УСІ

Високочиста газова суміш CF₄ та O₂ (чистота 6N) з балансом H₂ та Ar для калібрування процесів плазмового травлення в напівпровідниковій промисловості

Високочиста газова суміш CF₄ та O₂ (чистота 6N) з балансом H₂ та Ar для калібрування процесів плазмового травлення в напівпровідниковій промисловості

Запит

Огляд
Запит
Пов’язані товари

Про продукт

Висвітлення

Цей ультрависокочистий калібрувальний газовий змішаний склад із чистотою 99,9999 % (6N) — спеціалізований технологічний газ, розроблений спеціально для вимогливих процесів плазмового травлення напівпровідників та передових тонкоплівкових технологій. Точне змішування тетрафторметану (CF4) й кисню (O2) у збалансованій матриці водню (H2) й аргону (Ar) забезпечує необхідну хімічну синергію для контролю селективності травлення та анізотропії профілю при виготовленні структур розміром менше нанометра. Чистота класу 6N гарантує практично повну відсутність слідів металічних домішок та вологи, що запобігає забрудненню пластин і значно підвищує вихід придатних виробів у складних архітектурах, таких як 3D NAND і FinFET. Аргон забезпечує необхідну енергію йонного бомбардування для фізичного розпилення, тоді як співвідношення водню до кисню точно налаштоване для регулювання полімерних пасиваційних шарів, що дозволяє формувати вузькі канавки з високим співвідношенням глибини до ширини та ідеально вертикальними бічними стінками. Кожен балон виготовлюється за допомогою передової гравіметричної змішувальної технології й підлягає власній внутрішній пасивації, щоб гарантувати стабільність цих реактивних компонентів і відсутність відхилень від заданих концентрацій протягом тривалого часу. Змішаний склад поставляється разом із повним сертифікатом аналізу (CoA) і має повну прослідковуваність до міжнародних стандартів. Це ідеальний вибір для лабораторій досліджень і розробок та великомасштабних напівпровідникових заводів, які потребують абсолютної стабільності плазмової хімії. Цей «універсальний» збалансований змішаний склад спрощує системи подачі газу, скорочуючи кількість окремих газових ліній, що, у свою чергу, мінімізує потенційні точки витоку й спрощує процес калібрування контролерів масового витрату газу (MFC).

Про нас

Компанія AGEM була заснована в 2008 році як міжнародний професійний виробник і постачальник газового обладнання з головним офісом у Тайвані, Китай. Завдяки 16-річному досвіду роботи в галузі її глобальне присутність, високоякісне виробництво та повний асортимент продукції закріпили за нею статус орієнтира в секторі газового обладнання. Компанія дотримується стратегії глобального розвитку, створивши сучасні виробничі бази на материковому Китаї, Тайвані, Китай, та в Індії, формуючи виробничо-сервісну мережу, що охоплює Азію й простягається по всьому світі. Кожна з баз оснащена інтелектуальними виробничими лініями та точними випробувальними установками, що забезпечує повний контроль усіх етапів — від обробки сировини до поставки готової продукції. Щорічна виробнича потужність компанії постійно входить до числа провідних у галузі, що дозволяє швидко реагувати на різноманітні потреби клієнтів по всьому світі. Основним напрямком діяльності є виробництво ключового газового обладнання, що охоплює повний спектр продукції: різні промислові гази, спеціалізовані газові клапани, високотискові балони, легкі алюмінієві балони та високоточні редуктори тиску. Ця продукція широко використовується в критичних галузях, таких як хімічна промисловість, електроніка, охорона здоров’я та енергетика. Завдяки глибоким технічним знанням продукція отримала сертифікат системи управління якістю ISO 9001 та кілька авторитетних міжнародних сертифікатів, зокрема сертифікат ASME для високотискового обладнання, сертифікат CE-PED для доступу на ринок ЄС та вибухозахисний сертифікат IECEx для глобального застосування. Такі ключові показники ефективності, як герметичність, стійкість до тиску та безпека, досягли міжнародного рівня. Компанія постійно робить акцент на технологічних інноваціях як на своїй основній конкурентній перевазі, створивши міжнародну дослідницько-розробницьку команду та постійно інвестуючи в технологічні прориви.

ПИТАННЯ ТА ВІДПОВІДІ

Який термін виготовлення індивідуальних сумішей з чистотою 99,9999 % (6N)?

Для газів ультрависокої чистоти (UHP), таких як CF4/O2, типовий термін виготовлення становить 10–15 робочих днів. Це включає точне змішування та багатоступеневе тестування стабільності для забезпечення чистоти класу 6N та точності концентрації.

Як ви гарантуєте точність концентрації суміші CF4/O2?

Під час наповнення ми застосовуємо гравіметричний метод (високоточне зважування) — найточнішу техніку змішування. Кожен балон аналізується методом газової хроматографії (GC) і поставляється з сертифікатом аналізу (COA), що має слідкуваність до стандартів NIST або національних стандартів.

Чи є ця суміш стабільною, враховуючи наявність як водню (H2), так і кисню (O2)?

Так. Ми суворо дотримуємося протоколів безпечного змішування: концентрації пальної та окиснювальної компонентів підтримуються в межах безпечних значень або балансуються аргоном (Ar) для забезпечення хімічної стабільності й запобігання будь-яким небезпечним реакціям усередині балона.

Якого типу балон і вентиль використовуються для цього напівпровідникового газу?

Ми використовуємо внутрішньо пасивовані циліндри з алюмінієвого сплаву або поліровані циліндри з нержавіючої сталі, щоб запобігти адсорбції на поверхні. Для газів класу 6N ми зазвичай оснащуємо їх клапанами з нержавіючої сталі DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 або SS 316L, щоб забезпечити повну герметичність і запобігти забрудненню.

Які вимоги до зберігання цієї газової суміші?

Циліндри слід зберігати в прохолодному, сухому та добре провітрюваному приміщенні, уникати прямого сонячного світла й джерел тепла (температура < 50 °C). Переконайтеся, що циліндри розташовані вертикально й надійно зафіксовані, щоб запобігти їх падінню.

Чи надаєте ви міжнародні перевезення небезпечних газів?

Так, ми спеціалізуємося на логістиці небезпечних вантажів класу 2. Ми надаємо повний комплект документації, включаючи MSDS (Material Safety Data Sheet), упаковку, сертифіковану за стандартами ООН, та декларації щодо небезпечних вантажів (DG) для морських або авіаперевезень.