ก๊าซผสมสำหรับการสอบเทียบ ความบริสุทธิ์สูงระดับ 99.9999% ประกอบด้วย CF4/O2 ผสมกับไฮโดรเจนและอาร์กอน เป็นก๊าซหลักสำหรับกระบวนการกัดเซาะพลาสมาในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

เกี่ยวกับสินค้า

จุดเด่น

ส่วนผสมมาตรฐานความบริสุทธิ์สูงพิเศษระดับ 99.9999% (6N) นี้เป็นก๊าซสำหรับกระบวนการเฉพาะทาง ที่ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการอย่างเข้มงวดของการกัดกร่อนพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการสร้างฟิล์มบางขั้นสูง โดยการผสมคาร์บอนเทตราฟลูออไรด์ (CF4) กับออกซิเจน (O2) อย่างแม่นยำภายในส่วนผสมหลักที่ประกอบด้วยไฮโดรเจน (H2) กับอาร์กอน (Ar) ส่วนผสมนี้จึงให้สมดุลเชิงเคมีที่จำเป็นอย่างยิ่งในการควบคุมความสามารถในการเลือกกัดกร่อน (etch selectivity) และรูปร่างของแนวตัด (profile anisotropy) ในการผลิตชิ้นส่วนที่มีขนาดย่อยกว่าหนึ่งนาโนเมตร ความบริสุทธิ์ระดับ 6N นี้รับประกันว่าสิ่งปนเปื้อนโลหะและไอน้ำจะเกือบไม่มีอยู่เลย จึงช่วยป้องกันการปนเปื้อนของเวเฟอร์ และเพิ่มอัตราการได้ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป (device yield) อย่างมีนัยสำคัญสำหรับโครงสร้างที่ซับซ้อน เช่น 3D NAND และ FinFET

การเติมอาร์กอนช่วยให้เกิดพลังงานการโจมตีด้วยไอออนที่จำเป็นสำหรับกระบวนการสปัตเทอริงแบบกายภาพ ขณะที่อัตราส่วนของไฮโดรเจนต่อออกซิเจนได้รับการปรับแต่งอย่างแม่นยำเพื่อควบคุมชั้นผ่านสารโพลิเมอร์ ทำให้ได้ร่องที่มีอัตราส่วนความสูงต่อความกว้างสูงมากและมีผนังข้างตั้งฉากอย่างสมบูรณ์แบบ ถังก๊าซแต่ละใบผลิตด้วยวิธีผสมตามมวลที่ทันสมัย และผ่านกระบวนการเคลือบผิวภายในแบบเฉพาะของบริษัท เพื่อให้มั่นใจว่าส่วนประกอบที่มีปฏิกิริยาเหล่านี้จะคงเสถียรภาพและไม่เบี่ยงเบนจากความเข้มข้นที่ระบุไว้ตลอดอายุการใช้งาน ผลิตภัณฑ์นี้มาพร้อมใบรับรองการวิเคราะห์ (CoA) ฉบับสมบูรณ์ รวมทั้งสามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ตามมาตรฐานสากล จึงเป็นทางเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนา รวมถึงโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่ที่ต้องการความสม่ำเสมออย่างสมบูรณ์แบบในเคมีของพลาสมา สารผสมแบบสมดุลครบวงจรนี้ช่วยลดความซับซ้อนของระบบจ่ายก๊าซ โดยลดจำนวนท่อส่งก๊าซแยกตัวลง จึงลดจุดรั่วที่อาจเกิดขึ้นได้ และทำให้กระบวนการสอบเทียบตัวควบคุมการไหลมวล (MFC) เป็นไปอย่างคล่องตัวยิ่งขึ้น

 

