Etchants

Pob

• Aerod Cyfunol

  • Gas Lazer Excimer/Gas Arf Premix

• Etchants

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Cydrannau

  • NO,Unigynid Nwy
  • H2S
  • CO,Monocsyn Carbon
  • NH3
  • HCL

• Hidrocarbwnau

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Nwyon Cyffredin a Chynhar

  • O2
  • CO2
  • Hydrogen
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Helium
  • Argon
  • CL2

• Halogarbsynau

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Gas Adrefol

  • R290
  • R170
  • R508B

• Gweithredyn Gas

  • Bomp
  • Rac Silinder
  • Gas Cabinet
  • Arbanel Ocsigen
  • VMB
  • Tanq ISO
  • Garpwr Silinder
  • Amgylchedd
  • Silinder Aluminium
  • Silinder Haearn

• Arall O Gymysgedd

  • Llwyfan Crem
  • AlH3