- ภาพรวม
- สอบถามข้อมูล
- ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

อาร์กอน (AR), ฟลูออรีน (F2), ฮีเลียม (He), นีออน (Ne) — ก๊าซพรีมิกซ์ที่ใช้กระตุ้นเลเซอร์ในอุปกรณ์เลเซอร์เอ็กซิเมอร์สำหรับตา มีส่วนประกอบหลักคือฟลูออรีนและอาร์กอน โดยใช้นีออนเป็นก๊าซสมดุล ถังก๊าซที่บริษัทจัดจำหน่ายทำจากเหล็ก ผ่านการตรวจสอบความปลอดภัยก่อนขั้นตอนการบรรจุทุกครั้ง และไม่ดำเนินการบรรจุซ้ำในถังก๊าซที่ไม่ได้มาตรฐาน แต่จะนำกลับไปรีไซเคิลแทน ก๊าซเลเซอร์เอ็กซิเมอร์ประกอบด้วยส่วนผสมของก๊าซมีตระกูล (ก๊าซเฉื่อย) กับฮาโลเจน เลเซอร์ความยาวคลื่น 193 นาโนเมตรเกิดขึ้นจากการทำปฏิกิริยาระหว่างก๊าซ Ar กับ F2 ภายใต้เงื่อนไขที่เหมาะสมของการกระตุ้นด้วยไฟฟ้าและความดันสูง กระบวนการนี้ต้องอาศัยเทคโนโลยีขั้นสูง และมีเพียงบริษัทก๊าซจำนวนน้อยมากทั่วโลกที่สามารถผลิตได้
ก๊าซเอ็กไซเมอร์สำหรับรุ่นบางส่วน |
||||||
แบรนด์ |
ความยาวคลื่น |
กระบอก |
วาล์ว |
|||
สอดคล้อง |
193nm |
20 ลิตร |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 ลิตร/50 ลิตร |
DIN 8/DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10 ลิตร/20 ลิตร |
DIN 14 |
|||
VISX |
193nm |
16 ลิตร |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 ลิตร |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 ลิตร |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
20L |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193nm |
10 ลิตร |
DIN 8/DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 ลิตร |
CGA 679 |
|||






เอเจอีเอ็ม นำเสนอโซลูชันที่ออกแบบด้วยความแม่นยำสูงสำหรับความต้องการก๊าซผสมเลเซอร์เอ็กซิเมอร์: ก๊าซสอบเทียบเลเซอร์เอ็กซิเมอร์คริปโตน ซึ่งประกอบด้วย เซนอน (Xe), คริปโตน (Kr) และ นีออน (Ne) ที่ปรับแต่งมาเป็นพิเศษสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น โฟโตลิโธกราฟี และก๊าซสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยฐานะผู้ให้บริการโซลูชันก๊าซเฉพาะทางที่เชื่อถือได้ เอเจอีเอ็มอาศัยประสบการณ์กว่าหลายทศวรรษในการผลิตก๊าซและการวิจัยและพัฒนา เพื่อจัดหาส่วนผสมก๊าซสอบเทียบ Kr/Xe/Ne ที่สอดคล้องตามข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ ความเสถียร และความสามารถในการติดตามแหล่งที่มาอย่างเข้มงวด สำหรับทั้งการใช้งานในสายการผลิตและห้องปฏิบัติการ
ภาพรวมผลิตภัณฑ์และคุณสมบัติหลัก
ก๊าซผสมเอ็กซิเมอร์เลเซอร์นี้ถูกพัฒนาขึ้นเพื่อรองรับระบบเลเซอร์เอ็กซิเมอร์ที่ใช้คริปตันและซีนอน และเพื่อให้ได้ผลการสอบเทียบแบบแม่นยำสำหรับ Kr/Xe/Ne ในการผลิตอุปกรณ์ออปติกและอิเล็กทรอนิกส์ ก๊าซสอบเทียบเลเซอร์เอ็กซิเมอร์คริปตันของบริษัท AGEM ซึ่งเป็นก๊าซผสม Xe Kr Ne นั้นมีจำหน่ายในความเข้มข้นที่ควบคุมอย่างแม่นยำ พร้อมการตรวจสอบอย่างเข้มงวด ก๊าซผสมเอ็กซิเมอร์เลเซอร์นี้ได้รับประโยชน์จากกระบวนการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวดของ AGEM และประสบการณ์อันยาวนานในการจัดหาโซลูชันก๊าซเฉพาะทาง จึงมั่นใจได้ทั้งด้านความพร้อมในการจัดส่งอย่างต่อเนื่องและพฤติกรรมที่คาดการณ์ได้ภายใต้สภาวะการใช้งานจริง