เกี่ยวกับเรา

บริษัท เอเจอีเอ็ม ก่อตั้งขึ้นในปี ค.ศ. 2008 เป็นผู้ผลิตและให้บริการอุปกรณ์ก๊าซระดับมืออาชีพแบบข้ามชาติ มีสำนักงานใหญ่อยู่ที่ไต้หวัน ประเทศจีน ด้วยประสบการณ์เชิงลึกในอุตสาหกรรมนี้มากว่า 16 ปี บริษัทได้สร้างเครือข่ายทั่วโลก ยกระดับมาตรฐานการผลิตอย่างเหนือชั้น และพัฒนาพอร์ตโฟลิโอผลิตภัณฑ์อย่างครอบคลุม จนกลายเป็นองค์กรชั้นนำที่ถูกใช้อ้างอิงในอุตสาหกรรมอุปกรณ์ก๊าซ บริษัทดำเนินกลยุทธ์การเติบโตสู่ระดับโลก โดยจัดตั้งฐานการผลิตที่ทันสมัยในจีนแผ่นดินใหญ่ ไต้หวัน ประเทศจีน และอินเดีย ซึ่งร่วมกันสร้างเครือข่ายการผลิตและการให้บริการที่ครอบคลุมภูมิภาคเอเชียและขยายไปทั่วโลก แต่ละฐานการผลิตติดตั้งสายการผลิตอัจฉริยะและอุปกรณ์ทดสอบความแม่นยำสูง ทำให้สามารถควบคุมกระบวนการผลิตทั้งหมดได้อย่างครบวงจร ตั้งแต่การแปรรูปวัตถุดิบจนถึงการส่งมอบผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป ด้วยกำลังการผลิตต่อปีที่อยู่ในอันดับต้นๆ ของอุตสาหกรรม บริษัทจึงสามารถตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของลูกค้าทั่วโลกได้อย่างรวดเร็ว ธุรกิจหลักมุ่งเน้นไปที่อุปกรณ์แกนกลางที่เกี่ยวข้องกับก๊าซ ครอบคลุมผลิตภัณฑ์ครบทุกประเภท ได้แก่ ก๊าซอุตสาหกรรมต่างๆ วาล์วก๊าซเฉพาะทาง ถังบรรจุก๊าซแรงดันสูง ถังอลูมิเนียมเบาพิเศษ และวาล์วลดแรงดันความแม่นยำสูง ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ถูกนำไปใช้งานอย่างกว้างขวางในภาคอุตสาหกรรมสำคัญ เช่น เคมีภัณฑ์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สาธารณสุข และพลังงาน ด้วยความเชี่ยวชาญทางเทคนิคที่ลึกซึ้ง ผลิตภัณฑ์ทั้งหมดผ่านการรับรองระบบการจัดการคุณภาพ ISO9001 และได้รับการรับรองจากหน่วยงานระหว่างประเทศที่มีชื่อเสียงหลายฉบับ รวมถึงการรับรอง ASME สำหรับอุปกรณ์แรงดันสูง การรับรอง CE-PED เพื่อการเข้าสู่ตลาดสหภาพยุโรป และการรับรอง IECEx สำหรับอุปกรณ์กันระเบิดเพื่อการใช้งานทั่วโลก ตัวชี้วัดประสิทธิภาพหลัก เช่น สมรรถนะการปิดผนึก ความต้านทานแรงดัน และระบบป้องกันความปลอดภัย ล้วนบรรลุระดับขั้นสูงตามมาตรฐานสากล บริษัทให้ความสำคัญกับนวัตกรรมทางเทคโนโลยีเป็นกลไกหลักในการเสริมสร้างขีดความสามารถในการแข่งขัน โดยจัดตั้งทีมวิจัยและพัฒนาระดับนานาชาติ และลงทุนอย่างต่อเนื่องเพื่อสร้างก้าวกระโดดทางเทคโนโลยี

    

คำถามที่พบบ่อย

ระยะเวลาจัดเตรียมสำหรับส่วนผสมแบบพิเศษที่มีความบริสุทธิ์ 99.9999% (6N) คือเท่าใด

สำหรับก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (UHP) เช่น CF4/O2 ระยะเวลาการจัดส่งโดยทั่วไปคือ 10–15 วันทำการ ซึ่งรวมถึงขั้นตอนการผสมแบบแม่นยำและการทดสอบความเสถียรแบบหลายขั้นตอน เพื่อให้มั่นใจว่ามีความบริสุทธิ์ระดับ 6N และความแม่นยำของความเข้มข้น

