ทั้งหมด

ก๊าซเฮกซาฟลูโอโรบิวตาไดอีน (C4F6) ความบริสุทธิ์สูง 99.999% ขนาด 10 ลิตร และ 8 ลิตร สำหรับการใช้งานขั้นสูงในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์

ก๊าซเฮกซาฟลูโอโรบิวตาไดอีน (C4F6) ความบริสุทธิ์สูง 99.999% ขนาด 10 ลิตร และ 8 ลิตร สำหรับการใช้งานขั้นสูงในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์

สอบถามข้อมูล

ภาพรวม
สอบถามข้อมูล
ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

เกี่ยวกับสินค้า

สะท้อน

ความบริสุทธิ์ระดับอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์ C4F6 ของเราจัดจำหน่ายในเกรดความบริสุทธิ์สูงพิเศษสูงสุดถึงระดับ 5N (99.999 เปอร์เซ็นต์) ซึ่งมีระดับสิ่งเจือปนต่ำมาก รวมถึงออกซิเจน (O2) ความชื้น (H2O) และไฮโดรคาร์บอน ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของพลาสม่าที่เหนือกว่า ประสิทธิภาพการกัดกร่อนที่สม่ำเสมอ และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการสูง ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานการกัดกร่อนพลาสม่าขั้นสูง C4F6 ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการกัดกร่อนพลาสม่าแบบความแม่นยำสูง รวมถึงการกัดกร่อนไดอิเล็กตริก การกัดกร่อนชั้นออกไซด์ การสร้างลวดลายวัสดุชนิด low-k และการควบคุมขนาดเชิงวิมาน (critical dimension) ซึ่งให้ความสามารถในการเลือกกัด (selectivity) ที่เหนือกว่า การกัดกร่อนแบบแอนไอโซโทรปิก (anisotropic etching) ที่มีประสิทธิภาพสูง และความแม่นยำของรูปร่าง (profile accuracy) ที่ดีขึ้น เมื่อเทียบกับก๊าซฟลูออโรคาร์บอนแบบดั้งเดิม เช่น CF4, C2F6 และ C3F8 จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตวงจรลอจิก หน่วยความจำ (memory) และระบบไมโครอิเล็กโตรเมคานิคัล (MEMS) ทางเลือกที่มีศักยภาพในการทำให้โลกร้อนน้อยลง (Low Global Warming Potential: GWP) เมื่อเปรียบเทียบกับก๊าซเพอร์ฟลูออโรคาร์บอนแบบดั้งเดิมแล้ว C4F6 ให้ประสิทธิภาพการกัดกร่อนที่สูงขึ้น การใช้ก๊าซน้อยลง และผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมลดลง ช่วยให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์บรรลุเป้าหมายด้านความยั่งยืน ขณะยังคงรักษาประสิทธิภาพการผลิตและอัตราผลผลิต (yield) ไว้ในระดับสูง การควบคุมสิ่งเจือปนและความชื้นอย่างเข้มงวด เราใช้ระบบการกลั่นก๊าซขั้นสูง เครื่องมือวิเคราะห์ที่มีความแม่นยำสูง และมาตรการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวด เพื่อให้มั่นใจว่าระดับความชื้น (H2O) ไม่เกิน 1 ppm ออกซิเจน (O2) ไม่เกิน 1 ppm และไฮโดรคาร์บอนรวมทั้งหมดไม่เกิน 1 ppm ซึ่งช่วยป้องกันการปนเปื้อนเวเฟอร์ ความไม่เสถียรของพลาสม่า และข้อบกพร่องของกระบวนการอย่างมีประสิทธิภาพ จึงรับประกันประสิทธิภาพการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ ถังบรรจุที่ได้รับการรับรองพร้อมการบำบัดพื้นผิวระดับเซมิคอนดักเตอร์ C4F6 ของเราจัดจำหน่ายในถังบรรจุขนาดมาตรฐาน 47 ลิตร และ 10 ลิตร รวมทั้งขนาดที่ออกแบบตามความต้องการเฉพาะ โดยผลิตตามมาตรฐาน ISO 9809, DOT 3AA และ TPED EN มีตัวเลือกการขัดผิวภายในด้วยกระแสไฟฟ้า (electropolishing) และการพาสซิเวชัน (passivation) เพื่อลดการเกิดอนุภาค ป้องกันการปนเปื้อนของก๊าซ และรักษาความบริสุทธิ์ของก๊าซในระดับสูงพิเศษระหว่างการจัดเก็บและการใช้งาน

