- Огляд
- Запит
- Суміжні продукти
C5F8 Октафторциклопентен газ
Широко використовується у процесі етчингу при виготовленні напівпровідникових пристроїв, особливо для розміру та селективного етчингу найменших геометричних характеристик (наприклад, ширини міжзв'язкових ліній, контактів, канавок тощо).