Polprevodniki so v vseh stvari, od vaših pametnih telefonov in osebnih računalnikov do katerega koli druge vrste elektronskega pripomočka. Morajo biti izdelani skozi določen postopek in uporabljati večinsko različne pline. Naslednje poudarja pregled mnogih vrst plinov, ki jih uporablja le ena industrija, ter kako te visoko tehnične snovi služijo za izdelavo stvari, od katerih resnično odvisni. Različne vrste plinov, ki se uporabljajo v svetu proizvodnje polprevodnikov. Polprevodniki se oblikujejo z uporabo kompleksne vrstice postopkov, kot so graviranje, osaditev in čiščenje. Različne lastnosti in uporabe teh plinov se spreminjajo glede na določeno uporabo ali atmosferske pogoje, bodisi okoli dobaviteljev industrijskih plinov, specialnih dobaviteljev polprevodniških plinov, famoznih, ali pa v laboratoriju, pri čemer ponujajo širok spekter primernih lastnosti za vse njihove potrebe. Danes bomo predstavili nekaj ključnih plinov, ki se uporabljajo v procesih izdelave materialov. Silan SiH4: Ta plin je barven in se tudi pojavlja kot pomemben silicijev elektronski material. Znano je, da je zelo dinamičen in hitro reagira s kisikom in vodo, da ustvari silicijsko oksid SiO in hlorid vodika. Silan se lahko uporabi za namestitev silicijskih snovi, kot je SiNx, bodisi hitro ali pri relativno nizki temperaturi. Element azot N2: Ta plin je inerten in preprečuje oksidacijo. Izdelava ga je neprestano potrebna za čiščenje naprave vzdrževalnega procesa, da se odstrani preplavanje O2 in vlage. Takšen plin se bo uporabil tudi za omogočanje in transport dejavnosti drugih plinov, deluje kot nosilni plin v osaditvi parov niklu in plazmensko povečano osaditvi niklu.
Vodik (H2) - Vodik se uporablja kot redukcijski plin, ki odstrani nečistote iz materialov. V proizvodnji polprevodnikov je to pomemben korak v procesih, kot so anealing in čiščenje. Poleg tega sestavlja metalne vrata, ki so potrebna za proizvodnjo naprednih CMOS uređajev.
Stabilni kisik (O2/O) - vnesite list in specifikacije časov dostave itd. Plinski kisik, medtem ko se uporablja v mnogih plazmenskih procesih, kot so izrezovanje in odklanjanje/žganjenje, služi tudi kot reaktant za oksidacijo kremenijevih materialov v SiOx ali pasiviranje kovinskih površin skozi oksidacijo.
Klor (Cl2): Klor je rumeno ali rdeče puščasto, nekovaščino z ostrih mirosom v tekoči obliki. Ta plin, ki je zelo reaktivne z kremenijevimi materiali, kremenično dvokisom in mnogimi kovinami, kot je aluminij, ima številne uporabe v izrezovanju polprevodniških struktur.
Fakt, da se plinovi uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, je pripeljal do ustvarjanja visoke kakovosti elektronike, kot jo proizvajajo povečane zmogljivosti proizvodnje polprevodnikov. Plinovi imajo tudi več značilnih uporab in prednosti v industriji polprevodnikov.
Plinovi, kot so silan, amonijak in dušik, se uporabljajo za odložitev silicon oxide ali nitrida, ki bodo deli tankih filmov polprevodnikov. Odložitev.
Izrezovanje: Uporablja se za izbirno odstranjevanje neželenih snovi ali vzorcev s polprevodnikov z uporabo plinov, kot so clor, fluor in kisik.
Procesni plinovi: Vodonik in dušik sta potrebni za delovanje opreme za čiščenje polprevodnikov (purifikacija), da se zmanjšajo onesnaževalci, ki lahko vplivajo na učinkovitost naprave.
Posploševanje: Ena od njegovih glavnih uporab je pri ohranjanju opreme, ko posluzuje kot posploševalni plin, ki odstrani kisik in vlago iz sistema, tako da ohranja snovi brez onesnaženja.
V skladu s tem, poiskus po vedno bolj sofisticiranih materialih in postopkih ne pozna konca, saj napreduje polprevodniška industrija. izboljšane plinove je ključnih za prihodnje napredke v polprevodnikih. Tukaj so le nekateri izmed teh visokotehnoloških plinov v proizvodnji polprevodnikov:
Fluorocarboni: Razlog, da so fluoriranje plinovi dobro za izdelavo najnovejših oblik krožnic, je, ker reagirajo agresivno in izbirno tako za izrezovanje (odstranitev kosov) kot za depositiranje (dodajanje delov).
CO2 - Neaktiven plin, uporabljen za aplikacije, kot so splaščevanje, CVD in čiščenje.
Čeprav ga je treba obravnavati kot korak naprej v proizvodnji polprevodnikov, zgolj zaradi novih dostavnih sistemov, ki so danes mogoči. Proizvajalci vedno iščejo načine, kako izboljšati učinkovitost, zmanjšati odpade in povečati varnost. Nekatere od najnovejših naprednih plinov in kemikalij, ter sistemov za dostavo, ki so zdaj na voljo, so navedene kar spodaj.
Sistem za dostavo plina (za pline, ki natančno nadzirajo male količine plinov/kemičnih tekočin, potrebnih v polprevodnikih)
Vir: Napredni sistemi mokre počiščevanja ploščic z ozonskim plazmim in vodikovim peroksidom za najučinkovitejše metode odstranjevanja onesnaževal iz materiala za polprevodnike.
