Reaktionspartner

ALLE

• Mischung Gase

  • Excimer-Laser-Gas/Arf-PreMix-Gas

• Etchants

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reaktionsstoffe

  • NO, Stickoxid
  • H2S
  • CO, Kohlenmonoxid
  • NH3
  • HCL

• Kohlenwasserstoffe

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Bulk- und Edelgase

  • O2
  • CO2
  • Wasserstoff
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Helium
  • Argon
  • CL2

• Halocarbone

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Kühlgas

  • R290
  • R170
  • R508B

• Gas Ausrüstung

  • Pumpe
  • Zylinderständer
  • Gas Schrank
  • Sauerstoffregler
  • VMB
  • ISO-Tank
  • Zylinderdeckel
  • Ventil
  • Aluminiumzylinder
  • Stahlzylinder

• Andere Chemikalien

  • Creme Lader
  • AlH3