- ความบริสุทธิ์และความสม่ำเสมอ: AGEM รับประกันว่าส่วนประกอบทั้งหมดมีความบริสุทธิ์สูง และการผสมแต่ละส่วนทำได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้ได้ก๊าซผสมเอ็กซิเมอร์เลเซอร์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ ทั้งนี้ การผลิตก๊าซผสมสำหรับการสอบเทียบ Kr/Xe/Ne นั้นดำเนินการตามขั้นตอนที่ผ่านการรับรองแล้ว และใช้เทคนิคการวิเคราะห์ขั้นสูง เพื่อลดสิ่งเจือปนที่อาจส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของเลเซอร์หรือความแม่นยำของการสอบเทียบ
- การสอบเทียบแบบติดตามได้: ถังก๊าซสอบเทียบ Kr/Xe/Ne แต่ละถังมาพร้อมใบรับรองที่ติดตามได้และเอกสารรุ่นผลิต ซึ่งสนับสนุนขั้นตอนตามมาตรฐาน ISO และระบบคุณภาพสำหรับโรงงานผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ (Fab) และห้องปฏิบัติการ ผสมก๊าซเลเซอร์เอ็กซิเมอร์นี้เหมาะสำหรับงานวัดที่มีความสำคัญยิ่ง ซึ่งต้องอาศัยความสามารถในการติดตามแหล่งที่มาและความมั่นคงของคุณภาพที่มีเอกสารรับรอง
- ความเสถียรและอายุการเก็บรักษา: สูตรส่วนผสมและการบรรจุภัณฑ์ถูกออกแบบเพื่อรักษาความสมบูรณ์ของผสมก๊าซเลเซอร์เอ็กซิเมอร์ตลอดกระบวนการจัดเก็บและการขนส่ง ลดความเสี่ยงจากการเปลี่ยนแปลงองค์ประกอบ AGEM ให้บริการก๊าซพิเศษที่รวมถึงการจัดการถังก๊าซและคำแนะนำด้านการจัดเก็บ เพื่อรักษาความเสถียรของก๊าซระหว่างการใช้งาน
- ความปลอดภัยและความสอดคล้อง: ก๊าซสอบเทียบ Kr/Xe/Ne นี้ผลิตขึ้นตามข้อกำหนดด้านกฎระเบียบและแนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุด โดยเป็นไปตามมาตรฐานด้านความปลอดภัย การติดฉลาก และการจัดการที่จำเป็นสำหรับสภาพแวดล้อมเชิงอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการ AGEM จัดเตรียมเอกสารข้อมูลความปลอดภัยของสาร (SDS) และการสนับสนุนทางเทคนิค เพื่อช่วยในการผสานรวมเข้ากับโครงสร้างพื้นฐานการจัดการก๊าซที่มีอยู่แล้ว
การประยุกต์ใช้งาน
ก๊าซสอบเทียบเลเซอร์เอ็กซิเมอร์คริปทอนของบริษัท AGEM ซึ่งเป็นส่วนผสมของก๊าซ Xe Kr Ne ถูกออกแบบมาเพื่อการใช้งานหลากหลายประเภทที่ต้องการองค์ประกอบก๊าซและความแม่นยำในการสอบเทียบที่สูงมาก:
- การถ่ายโอนลวดลายด้วยแสง (Photolithography) และการผลิตชิ้นส่วนขนาดจุลภาค (Microfabrication): ในฐานะก๊าซผสมสำหรับเลเซอร์เอ็กซิเมอร์ ก๊าซส่วนผสมนี้รองรับระบบเลเซอร์ KrF และ XeCl ทำให้สามารถปฏิบัติงานด้านการสร้างลวดลายอย่างแม่นยำและการสอบเทียบในกระบวนการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ได้ ทั้งนี้ ก๊าซสอบเทียบที่เป็นส่วนผสมของ Kr/Xe/Ne ได้รับการปรับแต่งให้เหมาะสมเพื่อรักษาลักษณะการสัมผัสแสง (exposure characteristics) อย่างสม่ำเสมอ และยืนยันพารามิเตอร์ของลำแสงเลเซอร์
