Poluprovodniklar hamma narsada: sizning aqillar phonelaringiz va shaxsiy kompyutrlaringizdan boshqa har qanday elektronik g'adjetga qadar. Ular maxsus jarayon orqali ishlab chiqarilishi kerak va koʻp turdagi qazlardan foydalanadi. Quyidagi maqola faqat bir sanoatning iste'moli qazlarning turidan va ushbu yuqori texnologik vositalarning, bizni aslida qo'llab-quvvatlaydigan narsalarni yaratish uchun mo'ljallanganligi haqida xabar beradi. Semikonduktorlar ishlab chiqarish dunyosida ishlatiladigan qazlarning turli xil turlari Semikonduktorlar murakkab jarayonlar seriyasi orqali yaratiladi, masalan, etching, deposition va tozalash. Ushbu qazlarning muhtelif xususiyatlari va qo'llanilishi atmosfer shartlari yoki uning industriyalik qaz ta'minotchilari, maxsus semikonduktor qaz ta'minotchilari yoki laboratoriyada mashhur bo'lishiga qaramasdan, ularning hammasiga mos va vazifani bajargan holda kritik xususiyatlarga ega bo'lgan keng spektr taqdim etadi. Bugungi kunda, ushbu hisob kitob bo'yicha, biz materiallarni ishlab chiqarish jarayonida joyda bor bo'lgan bir nechta asosiy qazlarni kirishimiz kerak. Silan SiH4: Ushbu qaz rangsiz va silicon asosli elektron materiali sifatida ham ifodalanadi. U juda dinamik va oksigen bilan va suv bilan tez ravishda reaksiya qilib, silis oksidi SiO va hidrogen qazini hosil qiladi. Silan silicon asosli materialni, masalan, SiNx ni tez ravishda yoki nisbiy ochiq temperaturada joylashtirish uchun ishlatilishi mumkin. Azot N2 elementi: Ushbu qaz pasiv va oksidatsiyani oldini oladi. U texnik jihatdan yetarli holatda ishlab chiqariladi va texnik jihatdan qurilmalar o'zgartirilayotgan jarayonda O2 va suv sur'ati chiqishini oldini olish uchun qurilmalarni tozalash uchun talab qilinadi. Bunday qaz boshqa qazlarning faoliyatlarini omillashtirish va transport qilish uchun ham ishlatiladi, nichrom buxori depositatsiyasi va plazma qo'shimcha nichrom buxor depositatsiyasi jarayonida omilla qaz sifatida ishlaydi.
Vodoryur (H2) - Vodoryur materiallardan notqilarni olib tashlash uchun kamayish gasi sifatida ishlatiladi. Semikonduktor yaratishda, bu gaz anealing va tozalash kabi bir necha jarayonda muhim qadam hisoblanadi. Shuningdek, vodoryur mashinaviy qoshimchalar ishlab chiqarishda metal gapni yaratishda ham ishlatiladi.
Oksigen (O2/O) - Oksigen ko'p plazma jarayonida, masalan, etching va strip/ashda ishlatilganiga qaramasdan, u silikon asosli materiallarni SiOx ga aylantirish yoki metal sirtlarini oksidatsiya orqali passivlash uchun ham reagent sifatida ishlatiladi.
Klor (Cl2): Klor pungent tirik egalligi bor ziyoritsiz yashil yoki qizil dam oladigan non-metal sifatida suvda. Ushbu gaz silikon asosli materiallar bilan, silikon dioksid va aliuminiyum kabi ko'p metallar bilan juda faol ravishda reaksiya qiladi va semikonduktor strukturining etchingida ko'plab ishlatilgan.
Semiconductorlar yaratishda qazlardan foydalanilishi, osona semiconductor ishlab chiqarish imkoniyatlarining oshishi sababli, katta sifatli elektronikani yaratishga olib keldi. Qazlar hamda semiconductor sanoatida bir necha muhim manfaatlarga ega.
Silan, ammiyak va azot kabi qazlar silicon oksid yoki nitridni ko'chirib olish uchun ishlatiladi, bu esa semiconductorlarning singari qatorlari bo'ladi. Ko'chirib olish.
Etching: U, chlorine, fluorine va oksigen kabi qazlardan foydalanib, semiconductorlardan kerakmas materiallarni yoki shablonlarni tanqidi olib tashlash uchun ishlatiladi.