ท่านรับรองความแม่นยำของความเข้มข้นของส่วนผสม CF4/O2 อย่างไร

เราใช้วิธีการชั่งน้ำหนัก (gravimetric method) ซึ่งเป็นเทคนิคการผสมที่แม่นยำที่สุดในระหว่างกระบวนการบรรจุ ก๊าซแต่ละถังจะผ่านการวิเคราะห์ด้วยโครมาโทกราฟีแก๊ส (GC) และมาพร้อมกับใบรับรองผลการวิเคราะห์ (COA) ที่สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ถึงมาตรฐาน NIST หรือมาตรฐานแห่งชาติ

ส่วนผสมนี้มีความเสถียรหรือไม่ ทั้งที่ประกอบด้วยไฮโดรเจน (H2) และออกซิเจน (O2)

ใช่ เราปฏิบัติตามแนวทางความปลอดภัยในการผสมอย่างเคร่งครัด โดยควบคุมความเข้มข้นของส่วนประกอบที่ติดไฟได้และส่วนประกอบที่ทำปฏิกิริยาออกซิไดซ์ให้อยู่ภายในขีดจำกัดที่ปลอดภัย หรือปรับสมดุลด้วยอาร์กอน (Ar) เพื่อให้มั่นใจในเสถียรภาพทางเคมี และป้องกันปฏิกิริยาอันตรายใดๆ ภายในถัง

ก๊าซสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์นี้บรรจุในถังประเภทใด และใช้วาล์วชนิดใด

เราใช้ถังสูบอะลูมิเนียมอัลลอยที่ผ่านการพาสซิเวตภายใน หรือถังสูบสแตนเลสที่ขัดเงา เพื่อป้องกันการดูดซับบนพื้นผิว สำหรับก๊าซเกรด 6N เราโดยทั่วไปจะติดตั้งวาล์วแบบ DISS (Digital Intelligent Scheduling System) รุ่น 660 หรือวาล์วสแตนเลสเกรด SS 316L เพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีการรั่วไหลเลย และป้องกันการปนเปื้อน

ข้อกำหนดในการจัดเก็บก๊าซผสมชนิดนี้คืออะไร

ควรจัดเก็บถังสูบในพื้นที่ที่เย็น แห้ง และมีการระบายอากาศที่ดี ห่างจากแสงแดดโดยตรงและแหล่งความร้อน (อุณหภูมิต่ำกว่า 50° ซ.) ทั้งนี้ ต้องยึดถังสูบให้ตั้งตรงเพื่อป้องกันการล้ม

ท่านจัดส่งก๊าซอันตรายไปยังทั่วโลกหรือไม่

ใช่ บริษัทฯ เชี่ยวชาญด้านการขนส่งสินค้าอันตรายประเภทที่ 2 โดยจัดเตรียมเอกสารครบถ้วน ได้แก่ เอกสารข้อมูลความปลอดภัยของวัสดุ (MSDS), บรรจุภัณฑ์ที่ผ่านการรับรองตามมาตรฐาน UN และเอกสารประกาศสินค้าอันตราย (DG) สำหรับการขนส่งทางเรือหรือทางอากาศ