- การสอบเทียบก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ก๊าซสอบเทียบส่วนผสม Kr/Xe/Ne เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับการสอบเทียบเซนเซอร์ อุปกรณ์ควบคุมอัตราการไหล (flow controllers) และเครื่องมือวิเคราะห์ที่ใช้ในการจัดการก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โซลูชันก๊าซเฉพาะทางของ AGEM มอบมาตรฐานอ้างอิงที่เชื่อถือได้ ซึ่งจำเป็นต่อการควบคุมกระบวนการและเพิ่มประสิทธิภาพผลผลิต
- การวิจัยและพัฒนา: ห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาที่ดำเนินงานด้านการพัฒนาเลเซอร์ เทคโนโลยีการวัดเชิงแสง และการวิเคราะห์เฟสก๊าซสามารถวางใจในส่วนผสมก๊าซเอ็กซิเมอร์ของบริษัท AGEM เพื่อให้ได้เงื่อนไขการทดลองที่สามารถทำซ้ำได้อย่างแม่นยำ ก๊าซมาตรฐาน Kr/Xe/Ne สนับสนุนการพัฒนาวิธีการ ตรวจสอบความถูกต้องของเครื่องมือ และการศึกษาเปรียบเทียบ
- การทดสอบชิ้นส่วนออปติก: การสอบเทียบระบบสเปกโตรสโกปี เครื่องตรวจจับรังสี UV และอุปกรณ์ออปติกอื่น ๆ ได้รับประโยชน์จากสูตรก๊าซมาตรฐาน Kr/Xe/Ne ที่มีความแม่นยำสูงของบริษัท AGEM ส่วนผสมก๊าซเอ็กซิเมอร์ช่วยในการกำหนดค่าตอบสนองพื้นฐานและยืนยันความเป็นเชิงเส้นของเครื่องมือ
นวัตกรรมและข้อได้เปรียบทางเทคนิค
บริษัท AGEM ผสานความเชี่ยวชาญด้านวิทยาศาสตร์วัสดุกับนวัตกรรมการผสมก๊าซ เพื่อมอบข้อได้เปรียบทางเทคนิคที่โดดเด่น
- เทคโนโลยีการผสมขั้นสูง: AGEM ใช้เทคโนโลยีการควบคุมอัตราการไหลของมวลและการผสมที่มีความแม่นยำสูง เพื่อให้ได้อัตราส่วนของก๊าซเลเซอร์เอ็กซิเมอร์ที่ถูกต้องแม่นยำ กระบวนการผสมที่แม่นยำนี้ช่วยลดความแปรปรวนระหว่างแต่ละชุดการผลิต และจัดหาแก๊สสำหรับการสอบเทียบ Kr/Xe/Ne ที่ให้ผลลัพธ์สม่ำเสมอในเครื่องมือและเลเซอร์ที่ไวต่อการเปลี่ยนแปลง
- การรับประกันคุณภาพที่แข็งแกร่ง: ถังก๊าซสำหรับการสอบเทียบ Kr/Xe/Ne ทุกถังผ่านการวิเคราะห์อย่างละเอียดด้วยเครื่องมือวิเคราะห์รุ่นล่าสุด เพื่อยืนยันองค์ประกอบและระดับสิ่งเจือปน โซลูชันก๊าซเฉพาะทางของ AGEM รองรับด้วยเอกสารที่จัดทำอย่างรอบคอบและขั้นตอนการควบคุมคุณภาพที่ออกแบบมาเพื่อใช้งานในสภาพแวดล้อมที่ต้องการความน่าเชื่อถือสูง
- โซลูชันที่ปรับแต่งได้: AGEM นำเสนอสูตรผสมก๊าซสำหรับการสอบเทียบ Kr/Xe/Ne ที่ออกแบบเฉพาะตามความต้องการของลูกค้าแต่ละราย ทั้งในด้านความเข้มข้น ขนาดถัง และใบรับรอง สูตรผสมก๊าซเลเซอร์เอ็กซิเมอร์สามารถปรับให้เหมาะสมกับระบบเลเซอร์หรือมาตรฐานการสอบเทียบเฉพาะ ทำให้เกิดประสิทธิภาพสูงสุดภายใต้สถานการณ์การใช้งานที่หลากหลาย
- การสนับสนุนระดับโลกพร้อมการตอบสนองที่สอดคล้องกับท้องถิ่น: ศักยภาพด้านการวิจัยและพัฒนา (RD) ของ AGEM และเครือข่ายการจัดจำหน่ายทั่วโลกช่วยให้สามารถตอบสนองและให้การสนับสนุนทางเทคนิคได้อย่างรวดเร็วในหกภูมิภาค ลูกค้าได้รับประโยชน์จากการจัดหาสินค้าที่ปรับให้สอดคล้องกับท้องถิ่น ขณะเดียวกันก็ยังคงเข้าถึงความเชี่ยวชาญด้านก๊าซเฉพาะทางของ AGEM และคุณภาพผลิตภัณฑ์ที่สม่ำเสมอ
