- Prehľad
- Spýtať sa
- Súvisiace produkty



Názov produktu: |
Hexafluorid síry |
Čistota: |
99,9-99,999% |
Číslo CAS |
2551-62-4 |
EINECS číslo |
219-854-2 |
MF: |
F6S |
Molárna hmotnosť |
2551-62-4.mol |
ON č.: |
1080 |
Riziková trieda |
2.2 |
Vzhľad: |
bezbarvý |
Vonos: |
farebný plyn |
Položka kontroly |
jednotka |
Čistota |
|
SF6 |
% |
≥99,999 |
≥99,99 |
O2+Ar |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤10 |
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤30 |
H2O |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤10 |
HF |
ppmw |
≤40 |
≤0.3 |
THC(CH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1.0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
C) |
ppmw |
≤0.5 |
≤ 2 |
Aplikácia:
Polovodič |
Plazmové etčenie. Etčnica/rozkladový produkt fluorového plazmu môže vykonávať etčenie |
||||||
Lekárstvo |
Anestézia, opravy oddelenia zornice, ultražarové obrazovanie |
||||||
Elektrické zariadenia |
Prepínače vysokého napätia a aparatura izolovaná plynom |
||||||
Vysokoenergetické mikrovlnné systémy |
Tlčí vlnovod, izoluje vlnovod a bráni vzniku vonkajšieho oblúku |

Veľkosť balenia |
40Ltr Cylinder |
47 litrová valca |
50Ltr Cylinder |
||
Výplňový obsah\/Cyl |
50kg |
52 kg |
55-60kg |
||
Množstvo v 20 stopovom kontajneri |
260Cyl |
260Cyl |
260Cyl |
||
Ventil |
CGA580, CGA590, QF-2C |