Plini za polprevodnike lahko povečujejo povpraševanje po učinkovitejših elektronikah, vendar predstavljajo tudi nevarne okoljske grožnje. Obstajajo nekateri programi za zmanjšanje odpadkov in recikliranje plinov ter drugih stvari znotraj industrije polprevodnikov. To ni drugačno od tega, kako proizvajalci delujejo, da utišajo okoljske skrbi, povezane s plini za polprevodnike;
Prvi in najbolj neposredni način je zmanjševanje odpadkov -> Proizvajalci vedno iščejo načine za zmanjšanje količine odpadkov, ki se jih pri proizvodnji polprevodnikov. Stvari kot zmanjšanje količin kemičnih snovi in plinov, recikliranje tam, kjer je to mogoče, ali ustvarjanje zaključenih sistemov.
Ponovno uporaba: Ponovna uporaba plinov in kemičnih snovi bo še ena ključna metoda, ki pomaga zmanjšati vplive na okolje. Obrazec odpadkov lahko proizvajalci znatno zmanjšajo tako, da omogočijo ponovno uporabo, očiščevanje in recikliranje plinov ali kemičnih snovi, uporabljenih med proizvodnjo.
Povzetek: Plinovi so bistveni za izdelavo nekaterih najboljših elektronskih naprav. Proizvajalci se posvečajo izboljšanju jakob plinov kot tudi rešitev za njihovo dostavo, ki pridružujejo optimalne postopke, zmanjšanje odpadkov in varnost skupnosti. Polprevodniški sektor bo tudi dalje šel po poti zmanjševanja porabe plinov - in skupni okoljski vpliv teh plinov je v zadnjih letih zagonil številne kampanje za trajnost.
AGEM razume, da vsak stranka potrebuje drugačne stvari v področju posebnih plinov, kot so kalibracijski plinovi. Ponujamo prilagojene rešitve za izpolnitev posebnih potreb naših strank. Če potrebujete določeno stopnjo čistote, velikost valja ali embalażne možnosti, vam lahko AGEM prilagodi svoje produkte po vaših točnih zahtevah. Ta stopnja prilagoditve bo zagotovila, da prejmete najbolj primeren kalibracijski plinov valj za vaše uporabe, kar bo izboljšalo skupno učinkovitost in zmogljivost. Ponudba AGEM ni omejena le na kalibracijske pline. Katalog AGEM vsebuje hidrokarbonove pline, halokarbone, kemijske pline in redke pline. Lahko ste prepričani, da AGEM ponuja prav vrsto plina, ki jo potrebujete.
Povrednosti v plinu, uporabljenem v proizvodnji polprevodnikov, predstavljajo glavno težavo. Povrednosti preverjamo vsaj petkrat, da zagotovimo kakovost. Naša podjetja ponujata popolno proizvodno in testno vrsto ter uporabo strogega nadzora kakovosti in popolnega sistema poslovnih storitev, da se zanesljivo strankam prinašajo vrhunske izdelke in celotni razpon storitev. Naša posvečenost odličnim poslovnim storitvam in visoki kakovosti je nekaj, česar smo ponosni. Naš sposoben ekipo je vedno pripravljen vam pomagati in se zavedati, da prejmete najboljše storitve za vašo zadovoljstvo. Naša storitev 24X7 je nekaj, kar nas ločuje. Tu smo za vas vsak dan, vse dobre vse čase.
AGEM ponuja širok izbor kriogenih cilindrov za hlađenje superhlačnih tekočin in plinov, kot je tekoči kisik in argon. Lahko tudi vsebujejo ogljikov dioksid, dušik in smejček. Uporabljamo uvožene vrednote in smerjalke, da zagotovimo največjo učinkovitost. Uporabljajte naprave za varstvo plina in dajte prednost uporabi preplavnega plina v fazi plina. Dvojni varnostni ventili zagotavljata pečatno varnost pri delovanju. Ponujamo širok izbor kriogenih cilindrov, ki lahko vsebujejo superhlače tekočine, ki se uporabljajo v vsakdanjem življenju. Polna prostornina: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L Delovni tlak: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa. Temperatura načrtovanja notranjega rezervoarja: +196°C. Temperatura načrtovanja zunanjega rezervoarja: -20°C do +50°C. Izolacija: Vakuumska z večkrato omotano. Hranjeni srednji: LO2, LN2, LAr, LCO2, LNG.
AGEM deluje v Tajvanu že več kot 25 let. V tej območji imamo obsežno znanstveno in raziskovalno strokovnost in lahko ponudimo edinstveno strokovnost v področjih posebnih, masovnih in kalibracijskih plinov v 6 različnih regijah. Tajvan - Mesto Kaohsiung (sedež, raziskovalno in razvojno središče) Indija - Mumbai, Vadodara, Kojmbaturo, Pune, Bengaluru, Delhi Kitajska - Wuhan Bliski vzhod - Dubai (ZVU) in Kraljevina Saudijska Združeno kraljestvo - Cambridge Rešitve za pline, ki jih ponujamo, vključujejo tehnično svetovanje. Sestavljanje in postavitev. Testiranje vzorcev. Pakiranje in pošiljanje. Dizajn risb. Proizvodnja.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) je proizvodnja plinov in R&D zavod, ki se nahaja na Tajvanu, s nepresegljivo strokovnostjo v področju posebnih, elektronskih, masivnih in kalibracijskih plinov po vsem svetu v 6 različnih regijah
Room 2&3, 10rd Floor, Unit 1, Phase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Pravilnik o zasebnosti
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