DUV litografiyasi uchun lazer gaz aralashmalari: ArF 193 nm, KrF 248 nm lazer gaz aralashmalari

So'rov

Umumiy ko'rinish
So'rov
Bogʻliq mahsulotlar

Mahsulot haqida

Koʻrsatilgan

Nano-miqtodagi aralashtirish aniqiligi: Gaz aralashmasining 1% dan 2% gacha bo'lgan noaniqlik darajasini ta'minlash uchun biz ilg'or gravimetrik to'ldirish va massaviy oqim boshqaruvchilari (MFC) dan foydalanamiz. Bu DUV litografiyasi uchun doimiy lazer impulsi energiyasini va barqarorlikni ta'minlaydi. Ega bo'lingan passivatsiya texnologiyasi: F₂ juda faol moddadur.
Bizning silindrlarimiz aralashmaning silindr devorlari bilan reaksiyaga kirishishini oldini olish va uzoq saqlash muddatini (12–24 oy gacha) ta'minlash uchun barqaror ftorid qatlamini hosil qilish maqsadida maxsus ichki sirt passivatsiyasi jarayonidan o'tkaziladi.
Ultra-yuqori tozalikdagi komponentlar: Lazerni so'ndirish yoki optik komponentlarga zarar yetkazishi mumkin bo'lgan izdagi aralashmalar (O₂, H₂O, HF) ni minimal darajada kamaytirish uchun biz asosiy gaz sifatida faqat 6N (99,9999%) neon va kripton/xenonlardan foydalanamiz.
Mutaxassislik bilan amalga oshirilgan xavfsizlikni ta'minlovchi qadoqlash: Xalqaro yetkazib berish davomida hech qanday sivishish sodir bo'lmasligini ta'minlash uchun DISS yoki maxsus korrozionga chidamli armatura bilan jihozlangan maxsus yuqori bosimli nikeldan yasalgan qotishma yoki maxsus qayta ishlangan po'lat silindrlarda yetkazib beriladi.

Biz haqimizda

AGEM 2008-yilda Tayvan, Xitoyda bosh qarorgohi joylashgan gaz jihozlari sohasida xalqaro miqyosdagi mutaxassis ishlab chiqaruvchi va xizmat ko'rsatuvchi kompaniya sifatida tashkil etilgan. 16 yillik soha bo'yicha mutaxassislikka ega bo'lib, kompaniyaning xalqaro miqyosdagi faoliyati, yuqori darajadagi ishlab chiqarish mahorati hamda keng mahsulotlar assortimenti uning gaz jihozlari sohasida namuna sifatida tan olingan korxona bo'lishiga hissa qo'shgan. Kompaniya global rivojlanish strategiyasini amalga oshiradi, Xitoyning Qit'aviy qismi, Tayvan, Xitoy hamda Hindistonda zamonaviy ishlab chiqarish bazalarini tashkil etib, Osiyo bo'ylab tarqoq va xalqaro miqyosda faoliyat yurituvchi ishlab chiqarish hamda xizmat ko'rsatish tarmog'ini shakllantirgan. Har bir baza aqlli ishlab chiqarish liniyalari va aniq sinov uskunalari bilan jihozlangan bo'lib, bu xom ashyo qayta ishlashdan tortib yakuniy mahsulot yetkazib berilishigacha bo'lgan butun jarayonni nazorat qilish imkonini beradi. Yillik ishlab chiqarish quvvati doimiy ravishda sanoat yetakchilaridan biri sifatida baholanadi va kompaniya xalqaro mijozlarning turli xil ehtiyojlariga tezda javob bera oladi. Asosiy biznes yo'nalishi gazga oid asosiy jihozlarga qaratilgan bo'lib, turli sanoat gazlari, maxsus gaz klapanlari, yuqori bosimli silindrlar, yengil aluminiv silindrlar hamda yuqori aniqlikdagi bosim pasaytirgichlar kabi to'liq mahsulotlar assortimentini o'z ichiga oladi. Bu mahsulotlar kimyo, elektronika, sog'liqni saqlash hamda energiya kabi muhim sohalarda keng qo'llaniladi. Uzoq yillik texnik mutaxassislikka tayanib, mahsulotlar ISO9001 Sifat boshqaruvi tizimi sertifikati hamda yuqori bosimli jihozlar uchun ASME sertifikati, Yevropa bozoriga chiqish uchun CE-PED sertifikati va xalqaro miqyosda qo'llaniladigan IECEx portlovchan muhitga chidamli sertifikati kabi bir nechta avtoritetli xalqaro sertifikatlarga ega. Mahsulotlarning germetiklik xususiyatlari, bosimga chidamlilik hamda xavfsizlikni ta'minlash kabi asosiy ko'rsatkichlar xalqaro miqyosda yuqori darajaga erishgan. Kompaniya doimiy ravishda texnologik innovatsiyalarni o'zining asosiy raqobat afzalligi sifatida qo'llab-quvvatlaydi, xalqaro miqyosdagi ilmiy-tadqiqot guruhini yig'ib, texnologik yutuqlarga doimiy ravishda investitsiya kiritadi.

Tez-tez so'raladigan savollar

Siz silindrlaringizning xavfsizligi va bosimga chidamliligi qanday ta'minlanadi?

Bizning silindrlarimiz ISO 9809, DOT va EN standartlariga qat'iy rioya qilgan holda yuqori sifatli uzluksiz qotishma po'latdan ishlab chiqariladi. Har bir silindr fabrikadan chiqishidan oldin mutlaq xavfsizlik va yuqori bosim sharoitida ishlashda ishonchlilikni ta'minlash uchun gidravlik sinovdan, o'tkazuvchanlik sinovidan va ultratovushli tekshiruvdan o'tkaziladi.

Silindrlar uchun qanday sertifikat hujjatlari taqdim etasiz?

Xavfsizlik bizning ishlab chiqarishimizning asosidir. Bizning silindrlarimiz va ularga oid mahsulotlarimiz ISO, GB, TPED va DOT kabi asosiy xalqaro standartlar doirasida to'liq sertifikatlangan.

Silindrlarni to'ldirish uchun Xitoyga qaytarishimiz mumkinmi?

Ha, albatta. Biz to'liq yopiq doirali to'ldirish xizmatini taklif etamiz. Gaz tugagandan keyin bo'sh silindrlarni bizning fabrikamizga qaytarishingiz mumkin. Biz Xitoyda barcha importo'g'ri kelishuvlarini va keyingi operatsiyalarni boshqaramiz. Siz faqat oldindan bizni xabar qilishingiz kerak.

Silindrlar ichki tomondan maxsus qayta ishlanganmi?

Elektron maxsus gazlar uchun namlik va zarrachalar kontaminatsiyasini oldini olish maqsadida biz ichki devorlarni g'ishtlab va quritish bo'yicha ishlar bajarib, gazning uzoq muddat saqlash davomida juda yuqori tozalik darajasini saqlashini ta'minlaymiz.

Sizning tizimingizga mos keladigan ventillar ulanishini moslashtirishimiz mumkinmi?

Ha. Biz CGA, DISS, DIN yoki JIS kabi turli xalqaro standart ulanishlarni qo'llab-quvvatlaymiz. Iltimos, buyurtma berishdan oldin aniq talablaringizni aytib bering, shunda sizga mos keladigan ulagichlarni tanlab beramiz.