EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Mchanganyiko wa gas ya CF4 na O2 ya u safi wa juu (6N) kwenye msingi wa hydrogeni na argoni kwa usakinishaji wa kuchomwa kwa plasma katika viwanda vya semiconductor
Ombi
Wuhan Air Gas Electronic
Wuhan Air Gas Electronic
Materials Enterprise Co., Ltd
Mawasiliano na Uuzaji
Barua pepe
[email protected]
Simu / Wechat / Whatsapp
+ 86 158 0713 4086
|
WhatsApp
Simu / Faksu
Simu:+886-7-621 8118Barua pepe:+886-7-621 8998
Chumba cha 02, Kifungu cha 10, Kitengo 1, Faza ya Kwanza, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
- Muhtasari
- Ombi
- Bidhaa zinazohusiana
Kuhusu Bidhaa
Kuonyesha
Hii ni mchanganyiko wa kuchunguzwa wenye usafi wa juu sana 99.9999% (6N), ulioundwa kwa ajili ya matumizi maalum katika mchakato wa kuchafua plasma ya semiconductor na mchakato wa uvuvi wa filmi nyembamba zaidi. Kwa kuchanganya kwa usahihi kaboni tetrafluoride (CF4) na oksijeni (O2) ndani ya mchanganyiko salama ya hydrogeni (H2) na argoni (Ar), hii mchanganyiko inatoa ushirikiano wa kemikali unaohitajika kwa usahihi ili kuwakilisha uchaguzi wa kuchafua na anisotropi ya profilu katika ufabrication wa chini ya nanomita. Usafi wa daraja la 6N unahakikisha kwamba uchafu mdogo wa metali na unga wa maji ni karibu haupatiki, kuzuia uchafuzi wa wafer na kuboresha kwa kiasi kikubwa upatikanaji wa kifaa kwa mikondo ya kipekee kama vile 3D NAND na FinFET. Ujumla wa argoni unatoa nishati ya uvamizi wa ioni inayohitajika kwa uvuvi wa kimwili, wakati uwiano wa hydrogeni/oksijeni unachaguliwa kwa makini ili kurekebisha safu za kuviridhi ya polimeri, kuhakikisha mitambo ya kipenyo cha juu na ukuta wa wazi kabisa. Silinda kila moja inatakidwa kwa kutumia mchanganyiko wa kizani cha kushindwa na kufanywa kwa utaratibu wa kujifunza ndani ili kuhakikisha kwamba vyanzo hivi vya kurejea vinabaki wazi na havitobadilika kutoka kwa kiwango kilichotolewa kwa muda. Inatozwa pamoja na Hati ya Uchambuzi (CoA) kamili na inaweza kutambuliwa kwa kuelekea miundo ya kimataifa, hii ni chaguo bora kwa maktaba ya utafiti na maendeleo (R&D) na vituo vya kuzalisha vya semiconductor vya kiasi kikubwa vinavyohitaji uwezekano kamili katika kemikali ya plasma yao. Hii mchanganyiko ya "kila kitu-katika-moja" yenye usawa hupunguza mifumo ya kutoa gesi kwa kupunguza idadi ya mistari ya gesi ya kibinafsi yanayohitajika, kwa hivyo kupunguza mahali ambapo kuvutwa kunaweza kutokea na kufanya mchakato wa kuchunguzwa wa kushandikiza kasi ya masi (MFC) uwe rahisi.