AGEM นำเสนอแก๊สผสมสำหรับการปรับค่ามาตรฐาน (Calibration Mixture Gas) ที่มีความบริสุทธิ์สูงถึง 99.9999% ซึ่งประกอบด้วย CF4 และ O2 ผสมกับไฮโดรเจนและอาร์กอนเป็นแก๊สพื้นฐาน ใช้ในกระบวนการกัดเซาะพลาสม่าสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ — โซลูชันแก๊สที่ผ่านการออกแบบอย่างแม่นยำและมีความบริสุทธิ์สูงพิเศษ เพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นใหม่และการควบคุมกระบวนการ แก๊สสำหรับการปรับค่ามาตรฐานชนิดนี้ ซึ่งมีความเสถียรและสม่ำเสมอ สามารถตอบโจทย์ความต้องการที่สำคัญในหลายด้าน ได้แก่ การกัดเซาะพลาสม่าสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ การปรับค่ามาตรฐานเชิงวิเคราะห์ และการตรวจสอบยืนยันกระบวนการ AGEM นำความเชี่ยวชาญด้านการผลิตแก๊สและการวิจัยและพัฒนา (R&D) ที่สั่งสมมานานหลายทศวรรษมาใช้ เพื่อให้มั่นใจว่าถังแก๊สแต่ละใบจะให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสามารถติดตามแหล่งที่มาได้อย่างครบถ้วนในสภาพแวดล้อมการดำเนินกระบวนการขั้นสูง

ภาพรวมผลิตภัณฑ์และคุณสมบัติหลัก

ส่วนผสมสำหรับการสอบเทียบ AGEM ความบริสุทธิ์ 99.9999% ประกอบด้วยก๊าซผสม CF4 กับ O2 ที่มีความเข้มข้นควบคุมได้ ซึ่งคงตัวในก๊าซพื้นฐานไฮโดรเจนและอาร์กอน ส่วนผสมก๊าซสำหรับการสอบเทียบที่มีความบริสุทธิ์สูงนี้ถูกผสมและตรวจสอบตามมาตรฐานที่เข้มงวดอย่างยิ่ง เพื่อใช้เป็นเกณฑ์อ้างอิงสำหรับเครื่องมือกระบวนการและอุปกรณ์วิเคราะห์ที่ใช้ในการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ ถังก๊าซแต่ละใบผ่านการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดเพื่อรับประกันองค์ประกอบที่ถูกต้องและลดสิ่งเจือปนให้น้อยที่สุด จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานกับก๊าซสำหรับการกัดเซมิคอนดักเตอร์แบบพลาสม่า ซึ่งแม้แต่สิ่งเจือปนระดับ parts-per-billion ก็อาจส่งผลต่อผลผลิต

- องค์ประกอบความบริสุทธิ์สูงพิเศษ: ส่วนผสมสำหรับการสอบเทียบความบริสุทธิ์ 99.9999% ผลิตขึ้นเพื่อให้บรรลุระดับสิ่งเจือปนต่ำสุด เพื่อให้มั่นใจในความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการอย่างสูงสุดสำหรับก๊าซกัดเซมิคอนดักเตอร์แบบพลาสม่า

- การผสมอย่างแม่นยำ: ความเข้มข้นของก๊าซผสม CF4 กับ O2 ได้รับการปรับเทียบให้ตรงตามข้อกำหนดเฉพาะอย่างเคร่งครัด โดยก๊าซพื้นฐานไฮโดรเจนและอาร์กอนถูกเลือกอย่างรอบคอบเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพทางเคมีของพลาสม่าและความเข้ากันได้กับการวิเคราะห์

- การติดตามแหล่งที่มาและการรับรอง: ก๊าซสอบเทียบความบริสุทธิ์สูงชนิดนี้แต่ละล็อตมาพร้อมเอกสารรับรองและเอกสารวิเคราะห์อย่างละเอียด ซึ่งสนับสนุนข้อกำหนดการตรวจสอบตามมาตรฐาน ISO และข้อกำหนดของอุตสาหกรรม

- ความเสถียรและอายุการเก็บรักษา: สูตรก๊าซและการบรรจุภัณฑ์ได้รับการปรับให้เหมาะสมเพื่อรักษาความเสถียรในระยะยาว ป้องกันไม่ให้ความเข้มข้นเปลี่ยนแปลง และรับประกันประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ตลอดวงจรการจัดเก็บทั่วไป

- ความเข้มข้นที่ปรับแต่งได้: AGEM นำเสนอส่วนผสมก๊าซ CF4 O2 ที่มีความเข้มข้นเฉพาะตามความต้องการ ภายในส่วนผสมของไฮโดรเจนและอาร์กอน เพื่อตอบสนองพารามิเตอร์ของเครื่องมือและกระบวนการเฉพาะสำหรับการกัดเซาะ (etching) และการวินิจฉัยพลาสมา

