Півпровідники знаходяться у всьому, від ваших смартфонів і персональних комп'ютерів до будь-якого іншого виду електронного пристрою. Їх необхідно виготовляти через певний процес, який використовує багато газів. Наступне виділяє опис багатьох типів газів, які використовує лише одна промислова галузь, і як ці високотехнологічні речовини призначені для створення речей, від яких ми фактично залежимо. Різні типи газів, що використовуються у світі виробництва півпровідників. Півпровідники утворюються за допомогою складного ряду процесів, таких як етчинг, депозиція та очищення. Різні властивості та застосування цих газів варіюються в конкретному використанні або атмосферних умовах, чи то навколо постачальників промислових газів, спеціалізованих постачальників газів для півпровідників, чи в лабораторії, надаючи широкий спектр, придатний для всіх них з критичними характеристиками, необхідними для виконання завдання задовоління. На сьогодні, згідно з цим, ми представляємо декілька головних газів, які використовуються у процесах виготовлення матеріалів. Силан SiH4: Цей газ колірний і також відомий як значущий силиконовий електронний матеріал. Відомо, що він дуже динамічний і швидко реагує з киснем і водою, щоб створити силиконовий оксид SiO і водень. Силан можна використовувати для покладання силиконового матеріалу, такого як SiNx, або швидко, або при відносно низькій температурі. Елемент азот N2: Цей газ инертний і запобігає оксидуванню. Він неперервно виготовляється і потрібен для очищення пристрою в процесі техобслуговування для видалення напруження O2 і вологи. Такий газ також використовується для сприяння та транспортування діяльності інших газів, працює як переносний газ у депозиції парів нікрому та плазменно збагаченій депозиції парів нікрому.
Водень (H2) - Водень використовується як зменшувальний газ для видалення забруднень з матеріалів. У виробництві напівпровідників це важливий етап багатьох процесів, таких як анелювання та очищення. Крім того, водень використовується для створення металевих затворів при виробництві сучасних CMOS-пристроїв.
Стійкий кисень (O2/O) - введіть дані про аркуш і терміни поставки тощо. Газ кисень використовується у багатьох плазменних процесах, таких як етчуючий і стрип/аш, а також виступає як реактив для оксидування сільця-базових матеріалів до SiOx або пасивування металевих поверхонь через оксидування.
Хлор (Cl2): Хлор є жовто-червоним димлячим, не металом з різким запахом у стані рідини. Цей газ, який дуже реактивний з сільця-базовими матеріалами, сільцевою діоксидою та багатьма metallами, такими як алюміній, має широке застосування у етчуючих процесах напівпровідникової структури.
Факт використання газів у виробництві напівпровідників привів до створення високоякісної електроніки, оскільки збільшилися можливості виробництва напівпровідників. Гази також мають кілька значущих застосувань та переваг у напівпровідниковій промисловості.
Гази, такі як силан, аміак і азот, використовуються для нанесення оксиду або нітриду сильцю, що будуть являти собою тонкі шари напівпровідників. Нанесення.
Етчинг: Використовується для вибору з недоречних матеріалів чи патернів з напівпровідників за допомогою газів, таких як хлор, фтор і кисень.
Технологічні гази: Водень і азот необхідні для роботи обладнання для очищення напівпровідників (очиснення), щоб зменшити забруднення, яке може вплинути на продуктивність пристрою.
Промивання: Одним із головних його застосувань є те, що він виступає як промивальний газ під час проведення технічного обслуговування обладнання, щоб видалити кисень і вологу з системи, зберігаючи матеріали в лінії вільними.
Як наслідок, пошук все більш вдосконаленних матеріалів і процесів не має кінця з розвитком підприємства полупровідників. Вдосконалені гази є ключовими для майбутніх досягнень у сфері полупровідників. Ось декілька таких високотехнологічних газів, які використовуються у виробництві полупровідників:
Фторовані углеводи: Причина, чому фторовані гази добре підходять для створення найновіших проектів циркулярних схем полягає в тому, що вони агресивно і вибірково реагують, як для етчингу (видалення частин), так і для депозиції (додавання частин).
CO2 - Нейтральний газ, який використовується для застосувань, таких як сплескання, хімічне парове оздоблення та очищення.
Хоча його слід вважати кроком вперед у виробництві полупровідників лише через нові системи доставки, які доступні сьогодні. Виробники завжди шукають способів покращити ефективність, зменшити викиди та збільшити безпеку. Деякі з найновіших передових газів та систем хімічної доставки наведено нижче.
Система подачі газу (для газів, які точно керують малими кількостями газу\/ рідинних хімічних речовин, необхідних у напівпровідникова промисловості)
Джерело: Сучасні системи мокрого очищення пластина з використанням озонової плазми та перекис водню для найефективніших методів очищення забруднювачів з матеріалу напівпровідників.
