Khí hexafluorobutadiene C4F6 độ tinh khiết cao 99,999%, dung tích 10 L và 8 L, cung cấp cho các ứng dụng công nghệ cao và sản xuất điện tử

Yêu cầu báo giá

Tổng quan
Yêu cầu báo giá
Sản phẩm liên quan

Về sản phẩm

Làm nổi bật

Độ tinh khiết cấp điện tử cho sản xuất bán dẫn: C4F6 của chúng tôi có sẵn ở các cấp độ tinh khiết cực cao lên đến 5N (99,999%), với hàm lượng tạp chất cực thấp, bao gồm oxy (O2), độ ẩm (H2O) và hydrocacbon, đảm bảo độ ổn định plasma vượt trội, hiệu suất ăn mòn đồng đều và khả năng lặp lại quy trình cao — những yêu cầu thiết yếu trong việc chế tạo các linh kiện bán dẫn tiên tiến. Tối ưu hóa cho các ứng dụng ăn mòn plasma tiên tiến: C4F6 được thiết kế đặc biệt cho các quy trình ăn mòn plasma độ chính xác cao, bao gồm ăn mòn điện môi, ăn mòn lớp oxit, tạo mẫu vật liệu có hằng số điện môi thấp (low-k) và kiểm soát kích thước quan trọng (critical dimension), mang lại khả năng chọn lọc vượt trội, khả năng ăn mòn hướng trục (anisotropic etching) và độ chính xác hình dạng cải thiện so với các khí fluorocarbon thông thường như CF4, C2F6 và C3F8, do đó rất phù hợp cho sản xuất linh kiện logic, bộ nhớ và vi cơ điện hệ (MEMS) tiên tiến. Giải pháp thay thế có tiềm năng làm nóng toàn cầu (GWP) thấp: So với các khí perfluorocarbon truyền thống, C4F6 cung cấp hiệu suất ăn mòn cao hơn, tiêu thụ khí thấp hơn và tác động môi trường giảm thiểu, giúp các nhà sản xuất bán dẫn đạt được các mục tiêu phát triển bền vững mà vẫn duy trì hiệu suất sản xuất và tỷ lệ thu hồi cao. Kiểm soát nghiêm ngặt tạp chất và độ ẩm: Chúng tôi sử dụng các hệ thống tinh chế khí tiên tiến, thiết bị phân tích độ chính xác cao và quy trình kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt để đảm bảo: độ ẩm (H2O) ≤ 1 ppm, oxy (O2) ≤ 1 ppm và tổng hydrocacbon ≤ 1 ppm, từ đó ngăn ngừa hiệu quả ô nhiễm wafer, mất ổn định plasma và các khuyết tật quy trình, đảm bảo hiệu suất xử lý bán dẫn nhất quán và đáng tin cậy. Bình chứa được chứng nhận với xử lý bề mặt đạt chuẩn bán dẫn: C4F6 của chúng tôi được cung cấp trong các bình chứa tiêu chuẩn dung tích 47 L, 10 L và các kích thước tùy chỉnh, được sản xuất tuân thủ đầy đủ các tiêu chuẩn ISO 9809, DOT 3AA và TPED EN, với tùy chọn xử lý điện phân bên trong (electropolishing) và xử lý thụ động (passivation) nhằm giảm thiểu sinh hạt, ngăn ngừa ô nhiễm khí và duy trì độ tinh khiết khí cực cao trong suốt quá trình lưu trữ và sử dụng.