แอปพลิเคชันและกรณีการใช้งาน

ส่วนผสมก๊าซ CF4 O2 ชนิดนี้ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับใช้เป็นก๊าซพลาสมาในการกัดเซาะชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ ทำให้สามารถควบคุมและสอบเทียบได้อย่างแม่นยำในกระบวนการและเครื่องมือหลากหลายประเภท

- การปรับค่ากระบวนการกัดเซาะพลาสม่าของสารกึ่งตัวนำ: ก๊าซสำหรับการปรับค่าความบริสุทธิ์สูงให้มาตรฐานอ้างอิงที่แม่นยำสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุด การปรับแต่งกระบวนการ และการจับคู่ห้องปฏิบัติการในเทคโนโลยีการกัดเซาะแบบไอออนเชิงรุก (RIE) การกัดเซาะแบบไอออนเชิงรุกลึก (DRIE) และเทคโนโลยีการกัดเซาะที่ใช้พลาสม่าอื่นๆ

- การปรับค่าเครื่องมือวิเคราะห์: ใช้เป็นก๊าซสำหรับการปรับค่าหลักหรือรองสำหรับเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวล เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง (RGA) เครื่องโครมาโทกราฟีแก๊ส และอุปกรณ์วิเคราะห์อื่นๆ เพื่อให้มั่นใจในการตรวจจับและวัดปริมาณก๊าซที่ใช้ในกระบวนการและผลพลอยได้อย่างแม่นยำ

- การตรวจสอบการรั่วและการตรวจสอบความบริสุทธิ์: ส่วนผสมก๊าซสำหรับการปรับค่าที่มีความบริสุทธิ์ 99.9999% สนับสนุนขั้นตอนการตรวจจับการรั่ว และช่วยยืนยันความสมบูรณ์ของระบบจ่ายก๊าซในโรงงานผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์และห้องปฏิบัติการวิจัย

- การเฝ้าติดตามกระบวนการและการวินิจฉัยข้อผิดพลาด: การผสานก๊าซสำหรับการปรับค่าความบริสุทธิ์สูงนี้เข้ากับการเฝ้าติดตามตามปกติช่วยให้ระบุความเบี่ยงเบนในองค์ประกอบทางเคมีของพลาสม่าได้อย่างรวดเร็ว และสนับสนุนการวิเคราะห์หาสาเหตุหลักของความผิดปกติในกระบวนการ

- การวัดค่าและงานวิจัยและพัฒนา: จำเป็นสำหรับห้องปฏิบัติการวิจัยและกลุ่มพัฒนากระบวนการที่ทำงานเกี่ยวกับสารเคมีสำหรับการกัดแบบรุ่นถัดไป โดยให้สภาวะอ้างอิงที่สม่ำเสมอเพื่อการทดลองที่สามารถทำซ้ำได้อย่างแม่นยำ

ข้อได้เปรียบทางด้านเทคนิคและความก้าวหน้าทางนวัตกรรม

ก๊าซผสมสำหรับการสอบเทียบของ AGEM ความบริสุทธิ์ 99.9999% มอบข้อได้เปรียบทางเทคนิคหลายประการ ซึ่งเกิดจากกระบวนการผลิตที่แม่นยำและการนวัตกรรมที่ขับเคลื่อนด้วยงานวิจัย

- เทคโนโลยีการผสมขั้นสูง: AGEM ใช้ระบบการผสมที่ทันสมัยที่สุดและระบบการผสมควบคุมด้วยอัตราการไหลมวล เพื่อบรรลุอัตราส่วนผสมของก๊าซ CF4 กับ O2 ที่แม่นยำสูงยิ่ง ซึ่งรับประกันความแม่นยำในการทำซ้ำได้ทั้งในแต่ละถังและระหว่างชุดการผลิต

