ทั้งหมด

ก๊าซผสม CF4 และ O2 ความบริสุทธิ์สูงระดับ 6N ผสมกับไฮโดรเจนและอาร์กอนเป็นก๊าซพื้นฐาน ใช้สำหรับการสอบเทียบกระบวนการกัดเซาะพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ก๊าซผสม CF4 และ O2 ความบริสุทธิ์สูงระดับ 6N ผสมกับไฮโดรเจนและอาร์กอนเป็นก๊าซพื้นฐาน ใช้สำหรับการสอบเทียบกระบวนการกัดเซาะพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

สอบถามข้อมูล

ภาพรวม
สอบถามข้อมูล
ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

เกี่ยวกับสินค้า

จุดเด่น

ส่วนผสมสำหรับการสอบเทียบชนิดความบริสุทธิ์สูงพิเศษระดับ 99.9999% (6N) นี้เป็นก๊าซกระบวนการพิเศษที่ออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของกระบวนการกัดด้วยพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และกระบวนการสร้างฟิล์มบางขั้นสูง โดยการผสมคาร์บอนเทตราฟลูออไรด์ (CF4) กับออกซิเจน (O2) อย่างแม่นยำภายในเมทริกซ์ที่สมดุลของไฮโดรเจน (H2) กับอาร์กอน (Ar) ส่วนผสมนี้จึงให้สมดุลทางเคมีที่จำเป็นอย่างยิ่งในการควบคุมความสามารถในการเลือกกัด (etch selectivity) และความเป็นแนวตั้งของรูปแบบการกัด (profile anisotropy) ในการผลิตชิ้นส่วนที่มีขนาดเล็กกว่าหนึ่งนาโนเมตร ความบริสุทธิ์ระดับ 6N รับประกันว่าสิ่งเจือปนเชิงโลหะและไอน้ำจะเกือบไม่มีอยู่เลย จึงช่วยป้องกันการปนเปื้อนของเวเฟอร์ และยกระดับผลผลิตของอุปกรณ์ได้อย่างมีนัยสำคัญ โดยเฉพาะในสถาปัตยกรรมที่ซับซ้อน เช่น 3D NAND และ FinFET การใส่ก๊าซอาร์กอนเข้าไปช่วยให้พลังงานการโจมตีด้วยไอออน (ion bombardment energy) ที่จำเป็นสำหรับกระบวนการสปัตเทอริงเชิงกายภาพ (physical sputtering) ในขณะที่อัตราส่วนระหว่างไฮโดรเจนต่อออกซิเจนได้รับการปรับแต่งอย่างละเอียดเพื่อควบคุมชั้นผ่านโพลิเมอร์ (polymer passivation layers) ให้ได้ร่องลึกที่มีอัตราส่วนความสูงต่อความกว้างสูง (high-aspect-ratio trenches) พร้อมผนังด้านข้างที่ตั้งตรงอย่างสมบูรณ์แบบ ถังก๊าซแต่ละใบผลิตด้วยวิธีการผสมตามน้ำหนัก (gravimetric mixing) ขั้นสูง และผ่านกระบวนการพาสซิเวชันภายในแบบเฉพาะของผู้ผลิต เพื่อให้มั่นใจว่าส่วนประกอบที่มีปฏิกิริยาเหล่านี้จะคงเสถียรภาพ และไม่เบี่ยงเบนจากความเข้มข้นที่ระบุไว้ตลอดอายุการใช้งาน ผลิตภัณฑ์นี้มาพร้อมใบรับรองการวิเคราะห์ (Certificate of Analysis: CoA) ฉบับสมบูรณ์ ซึ่งสามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ตามมาตรฐานสากล จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนา (R&D labs) และโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่ (high-volume semiconductor fabs) ที่ต้องการความสม่ำเสมออย่างแน่นอนในองค์ประกอบพลาสม่าของตน ส่วนผสมแบบสมดุลครบวงจร (all-in-one balanced mixture) นี้ยังช่วยทำให้ระบบจ่ายก๊าซเรียบง่ายขึ้น โดยลดจำนวนท่อจ่ายก๊าซแยกตัวที่จำเป็นลง จึงลดจุดรั่วที่อาจเกิดขึ้นได้ และทำให้กระบวนการสอบเทียบตัวควบคุมการไหลมวล (mass flow control: MFC) มีประสิทธิภาพมากยิ่งขึ้น

