Yüksek Safiyetli 6N CF4/O2 Gaz Karışımı, Yarı İletken Plazma Oyma Kalibrasyonu İçin Hidrojen/Argon Denge Gazı İçerir

Sorgu

Genel Bakış
Sorgu
İlgili ürünler

Ürün Hakkında

Öne Çıkan Özellikler

Bu ultra yüksek saflıkta %99,9999 (6N) Kalibrasyon Karışımı, Yarı İletken Plazma Oyma ve Gelişmiş İnce Film süreçlerinin katı gereksinimleri için özel olarak tasarlanmış bir süreç gazı çözümüdür. Karbon Tetraflorür (CF4) ve Oksijen (O2) bileşenlerini Hidrojen (H2) ve Argon (Ar) dengeli bir matrisi içinde hassas bir şekilde karıştırarak bu karışım, alt-nanometre üretimde oyma seçiciliğini ve profil anizotropisini kontrol etmek için gerekli tam kimyasal sinerjiyi sağlar. 6N sınıfı saflık düzeyi, iz metalik safsızlıkların ve nemi neredeyse tamamen ortadan kaldırır; bu da wafer kirliliğini önler ve 3D NAND ile FinFET gibi karmaşık mimarilerde cihaz verimini önemli ölçüde artırır. Argon ilavesi, fiziksel sputterlama için gerekli iyon bombardıman enerjisini sağlarken, Hidrojen/Oksijen oranı polimer pasivasyon katmanlarını ayarlamak amacıyla titizlikle kalibre edilmiştir; böylece yüksek yön oranlı oluklar mükemmel dikey yan duvarlarla oluşturulur. Her silindir, gelişmiş gravimetrik karıştırma yöntemiyle hazırlanır ve reaktif bileşenlerin zaman içinde belirtilen konsantrasyondan sapmadan stabil kalmasını sağlamak amacıyla iç pasivasyon işleminden geçirilir. Detaylı Bir Analiz Sertifikası (CoA) ile birlikte sunulan ve uluslararası standartlara dayalı olarak izlenebilir olan bu karışım, plazma kimyasında mutlak tutarlılık gerektiren Ar-Ge laboratuvarları ve yüksek hacimli yarı iletken fabrikaları için ideal seçenektir. Bu "tek kutuda tam çözüm" dengeli karışım, gerekli bireysel gaz hatlarının sayısını azaltarak gaz dağıtım sistemlerini basitleştirir; bu da potansiyel sızıntı noktalarını en aza indirir ve kütle akış kontrolü (MFC) kalibrasyon sürecini kolaylaştırır.

Hakkımızda

AGEM, gaz ekipmanları alanında çok uluslu bir profesyonel üretici ve hizmet sağlayıcısı olarak 2008 yılında Tayvan, Çin merkezli kurulmuştur. 16 yıllık sektördeki yoğun uzmanlığıyla, küresel varlığı, üstün üretim ustalığı ve kapsamlı ürün portföyü sayesinde gaz ekipmanları sektöründe bir referans kuruluş konumunu sağlamıştır. Şirket, küreselleşme odaklı bir gelişme stratejisi izleyerek, Çin Ana Karası, Tayvan, Çin ve Hindistan’da modern üretim tesisleri kurmuş; Asya’yı kapsayan ve küresel çapta yayılan bir üretim ve hizmet ağı oluşturmuştur. Her bir tesiste akıllı üretim hatları ile hassas test ekipmanları bulunmakta olup, bu da ham madde işlemeden nihai ürün teslimine kadar tam süreç kontrolünü mümkün kılmaktadır. Yıllık üretim kapasitesi sürekli olarak sektör liderleri arasında yer alarak, şirket küresel müşterilerinin çeşitli ihtiyaçlarına hızlıca yanıt verebilmektedir. Temel faaliyet alanı, gazla ilgili temel ekipmanlardır ve endüstriyel gazlar, özel gaz vanaları, yüksek basınçlı silindirler, hafif alüminyum silindirler ve yüksek hassasiyetli basınç düşürücüler olmak üzere geniş bir ürün yelpazesi sunmaktadır. Bu ürünler, kimya, elektronik, sağlık ve enerji gibi kritik sektörlerde yaygın olarak kullanılmaktadır. Derin teknik uzmanlığından yararlanarak üretilen ürünler, ISO9001 Kalite Yönetim Sistemi belgesi ile birlikte ASME sertifikasyonu (yüksek basınçlı ekipmanlar için), CE-PED sertifikasyonu (AB pazarına giriş için) ve IECEx patlama korumalı sertifikasyonu (küresel uygulamalar için) gibi çok sayıda yetkili uluslararası sertifikaya sahiptir. Sızdırmazlık performansı, basınç dayanımı ve güvenlik koruması gibi temel performans göstergeleri uluslararası ileri seviyeye ulaşmıştır. Şirket, teknolojik yeniliği sürekli olarak temel rekabet gücü olarak benimsemiş; uluslararası bir Ar-Ge ekibi oluşturmuş ve teknolojik atılımlara sürekli yatırım yapmaktadır.

