Cymysgedd Gas CF4 O2 o Uchel Purdeb 6N mewn Cydbwysedd Hydrogen a Argon ar gyfer Calibradu Etching Plasma Semiconductors

Ymholiad

Trosolwg
Ymholiad
Cynnyrch cysylltiedig

Ynghylch cynnyrch

Amlygu

Mae'r cymysgedd calibradu hyn o buritydd uwch-uchel iawn 99.9999% (6N) yn ateb gaseg broses arbennig sydd wedi'i peiriannu'n benodol ar gyfer gofynion anhepgor Prosesu Etcho Plasma Semicondwyrs a Prosesu Ffilm Tanau Uwch. Trwy gymysgu Carbon Tetrafluoride (CF4) a Chwsgen (O2) yn uniongyrchol o fewn matrics cydbwysedd o Hydrogen (H2) a Argon (Ar), mae'r cymysgedd hon yn darparu'r cydweithrediad cemegol union sydd ei angen i reoli dewisrwydd etcho a anisotroedd profil mewn ffabryciad is-nanometrig. Mae puritydd gradd 6N yn sicrhau bod tanfilwriaethau metelol olwgol a chwsgen yn ychydig iawn, gan atal llidiant y wafer a gwella cynhyrchiant y dyfeisiau yn sylweddol ar gyfer architecthurau cymhleth fel 3D NAND a FinFET. Mae'r cynhwysiad o Argon yn darparu'r egni rhaglennu ioniaidd sydd ei angen ar gyfer sblintio corfforol, tra bod y gymhareb o Hydrogen/Ocsigen yn cael ei leoli'n ofalus i addasu haenau pasifadu polymer, gan sicrhau trinnoedd â chyfradd agored uchel ac wynebau ochr fertigol yn berffaith. Paratir pob silindr gan ddefnyddio cymysgu gravimetrig uwch a thrwy brosesu pasifadu mewnol eithafol er mwyn sicrhau bod y cydrannau gweithgar hyn yn aros sefydlog ac yn naill ai'n gorfod o'r cyflwr penodol dros amser. Mae'r cymysgedd hon ar gael â Chertiffiad Cyfanlysiad (CoA) cyflawn a'u trosglwyddo i safonnau rhyngwladol, ac felly mae hi'n y ddewis gorau ar gyfer labordy Ymchwil a Datblygu a ffabrycau semicondwyrs mewn cyfaint uchel sydd angen cysoniadau absoliwt yn eu cemeg plasma. Mae'r cymysgedd cydbwysedd "un-paent" hon yn symlhau systemau cyflenwi nwy trwy leihau nifer y llinellau nwy unigol sydd eu hangen, ac felly'n lleihau'r posibiliadau o lekiadau a rheoli'r broses calibradu rheolydd llif mas (MFC).

Amdanom ni

Sefydlwyd AGEM yn 2008 fel cynhyrchydd proffesiynol a darparwr gwasanaethau rhwngwladol ar gyfer cyfarpar nwy, gyda'i benawd yn Taiwan, Tsieina. Gyda 16 mlynedd o arbenigedd ym myd y diwydiant, mae ei droedfan byd-eang, ei gweithgaredd manwerthu uwch, a'i bolisgwm cynnyrch llawn wedi cadarnhau ei sefyllfa fel mewn cynllun cyfeirio yn y sector cyfarpar nwy. Mae'r cwmni'n dilyn strategaeth datblygu global, gan sefydlu canolfannau cynhyrchu modern yn y Prifbarth Tsieinëaidd, Taiwan, Tsieina, a India, ac yn ffurfio rhwydwaith cynhyrchu a gwasanaeth sydd yn cynghorau Asia ac yn estyn yn fyd-eang. Mae pob canolfan wedi'i hequipio â llinellau cynhyrchu deallusol a chyfarpar profi precisiwn, gan galluogi rheoli o hydrefn llawn o brosesu'r defnyddion i ddosbarthu'r cynnyrch terfynol. Gyda chynhyrchiant blynyddol sydd yn parhau i fod yn un o'r arweinwyr yn y diwydiant, mae'r cwmni'n gallu ymateb yn gyflym i anghenion amrywiol cleientiaid byd-eang. Mae'r busnes crafftedig yn canolbwyntio ar gyfarpar hanfodol sy'n ymwneud â nwy, gan gynnwys amrywiaeth lawn o nwyon diwylliannol, meini prawf nwy arbennig, cilindroedd uchel-gwasgedd, cilindroedd alwminiwm ysgafn, a lleihadurion gwasgedd uchel-brecisiwn. Mae'r cynnyrch hwn yn cael ei ddefnyddio yn eang mewn sectorau hanfodol fel ceimieg, electronig, gofal iechyd, a phŵer. Gan ymmyl â harlech technegol dwfn, mae'r cynnyrch wedi derbyn tystysgrifiad System Rhaglen Ansawdd ISO9001 a thrwyddedau rhyngwladol awdurdodaidd eraill, gan gynnwys tystysgrif ASME ar gyfarpar uchel-gwasgedd, tystysgrif CE-PED ar gyfer mynediad i'r farchnad yr UE, a thystysgrif IECEx ar gyfer cyfarpar sydd yn wrthblaid torfodd yn ymestyn i'r farchnad ryngwladol. Mae awgrymion perfformiad allweddol fel perfformiad torgi, gwrthder gwasgedd, a diogelwch amddiffyn wedi cyrraedd lefelau rhwngwladol uwch. Mae'r cwmni'n rhoi blaenoriaeth barhaus i ddyfeisio technegol fel ei gryfder cystadleuol hanfodol, gan gynnal tîm R&D rhwngwladol a bod yn buddsoddi'n barhaus mewn torriad technegol.