Напівпровідникові гази можуть стимулювати попит на більш ефективну електроніку, але також представляють небезпечні загрози для середовища. Існують деякі програми для зменшення викидів та переробки газів у напівпровідниковій промисловості. Це не відрізняється від того, як виробники працюють над полегшенням екологічних переживань, пов'язаних з напівпровідниковими газами;
Перший і найбільш безпосередній спосіб — це Зменшення Відходів -> Виробники завжди шукають способів зменшити кількість відходів, що виникають під час виробництва напівпровідників. Наприклад, зменшення кількості хімічних речовин і газів, що використовуються, їх переробка там, де це можливо, або створення замкнутих систем.
Перевирати: Переробка газів і хімічних речовин стане ще одним ключовим методом, який допомагає зменшити негативне вплив на середовище. Генерація відходів може бути значно зменшена виробниками, які дозволяють зворотне використання, очищення та переробку газів або хімічних речовин, використаних під час виробництва.
Огляд: Гази є необхідними для виробництва деяких з найкращих електронних пристроїв. Виробники присвячені покращенню як сучасних газів, так і способів їх доставки, які сприяють оптимальним процесам, зменшенню відходів та безпеці спільноти. Сектор напівпровідників також буде продовжувати зменшувати споживання газів - і загальний екологічний вплив цих газів запустив багато кампаній зі збереженням природних ресурсів останніми роками.
AGEM розуміє, що кожен клієнт має різні вимоги у сфері спеціальних газів, таких як калібрувальні гази. Ми пропонуємо індивідуальні рішення для задовolenня конкретних потреб наших клієнтів. Якщо вам потрібна певна кількість чистоти, розмір циліндра або варіанти упаковки, AGEM може співпрацювати з вами для адаптації своїх продуктів під ваші точні вимоги. Такий рівень індивідуалізації забезпечить вам найкращий циліндр з калібрувальним газом для ваших застосувань, що покращить загальну ефективність та продуктивність. Асортимент продукції AGEM не обмежується калібрувальними газами. Каталог AGEM містить Гіdroкарбонові гази, Галокарbons, Хiмічні гази та Рідкі гази. Ви можете бути впевнені, що AGEM має саме той вид газу, який вам потрібен.
Потік газів, використовуваних у виробництві напівпровідників, є великою проблемою. Ми перевіряємо потіки принаймні п'ять разів, щоб забезпечити якість. Наша компанія пропонує повну лінію виробництва та тестування, а також застосування строгого контролю якості та ідеальної системи послуговування після продажу, щоб забезпечити клієнтів найкращими продуктами та повним спектром послуг. Наша привʼязаність до надання високоякісного клієнтського обслуговування є чимось, чим ми гордимося. Наша вміла команда завжди готова допомогти вам та забезпечити краще обслуговування для вашої абсолютної задоволеності. Наша служба 24/7 відрізняє нас. Ми тут для вас всі дні, у будь-який час.
AGEM пропонує широкий асортимент криогенних циліндрів для охолодження надкритично охолонених рідин та газів, таких як рідкий кисень і аргон. Вони також можуть зберігати двохвірку, азот і нітрусь. Ми використовуємо імпортні клапани та прилади, щоб забезпечити максимальну продуктивність. Використовуйте пристрої економії газу та надайте перевагу використанню газу за межами перетиснення у фазі газу. Подвійні безпекові клапани забезпечують стабільну гарантію безпечної експлуатації. Ми пропонуємо широкий вибір криогенних циліндрів, які можуть вміщувати надкритично охолонені рідини, які використовуються у повсякденному житті. Повна ємність: 80Л/100Л/175Л/195Л/210Л/232Л/410Л/500Л/1000Л Робоче тиск: 1.37МПа/2.3МПа/2.88МПа/3.45МПа Температура проектування внутрішнього баку: +196 Температура проектування оболонкового баку: 20oC+50oC Термозахист: Вакуум з багатошаровою опаковкою Зберігання середовища: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM працює в Тайвані більше 25 років. Ми маємо широкий досвід у сфері НД і можемо запропонувати унікальну експертизу у галузях спеціальних, масових та калібрувальних газів у 6 різних регіонах. Тайвань - місто Каогсіунг (головний офіс, центр НД) Індія - Мумбаї, Вадодара, Коімбатур, Пуне, Бенгалуру, Делі Китай - Ухань Середній Схід - Дубай (ОАЕ) та Королівство Саудівська Аравія Велика Британія - Кембридж Розв'язки для газу, які ми пропонуємо, включають технічну консультацію. Монтаж та налагодження. Тестування зразків. Упаковка та відправка. Проектування малюнків. Виробництво.