Yüksek Saflıkta (%99,999), 10 L ve 8 L C4F6 Hekzaflorobutadien Gazı Tedariki – Yüksek Teknoloji Uygulamaları ve Elektronik Üretimi İçin

Sorgula

Genel Bakış
Sorgula
İlgili Ürünler

Ürün hakkında

Önemli olan

Yarı İletken Üretimi İçin Elektronik Sınıfı Safiyet: C4F6 ürünümüz, oksijen (O2), neme (H2O) ve hidrokarbonlar dahil olmak üzere son derece düşük safsızlık seviyelerine sahip, %99,999 (5N) ultra yüksek saflıkta tedarik edilmektedir; bu da gelişmiş yarı iletken cihaz üretimi için gerekli olan üstün plazma kararlılığı, tutarlı aşındırma performansı ve yüksek süreç tekrarlanabilirliğini sağlar. Gelişmiş Plazma Aşındırma Uygulamaları İçin Optimize Edilmiştir: C4F6, dielektrik aşındırma, oksit tabaka aşındırması, düşük-k malzeme desenleme ve kritik boyut kontrolü gibi yüksek hassasiyetli plazma aşındırma süreçleri için özel olarak tasarlanmıştır; geleneksel florokarbon gazlarına (örn. CF4, C2F6 ve C3F8) kıyasla üstün seçicilik, anizotropik aşındırma yeteneği ve geliştirilmiş profil doğruluğu sunarak gelişmiş mantık, bellek ve MEMS üretimine idealdir. Düşük Küresel Isınma Potansiyeli (GWP) Alternatifi: Geleneksel perfluorokarbon gazlarına kıyasla C4F6, daha yüksek aşındırma verimliliği, daha düşük gaz tüketimi ve azaltılmış çevresel etki sağlar; bu da yarı iletken üreticilerinin yüksek üretim performansı ve verimini korurken sürdürülebilirlik hedeflerine ulaşmalarını destekler. Katı Safsızlık ve Nem Kontrolü: Nem (H2O) ≤ 1 ppm, oksijen (O2) ≤ 1 ppm ve toplam hidrokarbonlar ≤ 1 ppm seviyelerini sağlamak amacıyla ileri düzey gaz saflaştırma sistemleri, hassas analitik cihazlar ve katı kalite kontrol protokolleri kullanıyoruz; bu da yonga kontaminasyonunu, plazma kararsızlığını ve süreç kusurlarını etkili bir şekilde önleyerek tutarlı ve güvenilir yarı iletken işleme performansını garanti eder. Yarı İletken Sınıfı Yüzey İşlemi Uygulanmış Sertifikalı Silindirler: C4F6 ürünümüz, ISO 9809, DOT 3AA ve TPED EN standartlarına uygun olarak üretilen standart 47 L ve 10 L’lik silindirlerde veya özel boyutlarda temin edilir; isteğe bağlı iç elektropolish ve pasivasyon işlemi ile depolama ve kullanım sırasında parçacık oluşumunu en aza indirger, gaz kontaminasyonunu önler ve ultra yüksek gaz saflığını korur.