เกี่ยวกับเรา

บริษัท AGEM ก่อตั้งขึ้นในปี ค.ศ. 2008 ในฐานะผู้ผลิตและให้บริการอุปกรณ์ก๊าซมืออาชีพระดับนานาชาติ โดยมีสำนักงานใหญ่ตั้งอยู่ที่ไต้หวัน ประเทศจีน ด้วยประสบการณ์เชี่ยวชาญเฉพาะทางในอุตสาหกรรมนี้มาเป็นเวลา 16 ปี บริษัทได้สร้างเครือข่ายทั่วโลก ยึดมั่นในมาตรฐานการผลิตที่เหนือกว่า และนำเสนอพอร์ตโฟลิโอผลิตภัณฑ์ที่ครอบคลุมทุกด้าน จนกลายเป็นองค์กรชั้นนำที่ถูกใช้เป็นเกณฑ์อ้างอิงในภาคอุตสาหกรรมอุปกรณ์ก๊าซ บริษัทดำเนินกลยุทธ์การพัฒนาสู่ความเป็นสากล โดยจัดตั้งฐานการผลิตที่ทันสมัยในจีนแผ่นดินใหญ่ ไต้หวัน ประเทศจีน และอินเดีย ซึ่งร่วมกันสร้างเครือข่ายการผลิตและการให้บริการที่ครอบคลุมภูมิภาคเอเชียและขยายไปทั่วโลก แต่ละฐานการผลิตติดตั้งสายการผลิตอัจฉริยะและอุปกรณ์ทดสอบความแม่นยำสูง ทำให้สามารถควบคุมกระบวนการผลิตแบบครบวงจร ตั้งแต่การแปรรูปวัตถุดิบจนถึงการส่งมอบผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป ด้วยกำลังการผลิตต่อปีที่อยู่ในอันดับต้นๆ ของอุตสาหกรรมอย่างต่อเนื่อง บริษัทจึงสามารถตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของลูกค้าทั่วโลกได้อย่างรวดเร็ว งานหลักของบริษัทมุ่งเน้นไปที่อุปกรณ์หลักที่เกี่ยวข้องกับก๊าซ ครอบคลุมผลิตภัณฑ์ครบวงจร ได้แก่ ก๊าซอุตสาหกรรมชนิดต่างๆ วาล์วก๊าซเฉพาะทาง ถังบรรจุก๊าซแรงดันสูง ถังอลูมิเนียมน้ำหนักเบา และวาล์วลดแรงดันความแม่นยำสูง ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ถูกนำไปใช้งานอย่างแพร่หลายในภาคอุตสาหกรรมสำคัญ เช่น เคมีภัณฑ์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ การดูแลสุขภาพ และพลังงาน ด้วยความเชี่ยวชาญทางเทคนิคที่ลึกซึ้ง ผลิตภัณฑ์ของบริษัทได้รับการรับรองระบบการจัดการคุณภาพ ISO 9001 และใบรับรองระหว่างประเทศที่มีชื่อเสียงหลายฉบับ รวมถึงการรับรอง ASME สำหรับอุปกรณ์แรงดันสูง การรับรอง CE-PED เพื่อการเข้าสู่ตลาดสหภาพยุโรป และการรับรอง IECEx สำหรับอุปกรณ์กันระเบิดเพื่อการใช้งานทั่วโลก ตัวชี้วัดประสิทธิภาพหลัก เช่น สมรรถนะการปิดผนึก ความต้านทานแรงดัน และระบบป้องกันความปลอดภัย ล้วนบรรลุระดับขั้นสูงตามมาตรฐานสากล บริษัทให้ความสำคัญกับนวัตกรรมทางเทคโนโลยีเป็นกลยุทธ์การแข่งขันหลักอย่างต่อเนื่อง โดยจัดตั้งทีมวิจัยและพัฒนา (R&D) ระดับนานาชาติ และลงทุนอย่างต่อเนื่องในการพัฒนาเทคโนโลยีขั้นสูง

