- Tổng Quan
- Yêu cầu thông tin
- Các sản phẩm liên quan

Argon (AR), Fluorine (F2), Helium (He), Neon (Ne) – Các khí đã pha trộn sẵn dùng để kích thích tia laser trên thiết bị laser excimer nhãn khoa chủ yếu gồm fluorine và argon, với neon làm khí cân bằng. Các bình chứa do công ty chúng tôi cung cấp là bình thép; độ an toàn được kiểm tra trước mỗi lần nạp, và các bình không đạt tiêu chuẩn sẽ không được nạp lại mà sẽ được tái chế. Khí laser excimer bao gồm hỗn hợp giữa khí quý (khí trơ) và halogen. Tia laser bước sóng 193 nm được tạo ra nhờ phản ứng giữa khí Ar và F2 dưới điều kiện kích thích điện phù hợp và áp suất cao. Quá trình này đòi hỏi công nghệ cao và chỉ một số rất ít công ty khí trên thế giới có khả năng thực hiện.
Khí excimer cho các mô hình phần |
||||||
Thương hiệu |
Bước sóng |
Xi lanh |
Van |
|||
Coherent |
193nm |
20 L |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 L/50 L |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10L/20 L |
DIN 14 |
|||
VISX |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 lít |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
20L |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193nm |
10 lít |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||






AGEM giới thiệu giải pháp được thiết kế chính xác cho nhu cầu hỗn hợp khí laser excimer: khí hiệu chuẩn laser excimer Krypton gồm Xe, Kr và Ne, được tối ưu hóa cho các ứng dụng quang khắc và khí quy trình bán dẫn đòi hỏi cao. Là nhà cung cấp đáng tin cậy các giải pháp khí chuyên dụng, AGEM tận dụng nhiều thập kỷ kinh nghiệm trong sản xuất khí và nghiên cứu – phát triển để cung cấp các hỗn hợp hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết, độ ổn định và khả năng truy xuất nguồn gốc trong cả môi trường sản xuất lẫn phòng thí nghiệm.
Tổng quan sản phẩm và các tính năng nổi bật
Hỗn hợp khí laser excimer này được pha chế nhằm hỗ trợ các hệ thống laser excimer krypton và xenon, đồng thời đảm bảo hiệu suất hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne chính xác cho các quy trình sản xuất quang học và điện tử. Khí hiệu chuẩn laser excimer krypton của AGEM – hỗn hợp khí Xe Kr Ne – có sẵn ở các nồng độ được kiểm soát chặt chẽ cùng quy trình xác minh nghiêm ngặt. Hỗn hợp khí laser excimer này được hưởng lợi từ các quy trình kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt và kinh nghiệm lâu năm của AGEM trong lĩnh vực giải pháp khí chuyên dụng, từ đó đảm bảo nguồn cung ổn định và hành vi dự báo được trong điều kiện vận hành.
- Độ tinh khiết và tính nhất quán: AGEM đảm bảo các thành phần có độ tinh khiết cao và quá trình trộn chính xác nhằm tạo ra hỗn hợp khí laser excimer nhất quán. Hỗn hợp khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne được sản xuất bằng các quy trình đã được xác thực và các kỹ thuật phân tích tiên tiến nhằm giảm thiểu tối đa các tạp chất có thể ảnh hưởng đến hiệu suất laser hoặc độ chính xác hiệu chuẩn.
- Hiệu chuẩn có thể truy xuất nguồn gốc: Mỗi bình khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne đi kèm chứng nhận và tài liệu lô hàng có thể truy xuất nguồn gốc, hỗ trợ các quy trình tuân thủ ISO và hệ thống chất lượng dành cho nhà máy bán dẫn (Fabs) và phòng thí nghiệm. Hỗn hợp khí laser excimer phù hợp cho các ứng dụng đo lường quan trọng, nơi yêu cầu khả năng truy xuất nguồn gốc và tài liệu hóa chất lượng là yếu tố thiết yếu.