- การปรับสมดุลก๊าซไฮโดรเจนและอาร์กอนอย่างเหมาะสม: การเลือกใช้ไฮโดรเจนและอาร์กอนเป็นก๊าซเติมเต็มช่วยให้ควบคุมปฏิกิริยาเคมีในพลาสมาได้ดีเยี่ยม และให้สัญญาณการวิเคราะห์ที่ดีขึ้น ไฮโดรเจนสามารถเพิ่มความสามารถในการเลือกสารที่จะกัดในสารเคมีบางชนิด ในขณะที่อาร์กอนช่วยเสริมคุณสมบัติการสปัตเตอร์และความเสถียรระหว่างการสร้างพลาสมา

- การควบคุมการปนเปื้อนอย่างเข้มงวด: ผ่านสิ่งแวดล้อมในการผลิตที่ควบคุมได้ วัตถุดิบที่มีความบริสุทธิ์สูง และขั้นตอนการกรองและทำให้บริสุทธิ์แบบหลายระดับ ทำให้ AGEM ลดสิ่งเจือปนที่อาจส่งผลกระทบต่อกระบวนการก๊าซกัดเซาะพลาสม่าสำหรับชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

- การตรวจสอบและประกันคุณภาพอย่างครอบคลุม: ถังก๊าซแต่ละใบจะผ่านการตรวจสอบด้วยวิธีการวิเคราะห์ความละเอียดสูง เพื่อยืนยันองค์ประกอบและระดับสิ่งเจือปน เอกสารรับรองของ AGEM สนับสนุนการรับรองกระบวนการและการปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านกฎระเบียบสำหรับการใช้งานที่สำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

- การผลิตที่สามารถปรับขนาดได้พร้อมการสนับสนุนในระดับภูมิภาค: ศักยภาพด้านการวิจัยและพัฒนา (RD) รวมถึงโครงสร้างการผลิตของ AGEM ช่วยให้สามารถจัดหาสินค้าได้อย่างเชื่อถือได้ในหลายภูมิภาค ลดระยะเวลาการจัดส่ง และรับประกันความพร้อมใช้งานอย่างต่อเนื่องของก๊าซสอบเทียบความบริสุทธิ์สูงชนิดนี้

ความคิดปฏิบัติการ

เพื่อให้ได้ประโยชน์สูงสุดจากการใช้ส่วนผสมก๊าซ CF4 กับ O2 ของ AGEM สำหรับกระบวนการก๊าซกัดเซาะพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ AGEM ขอแนะนำแนวทางปฏิบัติในการดำเนินงานดังนี้:

- การจัดเก็บและการจัดการ: เก็บถังก๊าซตามแนวทางความปลอดภัยที่ให้มา โดยรักษาช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมเพื่อคงเสถียรภาพของก๊าซ ใช้เครื่องควบคุมแรงดัน (regulator) และอุปกรณ์ส่งก๊าซที่เหมาะสมกับส่วนผสมก๊าซ CF4 O2 และส่วนผสมไฮโดรเจน/อาร์กอน

- การตรวจสอบความสมบูรณ์ของถังก๊าซ: ตรวจเช็กวาล์ว ข้อต่อ และเครื่องควบคุมแรงดันก่อนติดตั้ง ยืนยันฉลากรับรองและเอกสารชุดผลิตเพื่อให้มั่นใจในระบบติดตามย้อนกลับได้

- กระบวนการสอบเทียบ: นำส่วนผสมสำหรับสอบเทียบความบริสุทธิ์ 99.9999% ไปใช้ในกำหนดเวลาการสอบเทียบและตรวจสอบเป็นประจำสำหรับเครื่องมือกระบวนการและอุปกรณ์วิเคราะห์ เพื่อรักษาการควบคุมกระบวนการและลดความแปรปรวน