เกี่ยวกับเรา

บริษัท AGEM ก่อตั้งขึ้นในปี ค.ศ. 2008 ในฐานะผู้ผลิตและให้บริการอุปกรณ์ก๊าซมืออาชีพระดับนานาชาติ โดยมีสำนักงานใหญ่ตั้งอยู่ที่ไต้หวัน ประเทศจีน ด้วยประสบการณ์เชี่ยวชาญเฉพาะทางในอุตสาหกรรมนี้มาเป็นเวลา 16 ปี บริษัทได้สร้างเครือข่ายทั่วโลก ยึดมั่นในมาตรฐานการผลิตที่เหนือกว่า และนำเสนอพอร์ตโฟลิโอผลิตภัณฑ์ที่ครอบคลุมทุกด้าน จนกลายเป็นองค์กรชั้นนำที่ถูกใช้เป็นเกณฑ์อ้างอิงในภาคอุตสาหกรรมอุปกรณ์ก๊าซ บริษัทดำเนินกลยุทธ์การพัฒนาสู่ความเป็นสากล โดยจัดตั้งฐานการผลิตที่ทันสมัยในจีนแผ่นดินใหญ่ ไต้หวัน ประเทศจีน และอินเดีย ซึ่งร่วมกันสร้างเครือข่ายการผลิตและการให้บริการที่ครอบคลุมภูมิภาคเอเชียและขยายไปทั่วโลก แต่ละฐานการผลิตติดตั้งสายการผลิตอัจฉริยะและอุปกรณ์ทดสอบความแม่นยำสูง ทำให้สามารถควบคุมกระบวนการผลิตแบบครบวงจร ตั้งแต่การแปรรูปวัตถุดิบจนถึงการส่งมอบผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป ด้วยกำลังการผลิตต่อปีที่อยู่ในอันดับต้นๆ ของอุตสาหกรรมอย่างต่อเนื่อง บริษัทจึงสามารถตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของลูกค้าทั่วโลกได้อย่างรวดเร็ว งานหลักของบริษัทมุ่งเน้นไปที่อุปกรณ์หลักที่เกี่ยวข้องกับก๊าซ ครอบคลุมผลิตภัณฑ์ครบวงจร ได้แก่ ก๊าซอุตสาหกรรมชนิดต่างๆ วาล์วก๊าซเฉพาะทาง ถังบรรจุก๊าซแรงดันสูง ถังอลูมิเนียมน้ำหนักเบา และวาล์วลดแรงดันความแม่นยำสูง ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ถูกนำไปใช้งานอย่างแพร่หลายในภาคอุตสาหกรรมสำคัญ เช่น เคมีภัณฑ์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ การดูแลสุขภาพ และพลังงาน ด้วยความเชี่ยวชาญทางเทคนิคที่ลึกซึ้ง ผลิตภัณฑ์ของบริษัทได้รับการรับรองระบบการจัดการคุณภาพ ISO 9001 และใบรับรองระหว่างประเทศที่มีชื่อเสียงหลายฉบับ รวมถึงการรับรอง ASME สำหรับอุปกรณ์แรงดันสูง การรับรอง CE-PED เพื่อการเข้าสู่ตลาดสหภาพยุโรป และการรับรอง IECEx สำหรับอุปกรณ์กันระเบิดเพื่อการใช้งานทั่วโลก ตัวชี้วัดประสิทธิภาพหลัก เช่น สมรรถนะการปิดผนึก ความต้านทานแรงดัน และระบบป้องกันความปลอดภัย ล้วนบรรลุระดับขั้นสูงตามมาตรฐานสากล บริษัทให้ความสำคัญกับนวัตกรรมทางเทคโนโลยีเป็นกลยุทธ์การแข่งขันหลักอย่างต่อเนื่อง โดยจัดตั้งทีมวิจัยและพัฒนา (R&D) ระดับนานาชาติ และลงทุนอย่างต่อเนื่องในการพัฒนาเทคโนโลยีขั้นสูง

