ทุกหมวดหมู่
ENEN

ก๊าซที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เซมิคอนดักเตอร์อยู่ในทุกสิ่ง ตั้งแต่มือถือและคอมพิวเตอร์ส่วนบุคคลของคุณไปจนถึงอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ชนิดอื่น ๆ อีกมากมาย เซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องผลิตผ่านกระบวนการเฉพาะ และใช้ก๊าซหลายชนิด ข้อความต่อไปนี้จะเน้นเรื่องราวเกี่ยวกับประเภทของก๊าซที่ใช้เพียงในอุตสาหกรรมหนึ่ง และว่าสารสูงเทคโนโลยีเหล่านี้ถูกนำมาใช้เพื่อสร้างสิ่งที่เราพึ่งพาจริง ๆ ก๊าซหลากหลายชนิดที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เซมิคอนดักเตอร์ถูกสร้างขึ้นโดยกระบวนการซับซ้อน เช่น การแกะสลัก (etching), การสะสม (deposition) และการทำความสะอาด คุณสมบัติและการใช้งานของก๊าซเหล่านี้แตกต่างกันตามการใช้งานเฉพาะหรือสภาพแวดล้อม เช่น ในบริษัทจัดจำหน่ายก๊าซอุตสาหกรรม, ผู้จัดจำหน่ายก๊าซเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทางที่มีชื่อเสียง หรือในห้องปฏิบัติการ โดยให้มีขอบเขตที่ครอบคลุมสำหรับทุกการใช้งานพร้อมคุณสมบัติสำคัญที่จำเป็นสำหรับการทำงานอย่างเหมาะสม ในวันนี้ เราจะแนะนำก๊าซหลักบางชนิดที่ใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุ ได้แก่ Silane SiH4: ก๊าซชนิดนี้ไม่มีสี และยังเป็นวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฐานจากซิลิกอน มันมีความพลังงานสูงและทำปฏิกิริยาอย่างรวดเร็วกับออกซิเจนและน้ำเพื่อสร้างซิลิกอนออกไซด์ (SiO) และก๊าซไฮโดรเจน Silane สามารถใช้ในการวางวัสดุที่มีฐานจากซิลิกอน เช่น SiNx ได้อย่างรวดเร็วหรือที่อุณหภูมิต่ำ Nitrogen N2: ก๊าซนี้เฉื่อยและป้องกันการเกิดออกซิเดชัน มันถูกผลิตอย่างต่อเนื่องและจำเป็นสำหรับการล้างอุปกรณ์ในกระบวนการบำรุงรักษา เพื่อกำจัดออกซิเจน (O2) และความชื้น นอกจากนี้ยังใช้เพื่อช่วยเหลือและลำเลียงกิจกรรมของก๊าซชนิดอื่น ๆ เป็นก๊าซพา运ในกระบวนการไนโครมระเหย และไนโครมระเหยที่เสริมด้วยพลาสมา

ไฮโดรเจน (H2) - ไฮโดรเจนถูกใช้เป็นก๊าซลดโดยการกำจัดสิ่งปนเปื้อนออกจากวัสดุ ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มันเป็นขั้นตอนที่สำคัญในกระบวนการต่างๆ เช่น การอบและการทำความสะอาด นอกจากนี้ไฮโดรเจนยังช่วยสร้างเกตโลหะสำหรับการผลิตอุปกรณ์ cmos ขั้นสูง

ออกซิเจนคงที่ (O2/O) - กรอกแผ่นและเวลาตามสเปค เป็นต้น ก๊าซ O แม้ออกซิเจนจะถูกใช้ในกระบวนการพลาสมาหลายอย่าง เช่น การกร่อนและการลอก/เผา แต่มันยังทำหน้าที่เป็นสารปฏิกิริยาเพื่อทำให้วัสดุที่มีฐานจากซิลิคอนกลายเป็น SiOx หรือเคลือบผิวโลหะผ่านการออกซิเดชัน

คลอรีน (Cl2): คลอรีนมีลักษณะเป็นของเหลวสีเหลืองหรือแดง มีกลิ่นฉุน และเป็นสารไม่เป็นโลหะ ก๊าซชนิดนี้มีปฏิกิริยาสูงมากเมื่อสัมผัสกับวัสดุที่มีฐานจากซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ และโลหะหลายชนิด เช่น อะลูมิเนียม คลอรีนถูกนำมาใช้ในหลาย ๆ แอปพลิเคชันในการกร่อนโครงสร้างของเซมิคอนดักเตอร์

การค้นพบการใช้งานก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำและการได้รับประโยชน์

ความจริงที่ว่าก๊าซถูกใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้นำไปสู่การสร้างอิเล็กทรอนิกส์คุณภาพสูง เนื่องจากการเพิ่มขีดความสามารถในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ก๊าซยังมีการใช้งานและประโยชน์สำคัญหลายประการในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ก๊าซ เช่น ไซลาเน อัมโมเนีย และไนโตรเจน ถูกใช้ในการเคลือบซิลิกอนออกไซด์หรือไนไตรด์ ซึ่งจะกลายเป็นฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบ

การกร่อน: ใช้ในการลบวัสดุหรือรูปแบบที่ไม่พึงประสงค์ออกจากเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้ก๊าซ เช่น คลอรีน ฟลูออรีน และออกซิเจน

ก๊าซกระบวนการ: ไฮโดรเจนและไนโตรเจนจำเป็นสำหรับการทำงานของเครื่องมือทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ (การทำให้บริสุทธิ์) เพื่อลดสิ่งปนเปื้อนที่อาจส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์

การไล่ก๊าซ: หนึ่งในบทบาทหลักคือการใช้เป็นก๊าซไล่เมื่อมีการบำรุงรักษาเครื่องจักร ซึ่งช่วยกำจัดออกซิเจนและน้ำจากระบบ ทำให้วัสดุในระบบสะอาด

Why choose AGEM ก๊าซที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์?

หมวดหมู่สินค้าที่เกี่ยวข้อง

ไม่พบสิ่งที่คุณกำลังมองหาอยู่หรือไม่
ติดต่อที่ปรึกษาของเราเพื่อดูผลิตภัณฑ์เพิ่มเติม

ขอใบเสนอราคาตอนนี้

ติดต่อเรา