คำถามที่พบบ่อย

คุณมี C4F6 ที่มีระดับความบริสุทธิ์ใดบ้าง

เรามี C4F6 สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่ ระดับความบริสุทธิ์ 4N (99.99 เปอร์เซ็นต์), 4.5N (99.995 เปอร์เซ็นต์) และ 5N (99.999 เปอร์เซ็นต์) โดยสามารถจัดหาความบริสุทธิ์ที่สูงกว่านี้ได้ตามคำขอ

การใช้งานทั่วไปของ C4F6 คืออะไร

C4F6 ใช้เป็นหลักในกระบวนการกัดแบบพลาสม่าสำหรับชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ การกัดชั้นไดอิเล็กตริก การกัดออกไซด์ การกัดไดอิเล็กตริกชนิด low-k การผลิตไมโครอิเล็กโตรเมคานิคัลซิสเต็ม (MEMS) และการผลิตวงจรรวมขั้นสูง

มีขนาดถังก๊าซแบบใดบ้าง

บรรจุภัณฑ์มาตรฐานประกอบด้วยถังก๊าซขนาด 47 ลิตร 10 ลิตร และ 8 ลิตร รวมทั้งถังก๊าซที่ออกแบบเฉพาะตามคำขอ นอกจากนี้ยังมีบริการขัดผิวด้านในถังก๊าซด้วยกระบวนการ electropolishing สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

แรงดันบรรจุและน้ำหนักบรรจุโดยทั่วไปคือเท่าใด

พารามิเตอร์การบรรจุโดยทั่วไป ได้แก่ แรงดันบรรจุสูงสุด 13–15 เมกะพาสคาล และน้ำหนักบรรจุประมาณ 20–25 กิโลกรัม สำหรับถังก๊าซขนาด 47 ลิตร โดยน้ำหนักบรรจุที่แน่นอนขึ้นอยู่กับระดับความบริสุทธิ์และข้อกำหนดของลูกค้า

ถังก๊าซ C4F6 ใช้ประเภทวาล์วใด

ประเภทวาล์วทั่วไป ได้แก่ CGA 716, DISS 716 และวาล์วเกรดเซมิคอนดักเตอร์แบบพิเศษ ซึ่งสามารถปรับแต่งการเลือกวาล์วให้สอดคล้องกับมาตรฐานระดับภูมิภาคได้

คุณรับประกันความบริสุทธิ์และความเสถียรของก๊าซอย่างไร

เราควบคุมคุณภาพผ่านระบบการกำจัดสิ่งปนเปื้อนในก๊าซขั้นสูง เทคโนโลยีการกำจัดความชื้นและออกซิเจน การวิเคราะห์ด้วยโครมาโทกราฟีก๊าซ (GC) และใบรับรองการวิเคราะห์ (COA) ที่จัดทำให้พร้อมกับถังก๊าซแต่ละใบ

ระยะเวลาในการจัดส่งคือเท่าใด

โดยทั่วไป ใช้เวลาจัดส่ง 15 ถึง 25 วันหลังจากได้รับเงินมัดจำ ทั้งนี้อาจจัดส่งได้เร็วกว่านี้ขึ้นอยู่กับปริมาณสต๊อกที่มีอยู่และการเตรียมถังก๊าซ

ถังก๊าซของท่านผ่านเกณฑ์มาตรฐานใดบ้าง

ถังก๊าซของเราเป็นไปตามมาตรฐาน ISO 9809, DOT 3AA, TPED และ EN โดยสามารถจัดให้มีการตรวจสอบโดยหน่วยงานภายนอกตามคำขอได้