Hỗn hợp khí độ tinh khiết cao cấp 6N gồm CF4 và O2, cân bằng bằng hydro và argon, dùng để hiệu chuẩn quá trình khắc plasma bán dẫn

Yêu cầu thông tin

Tổng Quan
Yêu cầu thông tin
Các sản phẩm liên quan

Giới thiệu sản phẩm

Điểm nổi bật

Hỗn hợp hiệu chuẩn độ tinh khiết siêu cao 99,9999% (cấp 6N) này là một dung dịch khí quy trình chuyên biệt, được thiết kế đặc biệt nhằm đáp ứng những yêu cầu khắt khe của quá trình ăn mòn plasma bán dẫn và các quy trình màng mỏng tiên tiến. Bằng cách pha trộn chính xác Carbon tetrafluoride (CF4) và Oxygen (O2) trong một ma trận cân bằng gồm Hydrogen (H2) và Argon (Ar), hỗn hợp này cung cấp sự cộng hưởng hóa học chính xác cần thiết để kiểm soát độ chọn lọc ăn mòn và độ dị hướng hình dạng trong chế tạo ở cấp độ dưới nanomet. Độ tinh khiết cấp 6N đảm bảo rằng các tạp chất kim loại vết và độ ẩm gần như không tồn tại, từ đó ngăn ngừa nhiễm bẩn wafer và nâng cao đáng kể năng suất linh kiện cho các kiến trúc phức tạp như 3D NAND và FinFET. Việc bổ sung Argon cung cấp năng lượng va đập ion cần thiết cho quá trình phun xạ vật lý, trong khi tỷ lệ Hydrogen/Oxygen được hiệu chỉnh một cách tỉ mỉ nhằm điều chỉnh các lớp phủ polymer bảo vệ, đảm bảo các rãnh có tỷ lệ chiều cao trên chiều rộng cao với thành bên hoàn toàn thẳng đứng. Mỗi bình chứa đều được chuẩn bị bằng phương pháp trộn trọng lượng tiên tiến và trải qua quá trình thụ động hóa nội bộ độc quyền nhằm đảm bảo các thành phần phản ứng này duy trì ổn định và không lệch khỏi nồng độ quy định theo thời gian. Sản phẩm đi kèm Chứng chỉ phân tích (CoA) đầy đủ và có thể truy xuất nguồn gốc theo các tiêu chuẩn quốc tế, do đó đây là lựa chọn lý tưởng cho các phòng thí nghiệm nghiên cứu & phát triển (R&D) cũng như các nhà máy sản xuất bán dẫn quy mô lớn, nơi đòi hỏi tính nhất quán tuyệt đối trong hóa học plasma. Hỗn hợp cân bằng "tất cả-trong-một" này giúp đơn giản hóa hệ thống cấp khí bằng cách giảm số lượng đường ống khí riêng lẻ cần thiết, từ đó hạn chế tối đa các điểm rò rỉ tiềm ẩn và tối ưu hóa quy trình hiệu chuẩn bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC).

Giới thiệu về chúng tôi

AGEM được thành lập vào năm 2008 với tư cách là một nhà sản xuất chuyên nghiệp đa quốc gia và nhà cung cấp dịch vụ thiết bị khí, có trụ sở chính tại Đài Loan, Trung Quốc. Với 16 năm kinh nghiệm chuyên sâu trong ngành, phạm vi hoạt động toàn cầu, kỹ nghệ sản xuất vượt trội và danh mục sản phẩm toàn diện đã khẳng định vị thế của AGEM như một doanh nghiệp tiêu biểu trong lĩnh vực thiết bị khí. Công ty tuân thủ chiến lược phát triển toàn cầu hóa, thiết lập các cơ sở sản xuất hiện đại tại Trung Quốc đại lục, Đài Loan (Trung Quốc) và Ấn Độ, từ đó hình thành mạng lưới sản xuất và dịch vụ bao phủ châu Á và mở rộng ra toàn cầu. Mỗi cơ sở đều được trang bị dây chuyền sản xuất thông minh và thiết bị kiểm tra độ chính xác cao, cho phép kiểm soát toàn bộ quy trình từ xử lý nguyên vật liệu đến giao hàng sản phẩm hoàn thiện. Với năng lực sản xuất hàng năm luôn nằm trong top đầu ngành, công ty có thể đáp ứng nhanh chóng nhu cầu đa dạng của khách hàng trên toàn thế giới. Hoạt động kinh doanh cốt lõi tập trung vào các thiết bị khí trọng yếu, bao gồm đầy đủ các sản phẩm như các loại khí công nghiệp, van khí chuyên dụng, bình chứa khí áp suất cao, bình nhôm nhẹ và bộ giảm áp độ chính xác cao. Các sản phẩm này được ứng dụng rộng rãi trong các lĩnh vực then chốt như hóa chất, điện tử, y tế và năng lượng. Nhờ nền tảng chuyên môn kỹ thuật sâu rộng, sản phẩm của công ty đã đạt chứng nhận Hệ thống Quản lý Chất lượng ISO 9001 và nhiều chứng nhận quốc tế uy tín khác, bao gồm chứng nhận ASME dành cho thiết bị áp suất cao, chứng nhận CE-PED để tiếp cận thị trường EU và chứng nhận chống nổ IECEx cho ứng dụng toàn cầu. Các chỉ số hiệu năng chủ chốt như khả năng làm kín, khả năng chịu áp lực và tính năng bảo vệ an toàn đã đạt trình độ tiên tiến quốc tế. Công ty luôn coi đổi mới công nghệ là lợi thế cạnh tranh cốt lõi, tập hợp đội ngũ nghiên cứu và phát triển (R&D) quốc tế và liên tục đầu tư vào các đột phá công nghệ.