- Độ ổn định và hạn sử dụng: Công thức pha chế và bao bì được thiết kế nhằm duy trì tính toàn vẹn của hỗn hợp khí laser excimer trong suốt quá trình lưu trữ và vận chuyển, giảm thiểu nguy cơ thay đổi thành phần. Các giải pháp khí chuyên dụng của AGEM bao gồm quản lý bình chứa và khuyến nghị về điều kiện lưu trữ nhằm bảo đảm độ ổn định của khí trong suốt thời gian sử dụng.
- An toàn và tuân thủ quy định: Khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne được sản xuất theo đúng các yêu cầu pháp lý và thực hành tốt nhất, đáp ứng đầy đủ các tiêu chuẩn an toàn, dán nhãn và xử lý cần thiết cho môi trường công nghiệp và phòng thí nghiệm. AGEM cung cấp bảng dữ liệu an toàn (SDS) và hỗ trợ kỹ thuật để tích hợp vào cơ sở hạ tầng xử lý khí hiện hữu.
Ứng dụng
Khí hiệu chuẩn laser excimer Krypton của AGEM, hỗn hợp khí Xe Kr Ne, được thiết kế cho nhiều ứng dụng khác nhau, trong đó thành phần khí và đặc tính hiệu chuẩn chính xác là yếu tố then chốt:
- Quang khắc và chế tạo vi mạch: Với tư cách là hỗn hợp khí laser excimer, hỗn hợp này hỗ trợ các hệ thống laser KrF và XeCl, giúp thực hiện các nhiệm vụ tạo mẫu và hiệu chuẩn chính xác trong sản xuất bán dẫn. Khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne được tối ưu hóa nhằm duy trì đặc tính phơi sáng ổn định và xác minh các thông số đầu ra của laser.
- Hiệu chuẩn khí quy trình bán dẫn: Hỗn hợp khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne rất phù hợp để hiệu chuẩn cảm biến, bộ điều khiển lưu lượng và thiết bị phân tích dùng trong quản lý khí quy trình bán dẫn. Các giải pháp khí chuyên dụng của AGEM đảm bảo các chuẩn tham chiếu đáng tin cậy, cần thiết cho kiểm soát quy trình và tối ưu hóa năng suất.
- Nghiên cứu và Phát triển: Các phòng thí nghiệm R&D chuyên về phát triển laser, đo lường quang học và chẩn đoán pha khí có thể tin cậy vào hỗn hợp khí laser excimer của AGEM để đảm bảo điều kiện thí nghiệm có thể lặp lại. Khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne hỗ trợ phát triển phương pháp, xác thực thiết bị và các nghiên cứu so sánh.
- Kiểm tra Linh kiện Quang học: Việc hiệu chuẩn các hệ thống phổ học, bộ dò tia UV và các thiết bị quang học khác được hưởng lợi từ các công thức khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne chính xác của AGEM. Hỗn hợp khí laser excimer hỗ trợ thiết lập phản ứng nền và kiểm tra độ tuyến tính của thiết bị.
Đổi mới và Các ưu thế kỹ thuật
AGEM kết hợp chuyên môn về khoa học vật liệu và đổi mới trong việc pha trộn khí nhằm mang lại những lợi thế kỹ thuật nổi bật:
- Công nghệ pha trộn tiên tiến: AGEM áp dụng công nghệ lưu lượng khối và pha trộn độ chính xác cao để đạt được tỷ lệ pha trộn khí laser excimer chính xác. Việc pha trộn chính xác này làm giảm sự sai lệch giữa các mẻ và cung cấp khí chuẩn Kr/Xe/Ne hoạt động ổn định, dự đoán được trên các thiết bị và laser nhạy cảm.
- Đảm bảo chất lượng vững chắc: Mỗi bình chứa khí chuẩn Kr/Xe/Ne đều trải qua phân tích toàn diện bằng thiết bị hiện đại nhất nhằm xác nhận thành phần và mức độ tạp chất. Các giải pháp khí chuyên dụng của AGEM được hỗ trợ bởi tài liệu ghi chép kỹ lưỡng và quy trình kiểm soát chất lượng được thiết kế riêng cho các môi trường yêu cầu độ tin cậy cao.