Giới thiệu về chúng tôi

AGEM được thành lập vào năm 2008 với tư cách là một nhà sản xuất chuyên nghiệp đa quốc gia và nhà cung cấp dịch vụ thiết bị khí, có trụ sở chính tại Đài Loan, Trung Quốc. Với 16 năm kinh nghiệm chuyên sâu trong ngành, phạm vi hoạt động toàn cầu, kỹ nghệ sản xuất vượt trội và danh mục sản phẩm toàn diện đã khẳng định vị thế của AGEM như một doanh nghiệp tiêu biểu trong lĩnh vực thiết bị khí. Công ty tuân thủ chiến lược phát triển toàn cầu hóa, thiết lập các cơ sở sản xuất hiện đại tại Trung Quốc đại lục, Đài Loan (Trung Quốc) và Ấn Độ, từ đó hình thành mạng lưới sản xuất và dịch vụ bao phủ châu Á và mở rộng ra toàn cầu. Mỗi cơ sở đều được trang bị dây chuyền sản xuất thông minh và thiết bị kiểm tra độ chính xác cao, cho phép kiểm soát toàn bộ quy trình từ xử lý nguyên vật liệu đến giao hàng sản phẩm hoàn thiện. Với năng lực sản xuất hàng năm luôn nằm trong top đầu ngành, công ty có thể đáp ứng nhanh chóng nhu cầu đa dạng của khách hàng trên toàn thế giới. Hoạt động kinh doanh cốt lõi tập trung vào các thiết bị khí trọng yếu, bao gồm đầy đủ các sản phẩm như các loại khí công nghiệp, van khí chuyên dụng, bình chứa khí áp suất cao, bình nhôm nhẹ và bộ giảm áp độ chính xác cao. Các sản phẩm này được ứng dụng rộng rãi trong các lĩnh vực then chốt như hóa chất, điện tử, y tế và năng lượng. Nhờ nền tảng chuyên môn kỹ thuật sâu rộng, sản phẩm của công ty đã đạt chứng nhận Hệ thống Quản lý Chất lượng ISO 9001 và nhiều chứng nhận quốc tế uy tín khác, bao gồm chứng nhận ASME dành cho thiết bị áp suất cao, chứng nhận CE-PED để tiếp cận thị trường EU và chứng nhận chống nổ IECEx cho ứng dụng toàn cầu. Các chỉ số hiệu năng chủ chốt như khả năng làm kín, khả năng chịu áp lực và tính năng bảo vệ an toàn đã đạt trình độ tiên tiến quốc tế. Công ty luôn coi đổi mới công nghệ là lợi thế cạnh tranh cốt lõi, tập hợp đội ngũ nghiên cứu và phát triển (R&D) quốc tế và liên tục đầu tư vào các đột phá công nghệ.

Các câu hỏi thường gặp

Bạn cung cấp độ tinh khiết C4F6 nào?

Chúng tôi cung cấp C4F6 loại bán dẫn, bao gồm độ tinh khiết 4N (99,99%), 4,5N (99,995%) và 5N (99,999%). Các độ tinh khiết cao hơn có thể được cung cấp theo yêu cầu.

Các ứng dụng điển hình của C4F6 là gì?

C4F6 chủ yếu được sử dụng trong quá trình ăn mòn plasma bán dẫn, ăn mòn lớp điện môi, ăn mòn oxit, ăn mòn điện môi hệ số k thấp (low-k dielectric), sản xuất vi cơ điện tử (MEMS) và chế tạo mạch tích hợp tiên tiến.

Các kích thước bình chứa nào có sẵn?

Bao bì tiêu chuẩn bao gồm bình 47 L, bình 10 L, bình 8 L và các bình tùy chỉnh theo yêu cầu. Việc đánh bóng điện hóa bên trong bình có sẵn cho các ứng dụng bán dẫn.

Áp suất nạp và trọng lượng nạp điển hình là bao nhiêu?

Các thông số nạp điển hình bao gồm áp suất nạp tối đa từ 13 đến 15 MPa và trọng lượng nạp khoảng 20–25 kg trong bình 47 L. Trọng lượng nạp chính xác phụ thuộc vào độ tinh khiết và yêu cầu của khách hàng.

Loại van nào được sử dụng cho các bình chứa C4F6?

Các loại van phổ biến bao gồm CGA 716, DISS 716 và các van chuyên dụng cho ngành bán dẫn. Việc lựa chọn van có thể được tùy chỉnh dựa trên tiêu chuẩn khu vực.

Quý khách đảm bảo độ tinh khiết và độ ổn định của khí như thế nào?

Chúng tôi đảm bảo chất lượng thông qua các hệ thống làm sạch khí tiên tiến, công nghệ loại bỏ độ ẩm và oxy, phân tích sắc ký khí (GC) cũng như Cung cấp Chứng chỉ Phân tích (COA) kèm theo mỗi bình khí.

Thời gian giao hàng là bao lâu?

Thời gian giao hàng thông thường là từ 15 đến 25 ngày kể từ khi nhận được khoản đặt cọc. Giao hàng nhanh hơn có thể được thực hiện tùy thuộc vào tình trạng tồn kho và quá trình chuẩn bị bình khí.

Các bình chứa của quý khách tuân thủ những chứng nhận nào?

Các bình chứa của chúng tôi tuân thủ các tiêu chuẩn ISO 9809, DOT 3AA, TPED và EN. Kiểm tra bởi bên thứ ba có thể được thực hiện theo yêu cầu.