ВСІ

Висока чистота (99,999 %), об’єм 10 л або 8 л, газ гексафторбутадієн C4F6 для високотехнологічних застосувань у виробництві електроніки

Висока чистота (99,999 %), об’єм 10 л або 8 л, газ гексафторбутадієн C4F6 для високотехнологічних застосувань у виробництві електроніки

Запит

Огляд
Запит
Супутні товари

Про продукт

Висвітлення

Електронний ступінь чистоти для виробництва напівпровідників. Наш C4F6 доступний у надвисокочистих марках до 5N (99,999 %), що характеризуються надзвичайно низьким рівнем домішок, зокрема кисню (O₂), вологи (H₂O) та вуглеводнів, забезпечуючи виняткову стабільність плазми, стабільну ефективність травлення та високу повторюваність процесу — необхідні умови для виготовлення сучасних напівпровідникових пристроїв. Оптимізований для передових застосувань плазмового травлення. C4F6 спеціально розроблений для високоточних процесів плазмового травлення, зокрема травлення діелектриків, оксидних шарів, формування малок-матеріалів та контролю критичних розмірів, забезпечуючи переважну селективність, анізотропну здатність до травлення та покращену точність профілю порівняно з традиційними фторвуглецевими газами, такими як CF₄, C₂F₆ та C₃F₈, що робить його ідеальним для виробництва передових логічних мікросхем, пам’яті та МЕМС. Альтернатива з низьким потенціалом глобального потепління (GWP). Порівняно з традиційними перфторвуглецевими газами C4F6 забезпечує вищу ефективність травлення, нижче споживання газу та зменшений вплив на навколишнє середовище, допомагаючи виробникам напівпровідників досягти цілей стійкого розвитку, не жертвує при цьому високою продуктивністю та виходом придатної продукції. Суворий контроль домішок та вологості. Ми використовуємо передові системи очищення газів, прецизійні аналітичні прилади та суворі протоколи контролю якості, щоб забезпечити вміст вологи (H₂O) ≤ 1 ppm, кисню (O₂) ≤ 1 ppm та загального вмісту вуглеводнів ≤ 1 ppm, ефективно запобігаючи забрудненню кремнієвих пластин, нестабільності плазми та дефектам процесу, що гарантує стабільну та надійну продуктивність у процесах обробки напівпровідників. Сертифіковані балони з поверхневою обробкою для напівпровідникових застосувань. Наш C4F6 поставляється в стандартних балонах об’ємом 47 л та 10 л, а також у балонах індивідуальних розмірів, виготовлених відповідно до стандартів ISO 9809, DOT 3AA та TPED EN, з можливістю додаткової внутрішньої електрополірування та пасивації для мінімізації утворення частинок, запобігання забрудненню газу та збереження надвисокої чистоти газу під час зберігання та використання.

Про нас

Компанія AGEM була заснована в 2008 році як міжнародний професійний виробник і постачальник газового обладнання з головним офісом у Тайвані, Китай. Завдяки 16-річному досвіду роботи в галузі її глобальне присутність, високоякісне виробництво та повний асортимент продукції закріпили за нею статус орієнтира в секторі газового обладнання. Компанія дотримується стратегії глобального розвитку, створивши сучасні виробничі бази на материковому Китаї, Тайвані, Китай, та в Індії, формуючи виробничо-сервісну мережу, що охоплює Азію й простягається по всьому світі. Кожна з баз оснащена інтелектуальними виробничими лініями та точними випробувальними установками, що забезпечує повний контроль усіх етапів — від обробки сировини до поставки готової продукції. Щорічна виробнича потужність компанії постійно входить до числа провідних у галузі, що дозволяє швидко реагувати на різноманітні потреби клієнтів по всьому світі. Основним напрямком діяльності є виробництво ключового газового обладнання, що охоплює повний спектр продукції: різні промислові гази, спеціалізовані газові клапани, високотискові балони, легкі алюмінієві балони та високоточні редуктори тиску. Ця продукція широко використовується в критичних галузях, таких як хімічна промисловість, електроніка, охорона здоров’я та енергетика. Завдяки глибоким технічним знанням продукція отримала сертифікат системи управління якістю ISO 9001 та кілька авторитетних міжнародних сертифікатів, зокрема сертифікат ASME для високотискового обладнання, сертифікат CE-PED для доступу на ринок ЄС та вибухозахисний сертифікат IECEx для глобального застосування. Такі ключові показники ефективності, як герметичність, стійкість до тиску та безпека, досягли міжнародного рівня. Компанія постійно робить акцент на технологічних інноваціях як на своїй основній конкурентній перевазі, створивши міжнародну дослідницько-розробницьку команду та постійно інвестуючи в технологічні прориви.

Часто задані питання

Які ступені чистоти C4F6 ви пропонуєте

Ми пропонуємо C4F6 напівпровідникового класу, у тому числі 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) та 5N (99,999 %). Ступені вищої чистоти доступні за запитом

Які типові сфери застосування C4F6?

C4F6 в основному використовується в процесах плазмового травлення напівпровідників, травлення діелектричних шарів, травлення оксидів, травлення низькокоефіцієнтних діелектриків (low-k), виробництві МЕМС та виготовленні сучасних інтегральних мікросхем

Які розміри балонів доступні?

Стандартна упаковка включає балони об’ємом 47 л, 10 л, 8 л, а також спеціальні балони за запитом. Для напівпровідникових застосувань доступна електрополірування внутрішньої поверхні балонів

Який типовий тиск наповнення та маса наповнення?

Типові параметри наповнення включають тиск наповнення до 13–15 МПа та масу наповнення приблизно 20–25 кг у балоні об’ємом 47 л. Точна маса наповнення залежить від ступеня чистоти та вимог замовника

Який тип клапана використовується для балонів з C4F6?

Поширені типи клапанів включають CGA 716, DISS 716 та спеціалізовані клапани для напівпровідників. Вибір клапанів можна адаптувати з урахуванням регіональних стандартів

Як ви забезпечуєте чистоту та стабільність газу?

Ми забезпечуємо якість за допомогою передових систем очищення газу, технологій видалення вологи та кисню, газової хроматографії (ГХ) та надаємо сертифікат аналізу (СА) разом із кожним балоном

Який термін виконання замовлення?

Зазвичай термін доставки становить 15–25 днів після отримання передоплати. Прискорена доставка доступна залежно від наявності товару на складі та готовності балонів

Яким стандартам відповідають ваші балони?

Наші балони відповідають стандартам ISO 9809, DOT 3AA, TPED та EN. За запитом доступна перевірка третіми сторонами.