Yarimo'tkazgichlar plazma etchingi uchun kalibratsiya uchun yuqori tozalikdagi 6N CF4 va O2 gaz aralashmasi, vodorod va argonda muvozanatlangan

So'rov

Umumiy ko'rinish
So'rov
Bog'liq mahsulotlar

Mahsulot haqida

Ajratib ko'rsatish

Bu ultra-yuqori tozalikdagi 99,9999% (6N) kalibratsiya aralashmasi — yarimo'tkazgichlarning plazma etchlanishi va ilg'or yupqa qatlamli jarayonlarining qattiq talablariga mos ravishda ishlab chiqilgan maxsus jarayon gaz yechimi. Karbon tetraftorid (CF4) va kislorod (O2) ni vodorod (H2) va argon (Ar) dan tashkil topgan muvozanatli matritsada aniq aralashtirish orqali bu aralashma sub-nanometrli ishlab chiqarishda etchlanish tanlovi va profil anizotropiyasini boshqarish uchun kerakli kimyoviy sinergetikani ta'minlaydi. 6N darajadagi tozalik trass metall aralashmalari va namlikni deyarli yo'q qiladi, shu sababli plastinkalar ifloslanishidan oldini oladi va 3D NAND va FinFET kabi murakkab arxitekturalarda qurilmalar chiqishini sezilarli darajada oshiradi. Argon qo'shilishi jismoniy sputterlanish uchun zarur ion bombardimon energiyasini beradi, shu bilan birga vodorod/kislorod nisbati polimer passivatsiya qatlamini sozlash uchun e'tibor bilan kalibrlangan bo'ladi; natijada balandlik-kenglik nisbati yuqori o'ralar va mutlaqo vertikal yon devorlar hosil bo'ladi. Har bir silindr ilg'or gravimetrik aralashtirish usuli bilan tayyorlanadi va reaktiv komponentlarning barqarorligini ta'minlash hamda vaqt o'tishi bilan belgilangan konsentratsiyadan chetga chiqishini oldini olish uchun ichki passivatsiya jarayonidan o'tkaziladi. To'liq tahlil sertifikati (CoA) bilan birga xalqaro standartlarga mos keladigan ushbu aralashma plazma kimyosida mutlaq doimiylikni talab qiluvchi tadqiqot va ishlab chiqarish laboratoriyalari hamda yuqori hajmli yarimo'tkazgich fabrikalariga ideal tanlovdir. Bu "barchasi bir joyda" muvozanatli aralashma gaz yetkazib berish tizimlarini soddalashtiradi, ya'ni alohida gaz liniyalari sonini kamaytiradi; natijada ehtimoliy sifon nuqtalari kamayadi va massaviy oqim boshqaruvi (MFC) kalibrlash jarayoni soddalashadi.

Biz haqimizda

AGEM 2008-yilda Tayvan, Xitoyda bosh qarorgohi joylashgan gaz jihozlari sohasida xalqaro miqyosdagi mutaxassis ishlab chiqaruvchi va xizmat ko'rsatuvchi kompaniya sifatida tashkil etilgan. 16 yillik soha bo'yicha mutaxassislikka ega bo'lib, kompaniyaning xalqaro miqyosdagi faoliyati, yuqori darajadagi ishlab chiqarish mahorati hamda keng mahsulotlar assortimenti uning gaz jihozlari sohasida namuna sifatida tan olingan korxona bo'lishiga hissa qo'shgan. Kompaniya global rivojlanish strategiyasini amalga oshiradi, Xitoyning Qit'aviy qismi, Tayvan, Xitoy hamda Hindistonda zamonaviy ishlab chiqarish bazalarini tashkil etib, Osiyo bo'ylab tarqoq va xalqaro miqyosda faoliyat yurituvchi ishlab chiqarish hamda xizmat ko'rsatish tarmog'ini shakllantirgan. Har bir baza aqlli ishlab chiqarish liniyalari va aniq sinov uskunalari bilan jihozlangan bo'lib, bu xom ashyo qayta ishlashdan tortib yakuniy mahsulot yetkazib berilishigacha bo'lgan butun jarayonni nazorat qilish imkonini beradi. Yillik ishlab chiqarish quvvati doimiy ravishda sanoat yetakchilaridan biri sifatida baholanadi va kompaniya xalqaro mijozlarning turli xil ehtiyojlariga tezda javob bera oladi. Asosiy biznes yo'nalishi gazga oid asosiy jihozlarga qaratilgan bo'lib, turli sanoat gazlari, maxsus gaz klapanlari, yuqori bosimli silindrlar, yengil aluminiv silindrlar hamda yuqori aniqlikdagi bosim pasaytirgichlar kabi to'liq mahsulotlar assortimentini o'z ichiga oladi. Bu mahsulotlar kimyo, elektronika, sog'liqni saqlash hamda energiya kabi muhim sohalarda keng qo'llaniladi. Uzoq yillik texnik mutaxassislikka tayanib, mahsulotlar ISO9001 Sifat boshqaruvi tizimi sertifikati hamda yuqori bosimli jihozlar uchun ASME sertifikati, Yevropa bozoriga chiqish uchun CE-PED sertifikati va xalqaro miqyosda qo'llaniladigan IECEx portlovchan muhitga chidamli sertifikati kabi bir nechta avtoritetli xalqaro sertifikatlarga ega. Mahsulotlarning germetiklik xususiyatlari, bosimga chidamlilik hamda xavfsizlikni ta'minlash kabi asosiy ko'rsatkichlar xalqaro miqyosda yuqori darajaga erishgan. Kompaniya doimiy ravishda texnologik innovatsiyalarni o'zining asosiy raqobat afzalligi sifatida qo'llab-quvvatlaydi, xalqaro miqyosdagi ilmiy-tadqiqot guruhini yig'ib, texnologik yutuqlarga doimiy ravishda investitsiya kiritadi.