SSS

Özel 99,9999% (6N) saflıkta karışımlar için teslim süresi nedir?

CF4/O2 gibi ultra yüksek saflıkta (UHP) gazlar için tipik teslim süresi 10-15 iş günüdür. Bu süre, 6N sınıfı saflığı ve konsantrasyon doğruluğunu sağlamak üzere hassas karıştırma ve çok aşamalı stabilite testlerini içerir.

CF4/O2 karışımının konsantrasyon doğruluğunu nasıl garanti edersiniz?

Dolum sırasında gravimetrik yöntem (yüksek hassasiyetli tartım) kullanıyoruz; bu, en doğru karıştırma tekniğidir. Her silindir, Gaz Kromatografisi (GC) ile analiz edilir ve NIST veya ulusal standartlara dayalı bir Analiz Sertifikası (COA) ile birlikte verilir.

Bu karışım, hem Hidrojen (H2) hem de Oksijen (O2) içerdiğinden stabil midir?

Evet. Patlayıcı ve oksitleyici bileşenlerin konsantrasyonlarını güvenli sınırlar içinde tutmak ya da kimyasal stabiliteyi sağlamak ve silindir içinde herhangi bir tehlikeli reaksiyonu önlemek amacıyla Argon (Ar) ile dengelemek için güvenlik odaklı karıştırma protokollerimize sıkı şekilde uyarız.

Bu yarı iletken gazı için hangi tür silindir ve vana kullanılır?

Yüzey adsorpsiyonunu önlemek için iç yüzeyi paslanmaz kaplamalı alüminyum alaşımı silindirler veya parlatılmış paslanmaz çelik silindirler kullanıyoruz. 6N sınıfı gazlar için genellikle sıfır sızdırmazlık sağlamak ve kontaminasyonu önlemek amacıyla DISS (Dijital Akıllı Planlama Sistemi) 660 veya SS 316L paslanmaz çelik valfler takıyoruz.

Bu gaz karışımının depolama koşulları nelerdir?

Silindirler, doğrudan güneş ışığından ve ısı kaynaklarından uzakta, serin, kuru ve iyi havalandırılan bir alanda, dik olarak sabitlenmiş şekilde saklanmalıdır (sıcaklık < 50 °C).

Tehlikeli gazlar için dünya çapında taşıma hizmeti veriyor musunuz?

Evet, Sınıf 2 tehlikeli maddeler lojistiği konusunda uzmanlaşmış durumdayız. Deniz veya hava yoluyla taşımalar için tam belgelendirme sağlıyoruz; bunlar arasında MSDS (Malzeme Güvenlik Bilgi Formu), BM’onaylı ambalaj ve DG (Tehlikeli Mallar) beyanları yer alır.