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค – ตัวอย่าง
ก๊าซสอบเทียบสำหรับเลเซอร์เอ็กซิเมอร์คริปตันของ AGEM ซึ่งเป็นก๊าซผสม Xe Kr Ne มีให้เลือกหลายสัดส่วนองค์ประกอบและรูปแบบถังก๊าซ โดยคุณลักษณะทั่วไป ได้แก่ ความเข้มข้นของคริปตัน เซนอน และนีออนที่ผ่านการตรวจสอบแล้วในอัตราส่วนที่ควบคุมได้; ข้อกำหนดเกี่ยวกับสิ่งเจือปนที่สอดคล้องกับความต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และห้องปฏิบัติการ; และเอกสารรับรองเพื่อการติดตามย้อนกลับ AGEM สามารถจัดเตรียมรายงานการวิเคราะห์โดยละเอียดและใบรับรองการวิเคราะห์ได้ตามคำขอ
คำแนะนำในการใช้งานและการจัดการ
- ติดตั้งและใช้งานส่วนผสมก๊าซเอ็กซิเมอร์เลเซอร์ตามคู่มือของผู้ผลิตสำหรับระบบเลเซอร์และโครงสร้างพื้นฐานการจัดการก๊าซ - ปฏิบัติตามคำแนะนำของเอเจอีเอ็มเกี่ยวกับการจัดเก็บและการจัดการถังก๊าซ เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของก๊าซสอบเทียบ Kr/Xe/Ne - ปรึกษาทีมเทคนิคของเอเจอีเอ็มเพื่อขอความช่วยเหลือเกี่ยวกับโปรโตคอลการสอบเทียบ การเลือกความเข้มข้น และมาตรการด้านความปลอดภัยที่เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมการปฏิบัติงานของท่าน
เหตุใดจึงควรเลือก เอเจอีเอ็ม
เอเจอีเอ็มมุ่งมั่นในการให้ผลิตภัณฑ์ที่ยอดเยี่ยมอย่างไม่ลดละ ในฐานะบริษัทผู้ผลิตก๊าซและดำเนินการวิจัยและพัฒนาจากไต้หวัน ซึ่งเชี่ยวชาญด้านโซลูชันก๊าซเฉพาะทาง เอเจอีเอ็มผสานรวมการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดเข้ากับความรู้เชิงลึกในสาขาของก๊าซสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ก๊าซปริมาณมาก และก๊าซสอบเทียบ ลูกค้าที่เลือกใช้บริการของเอเจอีเอ็มสำหรับความต้องการก๊าซสอบเทียบ Kr/Xe/Ne จะได้รับผลิตภัณฑ์ก๊าซผสมเอ็กซิเมอร์เลเซอร์ความบริสุทธิ์สูง เอกสารรับรองที่เชื่อถือได้ และการสนับสนุนทางเทคนิคสำหรับก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และแอปพลิเคชันด้านออปติกความแม่นยำ
สำหรับองค์กรที่ต้องการโซลูชันก๊าซผสมเลเซอร์เอ็กซิเมอร์ที่เชื่อถือได้ และประสิทธิภาพการสอบเทียบ Kr/Xe/Ne ที่แม่นยำ ก๊าซสอบเทียบเลเซอร์เอ็กซิเมอร์จากคริปตันของ AGEM ซึ่งเป็นก๊าซผสม Xe Kr Ne นั้นถือเป็นทางเลือกที่มีคุณภาพสูง สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ และปรับแต่งตามความต้องการได้ ด้วยความเชี่ยวชาญด้านก๊าซพิเศษและระบบประกันคุณภาพที่เข้มงวดของ AGEM ก๊าซผสมเลเซอร์เอ็กซิเมอร์นี้จึงรองรับการใช้งานที่สำคัญ เช่น โฟโตไลโทกราฟี กระบวนการสอบเทียบก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และงานวิจัย ซึ่งความเสถียร ความบริสุทธิ์ และเอกสารประกอบนั้นมีความสำคัญอย่างยิ่ง
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