غاز ليزر إكسيمر/غاز أرف مسبق الخليط

الكل

• غازات مختلطة

  • غاز ليزر إكسيمر/غاز أرف المسبقة خليط

• مواد التآكل

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• المتفاعلات

  • NO,أكسيد النيتروجين
  • H2S
  • CO,أول أكسيد الكربون
  • NH3
  • HCL

• الهيدروكربونات

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • إي أو/ إي تي أو

• الغازات السائبة والنادرة

  • أو ٢
  • سي أو ٢
  • هيدروجين
  • إن ٢
  • زينون
  • نيون
  • كريبتون
  • هيليوم
  • آر곤
  • كلورين

• هالوكاربونات

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• غاز التبريد

  • R290
  • R170
  • R508B

• تجهيزات الغاز

  • مضخة
  • رَفّ الأسطوانة
  • خزانة الغاز
  • منظم الأكسجين
  • VMB
  • خزان ISO
  • غطاء الأسطوانة
  • صمام
  • أسطوانة الألمنيوم
  • أسطوانة الصلب

• كيميائيات أخرى

  • شاحن الكريم
  • AlH3