الكل

مزيج غازي عالي النقاء من رباعي فلوريد الكربون والأكسجين (نقاوة ٦ نين) مع توازن من الهيدروجين أو الأرجون، يستخدم في معايرة عمليات التآكل البلازمية في صناعة أشباه الموصلات

مزيج غازي عالي النقاء من رباعي فلوريد الكربون والأكسجين (نقاوة ٦ نين) مع توازن من الهيدروجين أو الأرجون، يستخدم في معايرة عمليات التآكل البلازمية في صناعة أشباه الموصلات

استفسار

نظرة عامة
استفسار
المنتجات ذات الصلة

حول المنتج

السمات البارزة

تُعَدُّ هذه الخلطة القياسية فائقة النقاء (نقاء ٩٩,٩٩٩٩٪، أي درجة نقاء ٦N) حلاًّ خاصًّا لغازات العمليات، صُمِّمت خصيصًا لتلبية المتطلبات الصارمة لعمليات التآكل بالبلازما في صناعة أشباه الموصلات والعمليات المتقدمة لترسيب الأغشية الرقيقة. وبخلط غاز رباعي فلوريد الكربون (CF4) والأكسجين (O2) بدقة ضمن مصفوفة متوازنة من الهيدروجين (H2) والأرجون (Ar)، تحقِّق هذه الخلطة التآزر الكيميائي المطلوب تمامًا للتحكم في انتقائية التآكل وانحراف المقطع العرضي في عمليات التصنيع دون النانومترية. ويضمن نقاء الدرجة ٦N غياب الشوائب المعدنية الدقيقة والرطوبة تقريبًا، ما يمنع تلوث الرقائق ويعزِّز عائد الأجهزة بشكل كبير في الهياكل المعقدة مثل ذاكرة NAND ثلاثية الأبعاد وترانزستورات FinFET. كما يوفِّر الأرجون طاقة الاصطدام الأيوني اللازمة للتفكيك الفيزيائي بالتناثر، بينما يُضبط نسبة الهيدروجين إلى الأكسجين بدقةٍ بالغة لتعديل طبقات التمرير البوليمرية، مما يضمن تشكيل خنادق عالية النسبة الطولية-العرضية بجدران جانبية رأسية تمامًا. وتُحضَّر كل أسطوانة باستخدام خلط جاذبي متقدم، وتُخضع لعملية تمرير داخلية خاصة تضمن ثبات هذه المكونات التفاعلية وعدم انحراف تركيزها عن القيمة المحددة مع مرور الزمن. وتُقدَّم هذه الخلطة مرفقةً بشهادة تحليل شاملة (CoA) قابلة للتتبع للمعايير الدولية، وهي الخيار الأمثل لمختبرات البحث والتطوير ومصانع أشباه الموصلات ذات الإنتاج العالي التي تتطلب اتساقًا مطلقًا في كيمياء البلازما. وبفضل كونها خلطة «جاهزة للاستخدام» ومُتوازنة، فإنها تبسِّط أنظمة توصيل الغاز عبر تقليل عدد خطوط الغاز المنفصلة المطلوبة، ما يقلِّل بالتالي من نقاط التسرب المحتملة ويسهِّل عملية معايرة وحدات التحكم في تدفق الكتلة (MFC).