Các câu hỏi thường gặp

Thời gian chờ cho các hỗn hợp tùy chỉnh có độ tinh khiết 99,9999% (6N) là bao lâu?

Đối với các khí độ tinh khiết cực cao (UHP) như CF4/O2, thời gian chờ thông thường là 10–15 ngày làm việc. Thời gian này bao gồm quá trình pha trộn chính xác và kiểm tra độ ổn định qua nhiều giai đoạn nhằm đảm bảo độ tinh khiết cấp 6N và độ chính xác về nồng độ.

Làm thế nào quý vị đảm bảo độ chính xác về nồng độ của hỗn hợp CF4/O2?

Chúng tôi sử dụng phương pháp trọng lượng (cân đo độ chính xác cao) trong quá trình nạp, đây là kỹ thuật pha trộn chính xác nhất. Mỗi bình được phân tích bằng Sắc ký khí (GC) và đi kèm Chứng chỉ Phân tích (COA) có thể truy xuất nguồn gốc đến NIST hoặc các tiêu chuẩn quốc gia.

Hỗn hợp này có ổn định không, xét rằng nó chứa cả Hydrogen H2 và Oxygen O2?

Có. Chúng tôi tuân thủ nghiêm ngặt các quy trình pha trộn an toàn, trong đó nồng độ các thành phần dễ cháy và oxy hóa được duy trì trong giới hạn an toàn hoặc được cân bằng bằng Argon (Ar) nhằm đảm bảo tính ổn định hóa học và ngăn ngừa mọi phản ứng nguy hiểm bên trong bình.

Loại bình và van nào được sử dụng cho loại khí bán dẫn này?

Chúng tôi sử dụng các bình hợp kim nhôm được xử lý bề mặt bên trong hoặc các bình thép không gỉ đã đánh bóng để ngăn ngừa hiện tượng hấp phụ trên bề mặt. Đối với khí cấp độ 6N, chúng tôi thường trang bị van thép không gỉ SS 316L hoặc hệ thống điều khiển thông minh kỹ thuật số (Digital Intelligent Scheduling System – DISS) mã 660 nhằm đảm bảo không rò rỉ và ngăn ngừa nhiễm bẩn.

Yêu cầu lưu trữ đối với hỗn hợp khí này là gì?

Các bình phải được lưu trữ ở nơi mát, khô ráo và thoáng gió, tránh ánh nắng trực tiếp và các nguồn nhiệt (nhiệt độ < 50° C). Đảm bảo các bình được đặt thẳng đứng và cố định chắc chắn để tránh đổ ngã.

Quý vị có cung cấp dịch vụ vận chuyển toàn cầu cho khí nguy hiểm không?

Có, chúng tôi chuyên về hậu cần hàng nguy hiểm nhóm 2. Chúng tôi cung cấp đầy đủ tài liệu gồm bảng dữ liệu an toàn vật liệu (Material Safety Data Sheet – MSDS), bao bì đạt chứng nhận UN và giấy khai báo hàng nguy hiểm (Dangerous Goods – DG) cho vận chuyển đường biển hoặc đường hàng không.