คำถามที่พบบ่อย

ระยะเวลาในการจัดเตรียมส่วนผสมที่มีความบริสุทธิ์ระดับ 99.9999% (6N) ตามสั่งทำพิเศษคือเท่าใด

สำหรับก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (UHP) เช่น CF4/O2 ระยะเวลาในการจัดเตรียมโดยทั่วไปคือ 10–15 วันทำการ ซึ่งรวมถึงการผสมแบบแม่นยำและการทดสอบความเสถียรแบบหลายขั้นตอน เพื่อให้มั่นใจว่าได้คุณภาพระดับ 6N และความแม่นยำของความเข้มข้น

ท่านรับประกันความแม่นยำของความเข้มข้นในส่วนผสม CF4/O2 อย่างไร

เราใช้วิธีการชั่งน้ำหนัก (gravimetric method) ด้วยเครื่องชั่งความแม่นยำสูงระหว่างกระบวนการบรรจุ ซึ่งเป็นเทคนิคการผสมที่แม่นยำที่สุด หลังการบรรจุแต่ละถังจะผ่านการวิเคราะห์ด้วยโครมาโทกราฟีแก๊ส (GC) และแนบใบรับรองผลการวิเคราะห์ (COA) ที่สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ถึงมาตรฐาน NIST หรือมาตรฐานแห่งชาติ

ส่วนผสมนี้มีความเสถียรหรือไม่ ทั้งที่ประกอบด้วยไฮโดรเจน (H2) และออกซิเจน (O2)

ใช่ค่ะ เราปฏิบัติตามแนวทางความปลอดภัยในการผสมอย่างเคร่งครัด โดยควบคุมความเข้มข้นของส่วนประกอบที่ติดไฟได้และส่วนประกอบที่ออกซิไดซ์ให้อยู่ภายในขอบเขตความปลอดภัย หรือปรับสมดุลด้วยอาร์กอน (Ar) เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรทางเคมี และป้องกันปฏิกิริยาอันตรายใดๆ ภายในถัง

ใช้ถังประเภทใดและวาล์วประเภทใดสำหรับก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ชนิดนี้

เราใช้ถังอลูมิเนียมอัลลอยที่ผ่านการพาสซิเวตภายใน หรือถังสแตนเลสที่ขัดเงา เพื่อป้องกันการดูดซับบนพื้นผิว สำหรับก๊าซเกรด 6N เราโดยทั่วไปจะติดตั้งวาล์วแบบ DISS (Digital Intelligent Scheduling System) รุ่น 660 หรือวาล์วสแตนเลสเกรด SS 316L เพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีการรั่วไหลเลย และป้องกันการปนเปื้อน

ข้อกำหนดในการจัดเก็บส่วนผสมก๊าซชนิดนี้คืออะไร

ควรจัดเก็บถังในพื้นที่ที่เย็น แห้ง และมีการระบายอากาศที่ดี ห่างจากแสงแดดโดยตรงและแหล่งความร้อน (อุณหภูมิต่ำกว่า 50 องศาเซลเซียส) ทั้งนี้ ต้องยึดถังให้ตั้งตรงเพื่อป้องกันการล้ม

ท่านจัดส่งก๊าซอันตรายไปยังทั่วโลกหรือไม่

ใช่ พวกเราเชี่ยวชาญด้านการขนส่งสินค้าอันตรายกลุ่ม 2 โดยจัดเตรียมเอกสารครบถ้วน ได้แก่ เอกสารข้อมูลความปลอดภัยของวัสดุ (MSDS), บรรจุภัณฑ์ที่ผ่านการรับรองตามมาตรฐาน UN และเอกสารแจ้งการขนส่งสินค้าอันตราย (DG) สำหรับการขนส่งทางเรือหรือทางอากาศ