Cyffroriau Cyffredinol

Beth yw amser arweiniad ar gyfer cymysgeddau cyfaddas â phurdeb 99.9999% (6N)?

Ar gyfer nwyon purdeb uchel iawn (UHP) fel CF4/O2, mae amser arweiniad typig yn 10–15 diwrnod gwaith. Mae hyn yn cynnwys cymysgu'n uniongyrchol a phrofiadau sefydlogrwydd mewn sawl cam i sicrhau purdeb gradd 6N a chywirder cydwedd.

Sut ydych chi'n sicrhau cywirder cydwedd cymysgad CF4/O2?

Defnyddiom y dull graviometrig (pwyso'n uchelgywir) yn ystod y llenwi, sydd yn y techneg gymysgu mwyaf cywir. Profir pob silindr drwy Golofn Gaseg (GC), ac mae pob un yn dod â Chertiffiad Dadansoddi (COA) sydd yn oladwy i safonnau NIST neu'r safonnau cenedlaethol.

A yw'r cymysgad hwn yn sefydlog, gan fod H2 a O2 yn ei gynhwysedig?

Iawn. Rydym yn dilyn protocolau cymysgu diogelwch yn gat iawn, lle ceir cadw cydwedd cydrannau danfol a ocsidio o fewn terfynau diogel neu eu cydbwysio â Argon (Ar) i sicrhau sefydlogrwydd cemegol a rhwystro unrhyw adweithiau niweidiol o fewn y silindr.

Pa fath o silindr a thalffordd sydd yn cael eu defnyddio ar gyfer y nwy semicondwr hwn?

Defnyddir cynyllyr alwminiwm alloy â phassifadur mewnol neu gynyllyr o stal anhygoedd lachloged i atal adferiad ar y wyneb. Ar gyfer nifer o'r nifer 6N o'r nifer, rhoddir valveau o stal anhygoedd SS 316L neu'r System Rhaglen Rhifol Deallus (DISS) 660 yn aml i sicrhau nad oes unrhyw gollwng ac i atal llidio.

Beth yw'r gofynion storio ar gyfer y cymysgedd nwy hwn?

Mae'n rhaid storio'r cynyllyr mewn ardal oer, sych, a chyda llif o aer da, i ffwrdd o golofnau uniongyrchol a ffynhonnellau tymheriadau (tymheriad < 50° C). Sicrhewch fod y cynyllyr wedi'u sicrhau'n fertigol i atal eu syrthio.

A ddarperir cludiant ledled y byd ar gyfer nwyon peryglus?

O'i le, rydym yn arbenigo mewn logisteg nwyon peryglus Dosbarth 2. Darperir dogfennau llawn gan gynnwys y Taflen Data Diogelwch Materion (MSDS), pecynu cymeradwyedig gan y UN, a datganiadau Nwyon Peryglus (DG) ar gyfer cludiant morol neu awyr.