Plynové zařízení

All

• Ostatní chemikálie

  • Nábojkou na šlehačku
  • AlH3

• Míchací plyn

  • Excimerový laserový plyn/Arf Premix Gas

• Etčivé látky

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2o
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reagenty

  • ANO, Nitrický oxid
  • H2S
  • CO, Odeční plyn
  • NH3
  • HCL

• Uhlovodíky

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO\/ETO

• Hromadné a vzácné plyny

  • O2
  • CO2
  • Vodík
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Helium
  • Argon
  • CL2

• Halokarbons

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Chladicí plyn

  • R290
  • R170
  • R508B

• Plynové zařízení

  • Čerpadlo
  • Rack na válec
  • Gazový kabinet
  • Regulator kyslíku
  • VMB
  • ISO NÁDRŽ
  • Kryt válce
  • Ventil
  • Hliníkový válec
  • Ocelový válce