عن شركتنا

تأسست شركة AGEM في عام 2008 كشركة مُصنِّعة وموفرة لخدمات مهنية متعددة الجنسيات لمعدات الغاز، ومقرها الرئيسي في تايوان، الصين. وبفضل خبرتها المتخصصة التي تمتد على مدى ١٦ عامًا في القطاع، وانتشارها العالمي، وتميُّزها في الحرفية التصنيعية، وتنوع محفظة منتجاتها الشاملة، فقد رسَّخت مكانتها كمؤسسة رائدة تُعتبر معيارًا مرجعيًّا في قطاع معدات الغاز. وتتمسك الشركة باستراتيجية تطوير عالمية، حيث أنشأت قواعد إنتاج حديثة في البر الصيني الرئيسي وتايوان، الصين، والهند، مشكِّلةً بذلك شبكة إنتاج وخدمات تغطي قارة آسيا وتمتد إلى المستوى العالمي. وكل قاعدة من هذه القواعد مزوَّدة بخطوط إنتاج ذكية ومعدات اختبار دقيقة، مما يمكِّنها من مراقبة العمليات بكاملها بدءًا من معالجة المواد الخام ووصولًا إلى تسليم المنتج النهائي. وباستمرار ترتيب طاقتها الإنتاجية السنوية ضمن المراكز الرائدة في القطاع، فإن الشركة قادرة على الاستجابة بسرعةٍ للاحتياجات المتنوِّعة للعملاء حول العالم. ويرتكز النشاط التجاري الأساسي للشركة على المعدات الأساسية المرتبطة بالغاز، ويشمل مجموعة كاملة من المنتجات مثل مختلف غازات الصناعة، وصمامات الغاز المتخصصة، والأسطوانات عالية الضغط، والأسطوانات الخفيفة الوزن المصنوعة من الألومنيوم، ومخفضات الضغط عالية الدقة. وتُستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في قطاعات حيوية مثل الكيماويات والإلكترونيات والرعاية الصحية والطاقة. وباستنادها إلى خبرتها الفنية العميقة، حصلت منتجات الشركة على شهادة نظام إدارة الجودة ISO9001، بالإضافة إلى شهادات دولية موثوقة متعددة، منها شهادة ASME الخاصة بالمعدات عالية الضغط، وشهادة CE-PED الخاصة بالدخول إلى السوق الأوروبية، وشهادة IECEx الخاصة بمعدات مقاومة الانفجار للاستخدام العالمي. وقد حقَّقت المؤشرات الرئيسية للأداء، مثل أداء الإحكام، ومقاومة الضغط، ووظائف الحماية الأمنية، مستويات متقدمة على الصعيد الدولي. وتضع الشركة الابتكار التكنولوجي باستمرار في صدارة أولوياتها باعتباره قوة تنافسية أساسية، حيث شكَّلت فريق بحث وتطوير دولي، وتواصل الاستثمار في التطورات التكنولوجية المهمة.

الأسئلة الشائعة

ما المدة الزمنية المطلوبة لإعداد خليط مخصص بنقاوة ٩٩,٩٩٩٩٪ (٦N)؟

للهالوجينات فائقة النقاوة (UHP) مثل CF4/O2، تكون المدة الزمنية المعتادة ١٠–١٥ يوم عمل. وتشمل هذه المدة عملية الخلط الدقيقة واختبار الاستقرار على مراحل متعددة لضمان نقاوة الدرجة ٦N ودقة التركيز.

كيف تضمنون دقة تركيز خليط CF4/O2؟

نستخدم طريقة الوزن الجرامي (الوزن عالي الدقة) أثناء التعبئة، وهي أدق تقنية خلط معروفة. ويُحلَّل كل أسطوانة باستخدام كروماتوغرافيا الغاز (GC)، وتُرفق بها شهادة تحليل (COA) قابلة للتتبع إلى معايير NIST أو المعايير الوطنية.

هل يظل هذا الخليط مستقرًا رغم احتوائه على الهيدروجين (H2) والأكسجين (O2) معًا؟

نعم. فنحن نلتزم بدقة ببروتوكولات الخلط الآمنة، حيث يُحافظ على تركيز المكونات القابلة للاشتعال والمكونات المؤكسدة ضمن الحدود الآمنة، أو يُوازنها بأرجون (Ar) لضمان الاستقرار الكيميائي ومنع أي تفاعلات خطرة داخل الأسطوانة.

ما نوع الأسطوانة والصمام المستخدمين لهذا الغاز شبه الموصل؟

نستخدم أسطوانات من سبائك الألومنيوم المُمرَّنة داخليًّا أو أسطوانات من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقولة لمنع الامتزاز السطحي. ولغازات الدرجة ٦N، نزوِّدُها عادةً بصمامات من الفولاذ المقاوم للصدأ SS ٣١٦L أو نظام الجدولة الذكي الرقمي DISS ٦٦٠ لضمان انعدام التسرب ومنع التلوث.

ما متطلبات تخزين خليط الغاز هذا؟

يجب تخزين الأسطوانات في مكان بارد وجاف وجيد التهوية، بعيدًا عن أشعة الشمس المباشرة ومصادر الحرارة (درجة الحرارة أقل من ٥٠°م). ويجب تثبيت الأسطوانات بشكل رأسي لمنع سقوطها.

هل تقدِّمون شحن الغازات الخطرة إلى جميع أنحاء العالم؟

نعم، نمتلك خبرة متخصصة في لوجستيات البضائع الخطرة من الفئة ٢. ونوفر جميع الوثائق المطلوبة، بما في ذلك ورقة بيانات السلامة للمواد MSDS، والتغليف المعتمَد من الأمم المتحدة، وإعلانات البضائع الخطرة DG للشحن البحري أو الجوي.