Усі категорії

Газові суміші для лазерів у DUV-літографії: ArF (193 нм), KrF (248 нм)

  • Огляд
  • Запит
  • Супутні товари

Про продукт

Висвітлення

Точність змішування в наномасштабі: Ми використовуємо передові гравіметричні методи наповнення та регулятори масової витрати (MFC), щоб забезпечити допуски газових сумішей у межах 1–2 %. Це забезпечує стабільну енергію лазерних імпульсів та їх стабільність у процесах литографії у ДУФ-діапазоні. Патентована технологія пасивації: F₂ надзвичайно реактивний.
Наші циліндри проходять спеціалізований процес пасивації внутрішньої поверхні для створення стабільного фторидного шару, що запобігає реакції суміші зі стінкою циліндра й забезпечує тривалий термін придатності (до 12–24 місяців).
Компоненти ультрависокої чистоти: як основні гази ми використовуємо лише неон і криптон/ксенон класу 6N (99,9999 %), щоб мінімізувати домішки слідів (O₂, H₂O, HF), які можуть пригнічити лазер або пошкодити оптичні компоненти.
Експертна безпекова упаковка: поставляється в спеціалізованих циліндрах високого тиску з нікелевого сплаву або обробленої сталі, оснащених клапанами DISS або спеціалізованими клапанами для роботи з корозійними середовищами, що гарантує повну герметичність під час міжнародних перевезень.
Detail shot

Про нас

Компанія AGEM була заснована в 2008 році як міжнародний професійний виробник і постачальник газового обладнання з головним офісом у Тайвані, Китай. Завдяки 16-річному досвіду роботи в галузі її глобальне присутність, високоякісне виробництво та повний асортимент продукції закріпили за нею статус орієнтира в секторі газового обладнання. Компанія дотримується стратегії глобального розвитку, створивши сучасні виробничі бази на материковому Китаї, Тайвані, Китай, та в Індії, формуючи виробничо-сервісну мережу, що охоплює Азію й простягається по всьому світі. Кожна з баз оснащена інтелектуальними виробничими лініями та точними випробувальними установками, що забезпечує повний контроль усіх етапів — від обробки сировини до поставки готової продукції. Щорічна виробнича потужність компанії постійно входить до числа провідних у галузі, що дозволяє швидко реагувати на різноманітні потреби клієнтів по всьому світі. Основним напрямком діяльності є виробництво ключового газового обладнання, що охоплює повний спектр продукції: різні промислові гази, спеціалізовані газові клапани, високотискові балони, легкі алюмінієві балони та високоточні редуктори тиску. Ця продукція широко використовується в критичних галузях, таких як хімічна промисловість, електроніка, охорона здоров’я та енергетика. Завдяки глибоким технічним знанням продукція отримала сертифікат системи управління якістю ISO 9001 та кілька авторитетних міжнародних сертифікатів, зокрема сертифікат ASME для високотискового обладнання, сертифікат CE-PED для доступу на ринок ЄС та вибухозахисний сертифікат IECEx для глобального застосування. Такі ключові показники ефективності, як герметичність, стійкість до тиску та безпека, досягли міжнародного рівня. Компанія постійно робить акцент на технологічних інноваціях як на своїй основній конкурентній перевазі, створивши міжнародну дослідницько-розробницьку команду та постійно інвестуючи в технологічні прориви.
Competitive advantages Customization capabilities Factory profile Company overview Factory profile

Часто задані питання

Як ви забезпечуєте безпеку та стійкість ваших циліндрів до тиску?

Наші циліндри виготовлені з високоякісної безшовної легованої сталі з повним дотриманням стандартів ISO 9809, DOT та EN. Кожен циліндр проходить гідравлічне випробування, випробування на герметичність та ультразвуковий контроль перед виходом із заводу, щоб забезпечити абсолютну безпеку та надійність у умовах високого тиску.

Які сертифікаційні документи ви надаєте для циліндрів?

Безпека є основою нашого виробництва. Наші циліндри та пов’язані з ними продукти повністю сертифіковані відповідно до провідних міжнародних стандартів, зокрема ISO, GB, TPED та DOT.

Чи можна повернути циліндри до Китаю для наповнення?

Так, звичайно. Ми пропонуємо комплексну замкнену систему повторного наповнення. Після вичерпання газу ви можете відправити порожні циліндри назад на наш завод. Ми самостійно виконаємо всі процедури митного оформлення при імпорті та подальші операції всередині Китаю. Вам лише потрібно попередити нас заздалегідь.

Чи мають циліндри спеціальну внутрішню обробку?

Для електронних спеціальних газів ми забезпечуємо внутрішню шліфувальну обробку та сушку стінок, щоб запобігти забрудненню вологи та частинками й забезпечити збереження надзвичайно високої чистоти газу під час тривалого зберігання.

Чи можете ви адаптувати з’єднання клапанів під мою систему?

Так. Ми підтримуємо різні міжнародні стандартні з’єднання, такі як CGA, DISS, DIN або JIS. Будь ласка, повідомте нас про ваші конкретні вимоги до замовлення, і ми підберемо для вас відповідні фітинги.

Зв'яжіться з нами