Hakkımızda

AGEM, gaz ekipmanları alanında çok uluslu bir profesyonel üretici ve hizmet sağlayıcısı olarak 2008 yılında Tayvan, Çin merkezli kurulmuştur. 16 yıllık sektördeki yoğun uzmanlığıyla, küresel varlığı, üstün üretim ustalığı ve kapsamlı ürün portföyü sayesinde gaz ekipmanları sektöründe bir referans kuruluş konumunu sağlamıştır. Şirket, küreselleşme odaklı bir gelişme stratejisi izleyerek, Çin Ana Karası, Tayvan, Çin ve Hindistan’da modern üretim tesisleri kurmuş; Asya’yı kapsayan ve küresel çapta yayılan bir üretim ve hizmet ağı oluşturmuştur. Her bir tesiste akıllı üretim hatları ile hassas test ekipmanları bulunmakta olup, bu da ham madde işlemeden nihai ürün teslimine kadar tam süreç kontrolünü mümkün kılmaktadır. Yıllık üretim kapasitesi sürekli olarak sektör liderleri arasında yer alarak, şirket küresel müşterilerinin çeşitli ihtiyaçlarına hızlıca yanıt verebilmektedir. Temel faaliyet alanı, gazla ilgili temel ekipmanlardır ve endüstriyel gazlar, özel gaz vanaları, yüksek basınçlı silindirler, hafif alüminyum silindirler ve yüksek hassasiyetli basınç düşürücüler olmak üzere geniş bir ürün yelpazesi sunmaktadır. Bu ürünler, kimya, elektronik, sağlık ve enerji gibi kritik sektörlerde yaygın olarak kullanılmaktadır. Derin teknik uzmanlığından yararlanarak üretilen ürünler, ISO9001 Kalite Yönetim Sistemi belgesi ile birlikte ASME sertifikasyonu (yüksek basınçlı ekipmanlar için), CE-PED sertifikasyonu (AB pazarına giriş için) ve IECEx patlama korumalı sertifikasyonu (küresel uygulamalar için) gibi çok sayıda yetkili uluslararası sertifikaya sahiptir. Sızdırmazlık performansı, basınç dayanımı ve güvenlik koruması gibi temel performans göstergeleri uluslararası ileri seviyeye ulaşmıştır. Şirket, teknolojik yeniliği sürekli olarak temel rekabet gücü olarak benimsemiş; uluslararası bir Ar-Ge ekibi oluşturmuş ve teknolojik atılımlara sürekli yatırım yapmaktadır.

SSS

C4F6 ürünlerinizin saflık dereceleri nelerdir?

Yarı iletken sınıfı C4F6 ürünleri sunuyoruz; bunlar 4N (%%99,99), 4,5N (%%99,995) ve 5N (%%99,999) saflık derecelerini içerir. Daha yüksek saflık dereceleri talep üzerine temin edilebilir.

C4F6’ın tipik uygulama alanları nelerdir?

C4F6, yarı iletken plazma aşındırma işlemlerinde, dielektrik katman aşındırmasında, oksit aşındırmasında, düşük-k dielektrik aşındırmasında, MEMS üretimi ve gelişmiş entegre devre imalatında ana olarak kullanılır.

Hangi silindir boyutları mevcuttur

Standart ambalajlama, 47 L’lik silindir, 10 L’lik silindir, 8 L’lik silindir ve talep üzerine özel boyutlarda silindirleri içerir. Yarı iletken uygulamalar için silindir iç yüzeyi elektropolislemesi hizmeti de sunulmaktadır.

Tipik dolum basıncı ve dolum ağırlığı nedir?

Tipik dolum parametreleri, maksimum 13–15 MPa’ya kadar dolum basıncını ve 47 L’lik silindirde yaklaşık 20–25 kg dolum ağırlığını içerir. Kesin dolum ağırlığı, saflık derecesine ve müşteri gereksinimlerine bağlı olarak değişebilir.

C4F6 silindirleri için hangi vana türü kullanılmaktadır?

Yaygın vana tipleri arasında CGA 716, DISS 716 ve özel yarı iletken sınıfı vanalar yer alır. Vana seçimi, bölgesel standartlara göre özelleştirilebilir.

Gaz saflığını ve kararlılığını nasıl sağlarsınız?

Kaliteyi, gelişmiş gaz saflaştırma sistemleri, nem ve oksijen giderme teknolojisi, gaz kromatografisi (GC) analizi ve her silindirle birlikte verilen Analiz Sertifikası (COA) ile sağlarız.

Teslimat için önceden bildirim süresi nedir?

Tipik teslimat süresi, depozito alındıktan sonra 15 ila 25 gündür. Daha hızlı teslimat, stok durumuna ve silindir hazırlık sürecine bağlı olarak mümkündür.

Silindirleriniz hangi sertifikalara uygundur?

Silindirlerimiz ISO 9809, DOT 3AA, TPED ve EN standartlarına uygundur. Üçüncü taraf denetimi talep üzerine sağlanabilir.