- Огляд
- Довідка
- Супутні товари



Назва продукту: |
Гексафторид сірки |
Чистота: |
99.9-99.999% |
Номер CAS |
2551-62-4 |
Номер EINECS |
219-854-2 |
МF: |
F6S |
Молярна маса |
2551-62-4.mol |
Номер УН: |
1080 |
Клас небезпеки |
2.2 |
Внешний вид: |
безбарвний |
Запах: |
безколірний газ |
Пункт перевірки |
одиниця |
Чистота |
|
SF6 |
% |
≥99.999 |
≥99.99 |
О2+Ar |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤ 10 |
N2 |
ppmw |
≤ 3,0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤ 30 |
H2O |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤ 10 |
HF |
ppmw |
≤40 |
≤0.3 |
ТХК(СH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1,0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
C |
ppmw |
≤0.5 |
≤2 |
Застосування:
Напівпровідник |
Плазменна етчинг. Етанґент/розкладний продукт фторової плазми може виконувати етчинг |
||||||
Ліки |
Анестезія, операції виправлення відшарування сітківки, ультразвукова діагностика |
||||||
Електричне обладнання |
Високовольтні переключники і газоізольоване комутаційне обладнання |
||||||
Системи високомогутніх мікрохвиль |
Надмірковує хвильоводи, Ізольовує хвильовод, запобігаючи внутрішньому заламуванню |

Розмір упаковки |
балон 40 літрів |
балон 47 літрів |
50-літровий циліндр |
||
Зміст наливу\/Цил |
50 кг |
52кг |
55-60 кг |
||
Кількість у контейнері 20 футів |
260Цил |
260Цил |
260Цил |
||
Заглушка |
CGA580, CGA590, QF-2C |