Protsess qazlari: Azot va hidrogen, semiconductor tozalash apparaturasi (tozalash) ishlashiga kerak bo'ladi, chunki ular qurilmalarining ishlashini tekshirish mumkin bo'lmaydigan noto'g'riliklarni kamaytirish uchun talab qilinadi.
Purging: Undagi asosiy foydalanishlardan biri, qurilmalarda xizmat ko'rsatish davom etganida, oksigen va suvni sistemadan chiqarish uchun purge qaz sifatida ishlatilishi. Bu esa materiallarni tizim ichida ozod saqlashga yordam beradi.
Natijada, muqobil materiallar va texnologiyalar so'rovi o'zgartiruvchi sanoatining rivojlanishi bilan yakunlanmaydi. Yangi gazlar muqobil elementlarning keyingi rivojlari uchun muhim hisoblanadi. Bu erga muqobil element ishlab chiqarishda ishlatiladigan bir necha oliy texnologik gazlar kiritilgan:
Fluorli karbonlar: Fluorli gazlar eng so'nggi shakldagi shemalarni yaratish uchun yaxshi sababki ular qo'shilish (qismlarni olib tashlash) va depositatsiya (qismlarni qo'shish) uchun tanlovli va agressiv ravishda reaksiya bildiradi.
CO2 - Sputtering, CVD va tozalash kabi bosqichlarda ishlatiladigan faol emas gaz.
Bu, yangi yetkazib berish tizimlari joriy bo'lgani sababli, muqobil elementlarni ishlab chiqarishda oldindan bor qadam sifatida ko'rsatilishi kerak. Ishlab chiqaruvchilar effektivlikni oshirish, xajmi kamaytirish va xavfsizlikni oshirish uchun har doim usullar qidirib turadi. Joriy bo'lgan eng yangi gazlar va kimyoviy yetkazib berish tizimlari quyidagicha ro'yxatga olinadi.
Gaz yetkazish tizimi (semikonduktorlarda kerak bo'lgan kichik miqdordagi gaz / suyuq kimyo asosiy moddalarini aniq nazorat etish uchun ishlatiladi)
Manba: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems ozon plazma va peroksid hidrogen semikonduktor materialidan noto‘g‘ri tarkiblarini tozalash uchun eng effektiv usullar.
Semikonduktor gazi elektronikani yaxshiroq qilish uchun talab qilsa ham, bu ayniqsa ekologik bahohlarga xavf kelishi mumkin. Semikonduktor sanoatida atloshni kamaytirish va gazni qayta ishlash dasturlari mavjud. Bu semikonduktor gazlari bilan bog'liq ekologik murajjatlarni hal qilishga harakat qiluvchi ishlab chiquvchilar bilan bir xil emas;
Birinchi va eng direkt usul, bu atloshni kamaytirish -> Ishlab chiquvchilar har doim semikonduktor ishlab chiqarish jarayonida yaratiladigan atlosh miqdorini kamaytirish uchun qidirib topishda. Masalan, kimyo asosiy moddalarning va gazlarning miqdorini kamaytirish, ularni qayta ishlash yoki yopiq tsikl sistemalarni yaratish.
Qayta ishlatish: Qaz va kimyoviy maddalarini qayta ishlab chiqarish ham yana birorta muhim usul bo'ladi, bu esa ekologik ta'sirni kamaytirishga yordam beradi. Ishlab chiqarish jarayonida ishlatilgan qaz yoki kimyoviy maddalarni qayta ishlab chiqarish, tozalash va qayta ishlatish orqali sayr etilgan maxsulotlar sonini kamaytirish osonroq bo'ladi.
Jamlab: Ba'zi eng sovabr qurilmalar va elektronika mahsulotlari uchun qazlar muhim hissa tashkil etadi. Ishlab chiqaruvchilar optimal jarayonlar, sayr etilgan maxsulotlarni kamaytirish va jamiyatning xavfsizligiga qaratish uchun keng tarqalgan qazlarni va ularga yetib borish yechimlarini yanada yaxshilashga mo'maylik qilmoqda. Semikonduktor sektori ham qaz ishlatishidan oldin o'tadi-deyarli oxirgi yillarda bu qazlarning umumiy ekologik izi bo'yicha ko'p davom etadigan sustainabilitet kampanyalari boshlanadi.