Tez-tez beriladigan savollar

Maxsus 99,9999% (6N) tozalikdagi aralashmalar uchun yetkazib berish muddati qancha?

CF4/O2 kabi ultra-yuqori tozalikdagi (UHP) gazlar uchun odatiy yetkazib berish muddati 10-15 ish kunidir. Bu 6N darajadagi tozalik va kontsentratsiya aniqiligi ta'minlanishi uchun aniqlik bilan aralashtirish hamda ko'p bosqichli barqarorlik sinovlarini o'z ichiga oladi.

CF4/O2 aralashmasining kontsentratsiya aniqiligi qanday ta'minlanadi?

To'ldirish paytida eng aniq aralashtirish usuli bo'lgan gravimetrik usuldan (yuqori aniqlikdagi vazn o'lchash) foydalanamiz. Har bir silindr gaz xromatografiyasi (GC) yordamida tahlil qilinadi va NIST yoki milliy standartlarga nisbatan izlanuvchanlikka ega bo'lgan Tahlil Sertifikati (COA) bilan birga yetkaziladi.

Bu aralashma vodorod (H2) va kislorod (O2) ni o'z ichiga olgani uchun barqarormi?

Ha. Biz xavfli va oksidlovchi komponentlarning kontsentratsiyasini xavfsiz chegaralarda saqlash yoki silindrdagi kimyoviy barqarorlikni ta'minlash va hech qanday xavfli reaksiyalarni oldini olish uchun argon (Ar) bilan muvozanatlash orqali xavfsiz aralashtirish protokollariga qat'iy amal qilamiz.

Bu yarimo'tkazgich gazlari uchun qanday turdagi silindr va ventillar ishlatiladi?

Sirtqi yuzda adsorbsiyani oldini olish uchun biz ichki passivlangan alyuminiy qotishma silindrlar yoki polirlangan zanglamaydigan po'lat silindrlardan foydalanamiz. 6N darajali gazlar uchun biz odatda nol sifatli oqib ketishni ta'minlash va kontaminatsiyani oldini olish uchun DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 yoki SS 316L zanglamaydigan po'lat klapanlarini ta'minlaymiz.

Ushbu gaz aralashmasi uchun saqlash talablari qanday?

Silindrlar sovuq, quruq va yaxshi ventilyatsiya qilinadigan joyda, to'g'ridan-to'g'ri quyosh nuridan va issiqlik manbalaridan uzoqda (harorat < 50° C) saqlanishi kerak. Silindrlar tushib ketmaslik uchun tik holatda mustahkamlanishi kerak.

Xavfli gazlarga butun dunyo bo'ylab yetkazib berish xizmatini taklif qilasizmi?

Ha, biz 2-sinf xavfli moddalarga oid logistika sohasida mutaxassispiz. Biz dengiz yoki havo orqali yuk yetkazib berish uchun MSDS (Material Safety Data Sheet), BMT sertifikatlangan idishlar va DG (Dangerous Goods) e'lonlarini o'z ichiga olgan to'liq hujjatlarni taqdim etamiz.