerových plynov AGEM na dosiahnutie reprodukovateľných experimentálnych podmienok. Kalibračný plyn Kr/Xe/Ne podporuje vývoj metód, overovanie prístrojov a porovnávacie štúdie.
– Testovanie optických komponentov: Kalibrácia spektroskopických systémov, UV detektorov a iných optických prístrojov profituje z presných kalibračných zmesí plynov Kr/Xe/Ne od AGEM. Zmes excimerových plynov pomáha stanoviť základné odpovede a overiť lineárnosť prístrojov.
Inovácia a technické výhody
AGEM kombinuje odborné znalosti z oblasti vedy o materiáloch a inovácie v zmiešavaní plynov, čím poskytuje výrazné technické výhody:
- Pokročilá technológia miešania: AGEM využíva vysokopresnú technológiu hmotnostného prietoku a miešania na dosiahnutie presných pomerov zmesí výbojových plynov pre excimerové lasery. Táto presná technika miešania zníži rozdiely medzi jednotlivými šaržami a poskytne kalibračné plyny Kr/Xe/Ne, ktoré sa správajú predvídateľne v citlivých prístrojoch a laserových systémoch.
- Spoľahlivá záruka kvality: Každá fľaša kalibračného plynu Kr/Xe/Ne podstupuje komplexnú analýzu pomocou najnovšej prístrojovej techniky na potvrdenie zloženia a úrovne nečistôt. Riešenia AGEM pre špeciálne plyny sú podporované dôkladnou dokumentáciou a protokolmi kontroly kvality, ktoré sú navrhnuté pre prostredia vyžadujúce vysokú spoľahlivosť.
- Prispôsobené riešenia: AGEM ponúka individuálne prispôsobené zmesi kalibračných plynov Kr/Xe/Ne, ktoré vyhovujú špecifickým požiadavkám zákazníkov týkajúcim sa koncentrácie, veľkosti fľaše a certifikácie. Zmes výbojových plynov pre excimerové lasery možno upraviť pre konkrétne laserové systémy alebo kalibračné štandardy, čím sa umožní optimalizovaný výkon v rôznych prevádzkových scenároch.
– Globálna podpora s lokálnou reaktívnosťou: Výskumné a vývojové schopnosti AGEM a jeho globálna distribučná sieť umožňujú rýchlu reakciu a technickú podporu v šiestich regiónoch. Zákazníci profitujú z lokálneho dodávania pri zachovaní prístupu k odborným riešeniam AGEM pre špeciálne plyny a konzistentnej kvalite výrobkov.
Technické špecifikácie – reprezentatívne
Kalibračný plyn AGEM pre kryptónové excimerové lasery – zmes plynov Xe, Kr, Ne – je dostupný v rôznych zloženiach a konfiguráciách tlakových nádob. Typické vlastnosti zahŕňajú: overené koncentrácie kryptónu, xenónu a néonu v presne kontrolovanej pomere; špecifikácie nečistôt v súlade s požiadavkami polovodičového priemyslu a laboratórií; a certifikovanú dokumentáciu pre sledovateľnosť. AGEM môže na vyžiadanie poskytnúť presné analytické správy a certifikát analýzy.
Odporúčania pre používanie a manipuláciu
– Inštalujte a používajte zmes plynov pre excimerový laser v súlade s pokynmi výrobcu pre laserové systémy a infraštruktúru na manipuláciu s plynmi. – Dodržiavajte odporúčania AGEM týkajúce sa skladovania a správy tlakových nádob, aby ste zachovali integritu kalibračného plynu Kr/Xe/Ne. – Poradte sa s technickým tímov AGEM pri kalibračných protokoloch, výbere koncentrácie a bezpečnostných opatreniach prispôsobených vašej prevádzkovej prostredie.
Prečo si vybrať AGEM
AGEM sa zaväzuje k nekompromisnej excelentnosti výrobkov. Ako taiwanská spoločnosť vyrábajúca plyny a vyvíjajúca ich, špecializujúca sa na riešenia so špeciálnymi plynmi, AGEM spojuje prísne kontroly kvality s hlbokými odbornými poznatkami v oblasti elektronických, hromadných a kalibračných plynov. Zákazníci, ktorí si vyberú AGEM pre svoje potreby kalibrácie Kr/Xe/Ne, získajú prístup k výrobkom vysokopresných zmesí plynov pre excimerové lasery, spoľahlivej dokumentácii a technickej podpore pre polovodičové procesné plyny a presné optické aplikácie.
Pre organizácie, ktoré vyžadujú spoľahlivé riešenia pre zmesi plynov pre excimerové lasery a presný kalibračný výkon Kr/Xe/Ne, predstavuje kalibračný plyn AGEM pre kryptonový excimerový laser – zmes plynov Xe, Kr a Ne – vysokokvalitnú, stopeľnú a prispôsobiteľnú možnosť. Táto zmes plynov pre excimerové lasery je podporovaná odbornými riešeniami AGEM pre špeciálne plyny a prísnym systémom zabezpečenia kvality a slúži kritickým aplikáciám v oblasti fotolitografie, kalibrácie plynov používaných v polovodičových procesoch a výskumových účelov, kde sú rozhodujúce stabilita, čistota a dokumentácia.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