AGEM har bir mijozning maxsus qazlarning sohasida turli xil talablariga ega bo'lishini tushunadi, masalan, kalibratsiya qazi. Biz mijozlarimizning maxsus talablariga javob beradigan moyalarlangan yechimlar taklif etamiz. Agar siz maxsus tozalik miqdori, tsilindr o'lchami yoki paketlash variantlari kerak bo'lsa, AGEM mahsulotlarini sizning aniq talablaringizga moslashtirish uchun siz bilan ishlay oladi. Shu darajadagi moyalarlangan yechim sizga ilovalaringiz uchun eng yaxshi kalibratsiya qaz tsilindrigini ta'minlaydi, bu esa umumiy effektivlik va performansni yaxshilaydi. AGEMning mahsulot asortimenti kalibratsiya qazlarga cheklovlangan emas. AGEM katalogi hidrokarbongazlar, halokarbonlar, kimyoviy qazlar va nadir qazlardan iborat. Siz AGEMdan sizga kerak bo'ladigan aniq turdagi qazni topishingiz mumkinligidan ishonib bo'lasiz.
Semiconductor ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazdagi yoyichlar muhim muammodir. Sifatni ta’minlash uchun kamida besh marta yoyichlikka tekshiramiz. Kompaniyamiz to‘liq ishlab chiqarish va tekshirish qatorini, sifatni nazorat qilish va mustaqil keyingi-sotuv xizmat tizimini taklif etadi, shuning uchun mijozlar eng yuqori sifatdagi mahsulot va to‘liq xizmatlarni olishini ta’minlaymiz. Yuqori sifat va amalda bo‘lgan mijoz xizmatini taqdim etish bizning gururimizdir. Murojaatlaringizga har doim yordam beruvchi mutaxassis jamoamiz mavjud, shuning uchun siz yetarlicha qoniqarli xizmatni oldiring. 24/7 xizmat bizni boshqadan farqlaydi. Sizni har bir kunda, har bir vaqtda qabul qilamiz.
AGEM suv va qazlarni sochish uchun keng tarqalgan kriogenik silindirlar taklif qiladi, masalan, suv oksigeni va argon kabi sochilgan suv va qazlarni saqlash mumkin. Ular ehtiyot qazni ham saqlay oladi, masalan, karbon dioksidi, nitrogen va nitroz. Maksimal performansni ta'minlash uchun importlangan valvalar va asboblardan foydalanamiz. Qazni saqlash uchun qurilmalardan foydalaning va gaz fazasi joyida bosimdan oshib ketadigan qazlarning ishlatilishiga muhimligini berib turining. Ikki xavfsizlik valvasi operatsiya uchun yopishli ta'minotni taqdim etadi. Biz kundalik hayotda ishlatiladigan super-sochilgan suvlar bilan ishlash uchun keng tarqalgan kriogenik silindirlar taklif qilamiz. To'liq hajm: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L Ish bosimi: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Ichi tank dizayn temperaturasi: +196 Ko'p qatordan iborat bo'sh joyga to'xtirilgan termal isolatsiya: 20oC+50oC Sinfon qilinadigan orta: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM 25 yildan ko'p vaqt boyicha Tayvandagi faoliyat olib boradi. Ushbu sohada keng tarqalgan iqlim va rivojlantirish malakasiga ega bo'lib, 6 ta turli viloyatda maxsus, katta hajmdagi va kalibratsiya qazlari sohasida unikal malakani taklif qila oladi. Tayvan - Kaohsiung shahri (markaz, iqlim va rivojlantirish markazi) Hindiston - Mumbai, Vadodara, Koyimbatur, Pune, Bengaluru, Dilli Xitoy - Vuhan O'rta Sharq - Dubay (BAA) va Saudiya Arabistoni Birlashgan Qirollik - Kembridj Biz tomonidan taklif etilgan qaz uchun yechimlar texnik maslahatchilikni o'z ichiga oladi. Quruv va komissiya qilish. Namuna sinovlari. Paketlash va yetkazib berish. Chizma dizayni. Ishlab chiqarish.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) bu Tayvan davlatida joylashgan qaz ishlab chiqarish va R&D tadbirlari markazi bo‘lib, jahon bo‘ylab 6 turli hududlarda maxsus, elektronika, katta hajmdagi va kalitirish qazlari sohasida eng yuqori darajadagi malakaga ega
Room 2&3, 10rd Floor, Unit 1, Phase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Maxfiylik siyasi
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