Kuhusu Sisi
AGEM ilianzishwa mwaka wa 2008 kama mfanyikazi wa kimataifa na mtoa huduma ya viwango vya juu vya gesi, ikiwa na makao makuu Taiwan, China. Kwa miaka 16 ya ujuzi wa kipekee katika sekta hii, utambulisho wake wa kimataifa, ujuzi wa juu wa uzalishaji, na safu ya bidhaa zinazofanana zimepanga AGEM kuwa chuo cha kisasa katika sekta ya viwango vya gesi. Kampuni inafuata strategia ya maendeleo ya kimataifa, ikianzisha vituo vya uzalishaji vya kisasa nchini China ya Bara, Taiwan, China, na India, ikijenga mtandao wa uzalishaji na huduma unaozihusisha Asia na unaotawala dunia yote. Kila kituo kina mstari wa uzalishaji wenye uwezo wa kifahamu na vifaa vya kujaribu kwa usahihi, ikitunza udhibiti wa kamilifu kutoka kwa uwasilishaji wa vifaa vya msingi hadi kufikishwa kwa bidhaa za mwisho. Na uwezo wa kuzalisha kwa mwaka uliopita ukiwa kati ya wale wenye nguvu zaidi katika sekta, kampuni inaweza kujibu haraka mahitaji ya wateja wa kimataifa kwa njia ya mbalimbali. Biashara kuu inazingatia viwango vya gesi vya msingi, ikihusisha bidhaa zote za aina hii ikiwa ni pamoja na gesi za viwanda, valvu za gesi zenye upeo maalum, silinda za shinikizo la juu, silinda za aluminium zenye uzito mdogo, na mpunguzi wa shinikizo wenye usahihi wa juu. Bidhaa hizi zinatumika kwa upana katika sekta muhimu kama vile kemikali, elektroniki, afya, na nishati. Kwa kutumia ujuzi wa kisayansi kwa kina, bidhaa hizi zimepata saini ya Mfumo wa Usimamizi wa Ubora wa ISO9001 na saini nyingine za kimataifa zenye uhakika, ikiwa ni pamoja na saini ya ASME kwa viwango vya shinikizo la juu, saini ya CE-PED kwa kuingia katika soko la Ulaya, na saini ya IECEx ya kupindua mapigo kwa matumizi ya kimataifa. Viashiria vya utendaji muhimu kama vile utendaji wa kufunga, uwezo wa kushinda shinikizo, na ulinzi wa usalama umeufikia kiwango cha kimataifa cha juu. Kampuni hii daima inaweka muda mrefu kwenye ubunifu wa teknolojia kama nguvu yake ya msingi ya kushindana, ikijenga timu ya utafiti na maendeleo ya kimataifa na kubadilisha muda na rasilimali kwa muda mrefu katika uvumbuzi wa teknolojia.
Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara
Muda gani wa kufikia kwa mikutano ya kipekee yenye u safi wa 99.9999% (6N)?
Kwa gesi za u safi mkubwa sana (UHP) kama vile CF4/O2, muda wa kawaida wa kufikia ni siku 10-15 za kazi. Hii inajumuisha kuchanganya kwa usahihi na majaribio ya ustahili katika vitu vingi ili kuhakikisha u safi wa daraja la 6N na usahihi wa wingi.
Unahakikisha jinsi gani usahihi wa wingi wa mikutano ya CF4/O2?
Tumia njia ya kuzingatia uzito (kuzingatia kwa usahihi wa uzito) wakati wa kujaza, ambayo ni njia bora ya kuchanganya. Kila silinda inaanalizwa kupitia Chromatography ya Gesi (GC) na inatoa Uhakiki wa Uchunguzi (COA) unaoendelea kwa miundo ya NIST au miundo ya taifa.
Je, mikutano hii iko sawa kwa sababu ina Hydrogen H2 na Oxygen O2 pamoja?
Ndiyo. Tunafuata kanuni za usalama za kuchanganya kwa makini ambapo wingi la vipengele vya kuvutia moto na vya kusababisha moto huwekwa ndani ya mipaka ya usalama au huwekwa sawa na Argon (Ar) ili kuhakikisha ustahili wa kemikali na kuzuia mafumbo yoyote ya hatari ndani ya silinda.
Aina gani ya silinda na valve zinatumika kwa gesi hii ya semiconductor?
Tumetumia silinda za kisilaha cha chuma cha aluminiamu kilichopitishwa ndani au silinda za chuma cha stainless steel zilizosafishwa ili kuzuia kuchakaa kwenye uso. Kwa gesi ya daraja la 6N, sasa tunazawezesha valve za chuma cha stainless steel ya DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 au SS 316L ili kuhakikisha hakuna kutoka na kuzuia uchafuzi.
Mahitaji ya uhifadhi wa mikusanyo hii ya gesi ni ipi?
Silinda zinapaswa kuwekwa mahali pachipu, nusu ya kuvutia, na wenye uvutio bora, mbali na nuru ya moja kwa moja ya jua na vyanzo vya joto (joto < 50° C). Hakikisha kwamba silinda zimefungwa wima ili kuzuia kuketi.
Je, mnatoa usafirishaji wa kimataifa wa gesi zenye hatari?
Ndiyo, tunajitambulisha kama wataalamu wa usafirishaji wa bidhaa za hatari ya daraja la 2. Tunatoa wasifu kamili ikiwemo MSDS (Material Safety Data Sheet), upakaji uliouzwa na UN, na taarifa za DG (Dangerous Goods) kwa usafirishaji kwa bahari au kwa anga.