- Giải pháp tùy chỉnh: AGEM cung cấp các hỗn hợp khí chuẩn Kr/Xe/Ne được thiết kế riêng theo yêu cầu cụ thể của khách hàng về nồng độ, kích thước bình chứa và chứng nhận. Hỗn hợp khí laser excimer có thể được điều chỉnh phù hợp với từng hệ thống laser hoặc tiêu chuẩn hiệu chuẩn cụ thể, từ đó tối ưu hóa hiệu suất trong nhiều tình huống vận hành khác nhau.
- Hỗ trợ toàn cầu với khả năng phản hồi tại chỗ: Khả năng nghiên cứu và phát triển (RD) của AGEM cùng mạng lưới phân phối toàn cầu cho phép phản hồi nhanh chóng và hỗ trợ kỹ thuật trên sáu khu vực. Khách hàng được hưởng lợi từ nguồn cung cấp địa phương trong khi vẫn tiếp cận được chuyên môn về giải pháp khí đặc chủng và chất lượng sản phẩm đồng nhất của AGEM.
Thông số kỹ thuật – Đại diện
Khí hiệu chuẩn laser excimer krypton của AGEM – hỗn hợp khí Xe, Kr, Ne – có sẵn ở nhiều thành phần khác nhau và các cấu hình bình chứa khác nhau. Các đặc tính tiêu biểu bao gồm: nồng độ krypton, xenon và neon đã được xác minh theo tỷ lệ kiểm soát; thông số tạp chất phù hợp với yêu cầu của ngành bán dẫn và phòng thí nghiệm; và tài liệu chứng nhận đảm bảo khả năng truy xuất nguồn gốc. AGEM có thể cung cấp báo cáo phân tích chi tiết và giấy chứng nhận phân tích theo yêu cầu.
Hướng dẫn sử dụng và xử lý
- Lắp đặt và sử dụng hỗn hợp khí laser excimer theo hướng dẫn của nhà sản xuất dành cho hệ thống laser và cơ sở hạ tầng xử lý khí. - Tuân thủ các khuyến nghị của AGEM về lưu trữ và quản lý bình chứa để duy trì độ nguyên vẹn của khí hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne. - Liên hệ đội ngũ kỹ thuật của AGEM để được hỗ trợ về quy trình hiệu chuẩn, lựa chọn nồng độ và các biện pháp an toàn phù hợp với môi trường vận hành của bạn.
Tại sao nên chọn AGEM
AGEM cam kết đạt được sự xuất sắc tuyệt đối về sản phẩm. Là một công ty sản xuất khí và nghiên cứu phát triển có trụ sở tại Đài Loan, chuyên cung cấp giải pháp khí đặc chủng, AGEM kết hợp kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt cùng kiến thức chuyên sâu trong lĩnh vực khí điện tử, khí khối lượng lớn và khí hiệu chuẩn. Khách hàng lựa chọn AGEM để đáp ứng nhu cầu hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne sẽ được tiếp cận các sản phẩm hỗn hợp khí laser excimer độ tinh khiết cao, tài liệu minh bạch đáng tin cậy cũng như hỗ trợ kỹ thuật dành riêng cho khí quy trình bán dẫn và ứng dụng quang học chính xác.
Đối với các tổ chức cần giải pháp hỗn hợp khí laser excimer đáng tin cậy và hiệu suất hiệu chuẩn Kr/Xe/Ne chính xác, khí hiệu chuẩn laser excimer Krypton của AGEM — hỗn hợp khí Xe Kr Ne — là lựa chọn chất lượng cao, có thể truy xuất nguồn gốc và tùy chỉnh được. Sản phẩm này được hỗ trợ bởi chuyên môn về giải pháp khí đặc chủng của AGEM cùng quy trình đảm bảo chất lượng nghiêm ngặt, nhằm phục vụ các ứng dụng then chốt như quang khắc (photolithography), hiệu chuẩn khí quy trình bán dẫn và nghiên cứu, nơi độ ổn định, độ tinh khiết và tính đầy đủ của tài liệu là yếu tố hàng đầu.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