- ความปลอดภัยและความสอดคล้อง: ปฏิบัติตามกฎระเบียบในท้องถิ่นและมาตรการความปลอดภัยสำหรับการจัดการก๊าซฟลูออรีนและส่วนผสมที่มีไฮโดรเจน AGEM จัดให้มีเอกสารข้อมูลความปลอดภัยของสารเคมี (MSDS) และคำแนะนำในการจัดการเพื่อสนับสนุนการใช้งานอย่างปลอดภัย

เหตุใดจึงควรเลือก เอเจอีเอ็ม

ความมุ่งมั่นของเอเจอีเอ็มต่อความเป็นเลิศของผลิตภัณฑ์ ทำให้ก๊าซผสมสำหรับการปรับค่ามาตรฐานระดับความบริสุทธิ์ 99.9999% เป็นทางเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์และห้องปฏิบัติการวิเคราะห์ สาเหตุสำคัญที่ควรเลือกก๊าซสำหรับการปรับค่ามาตรฐานระดับความบริสุทธิ์สูงจากเอเจอีเอ็ม ได้แก่

- ความเชี่ยวชาญและความน่าเชื่อถือ: ประสบการณ์อันลึกซึ้งของเอเจอีเอ็มในด้านก๊าซพิเศษและก๊าซสำหรับการปรับค่ามาตรฐาน รับรองสูตรผสมก๊าซซีเอฟโฟร์และออกซิเจนที่แม่นยำและสามารถทำซ้ำได้ ซึ่งออกแบบมาเฉพาะสำหรับก๊าซที่ใช้ในกระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์ด้วยพลาสม่า

- การรับประกันคุณภาพ: กระบวนการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวด ระบบติดตามแหล่งที่มาอย่างครบถ้วน และผลการวิเคราะห์ที่ผ่านการรับรองอย่างเป็นทางการสำหรับถังก๊าซทุกใบ สนับสนุนการรับรองกระบวนการและการเตรียมพร้อมสำหรับการตรวจสอบ

- การพัฒนาที่ขับเคลื่อนด้วยงานวิจัย: การลงทุนอย่างต่อเนื่องในงานวิจัยและพัฒนาช่วยให้เอเจอีเอ็มสามารถปรับปรุงเทคโนโลยีการผสมก๊าซและปรับสูตรให้สอดคล้องกับความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของกระบวนการกัด

- การสนับสนุนระดับโลก: การดำเนินงานในหกภูมิภาคทั่วโลก รับประกันการจัดหาสินค้าที่ตอบสนองได้รวดเร็วและการให้ความช่วยเหลือด้านเทคนิคอย่างทันท่วงที สำหรับการบูรณาการกระบวนการและการแก้ไขปัญหา

ก๊าซผสมสำหรับการปรับค่ามาตรฐานของบริษัท AGEM ความบริสุทธิ์สูงถึง 99.9999% ซึ่งประกอบด้วย CF4 และ O2 ผสมในส่วนผสมของไฮโดรเจนกับอาร์กอน ให้โซลูชันประสิทธิภาพสูงเพื่อแก้ปัญหาด้านก๊าซที่ใช้ในการกัดเซาะพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยรวมเอาความบริสุทธิ์สูงสุด ความแม่นยำของสัดส่วนก๊าซ CF4 กับ O2 อย่างเข้มงวด และระบบประกันคุณภาพที่เชื่อถือได้ ทำให้ก๊าซสำหรับการปรับค่ามาตรฐานความบริสุทธิ์สูงนี้สามารถรองรับการปรับค่ามาตรฐานอย่างแม่นยำ การควบคุมกระบวนการอย่างเชื่อถือได้ และผลลัพธ์ด้านผลผลิตที่ดีขึ้นในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง นอกจากนี้ ด้วยศักยภาพที่ผ่านการพิสูจน์แล้วด้านการผลิตและการวิจัยและพัฒนาของ AGEM ลูกค้าจะได้รับก๊าซผสมสำหรับการปรับค่ามาตรฐานที่สามารถตรวจสอบแหล่งที่มาได้ มีเสถียรภาพสูง และสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการ ความบริสุทธิ์ 99.9999% ที่ออกแบบมาเฉพาะสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดที่สุด