99,999 % reines Krypton-Rare-Gas-Kalibriergas – Gemisch aus Xe, Kr, Ne für Excimer-Laser-Gase

Produktbeschreibung

Excimer Laser Gas

Excimer-Laser-Gasgemische sind eine Kombination aus Edelgasen (Argon, Krypton, Xenon oder Neon) und Halogenen Gasen (Fluor oder Chlor). Das Gemisch bestimmt die Wellenlänge des erzeugten DUV-Lichts. Argon+Fluor+Neon (193nm) und Krypton+Fluor+Neon (248nm) sind die zwei am häufigsten verwendeten Gemische. In Bezug auf das Volumen; Neon macht etwa 96–97,5% des Gemisches aus.

Anwendungen

Photolithografie: Der Photolithografie-Prozess ist entscheidend für die Miniaturisierung von Mikrochips. Ein Scanner funktioniert wie ein Diaprojektor: Er nutzt das Licht einer Quelle, um ein Bild von einem Master-Muster – das in eine Glasscheibe eingeätzt ist – auf einen Halbleiterwafer zu übertragen, der mit lichtempfindlichen chemischen Filmen beschichtet ist. Dieses Bild bildet das Muster für die winzige Schaltungsstruktur des Mikrochips

Glühen: Excimer-Laser werden auch bei der Herstellung hochwertigerer Displays mit besserer Auflösung und Farbtreue eingesetzt. Ein Laserstrahl wird verwendet, um mehrere dünne Schichten zu erwärmen und miteinander zu verschmelzen, wodurch das Gerät schneller und energieeffizienter wird

Medizin: Excimer-Laser erzeugen Wellenlängen um 200 nm und können Material präzise durch Ablation statt durch Verdampfung entfernen. Die Ablation vermeidet thermische Schäden am umgebenden Material und führt daher bei der Durchtrennung menschlichen Gewebes zu minimalen Narben. Diese Eigenschaft macht sie ideal für korrigierende Augenchirurgien sowie für die Behandlung bestimmter dermatologischer Erkrankungen

Excimer-Gase für teilweise Modelle
Marke	Wellenlänge	Zylinder	Ventil
Kohärent	193nm	20 L	DIN 8
B & L	193nm	20 L/50 L	DIN 8/ DIN 14
Zeiss	193nm	10L/20 L	DIN 8
VISX	193nm	16 L	CGA 679
NIDEK	193nm	16 L	CGA 679
LASERSIGHT	193nm	10 Liter	CGA 679
Alcon	193nm	16 L	CGA 679
SCHWIND	193nm	20 L	DIN 8/ DIN 14
GIPFEL	193nm	16 L	CGA 679

Verpackung & Lieferung

8L/10L/16L/20L DOT ZYLINDER

FAQ

Warum wir

Über uns

AGEM präsentiert das Kalibrierungsgas für Excimer-Laser mit 99,999 % reinem Krypton sowie einer Mischung aus Xe, Kr und Ne – ein sorgfältig zusammengestelltes Edelgasgemisch höchster Reinheit, das speziell für anspruchsvolle Anwendungen in der Photonik, der Halbleiterfertigung und der präzisen Gas-Kalibrierung entwickelt wurde. Dieses Krypton-Kalibrierungsgas wurde für außergewöhnliche Stabilität und Leistungsfähigkeit konzipiert und gewährleistet zuverlässige Steuerung in Excimer-Laser-Gassystemen sowie in Kalibrierungslabors, die extrem reine Edelgasgemische benötigen. Mit jahrzehntelanger Erfahrung stellt AGEM sicher, dass jeder Zylinder mit Excimer-Laser-Gas strenge Qualitätsstandards erfüllt und konsistente Ergebnisse für Prozesse liefert, bei denen exakte Gaszusammensetzung und Rückverfolgbarkeit entscheidend sind.

Produktmerkmale und Zusammensetzung

Der Kern dieses Produkts ist eine sorgfältig abgestimmte Xe-Kr-Ne-Mischung, die speziell zur Optimierung der Leistung von Excimer-Lasern, der Wiederholbarkeit von Kalibrierungen und der Detektionsempfindlichkeit entwickelt wurde. Die Reinheitsangabe von 99,999 % spiegelt AGEMs strenge Produktionskontrollen und fortschrittliche Reinigungstechnologien wider. Als Kalibriergas auf Basis von Krypton konzipiert, erfüllt diese Xe-Kr-Ne-Mischung die Anforderungen an die Gasversorgung von Excimer-Lasern, indem sie vorhersehbare Entladungseigenschaften, stabile Photonenabgabe und eine verringerte, durch Verunreinigungen verursachte Degradation bietet. AGEMs Formulierung gewährleistet ein ausgewogenes Verhältnis von Krypton, Xenon und Neon, um sowohl eine stabile Excimer-Laser-Umgebung als auch eine vielseitige, hochreine Edelgas-Ressource für Kalibrieranwendungen bereitzustellen.

Wesentliche technische Vorteile

– Unkompromittierende Reinheit: Das Krypton-Kalibrierungsgas von AGEM erreicht eine Reinheit von 99,999 % durch mehrstufige Reinigung, Verunreinigungsabsorption und präzises Mischen. Dieses hochreine Edelgas minimiert Verunreinigungen, die die Dynamik von Excimer-Gasen beeinflussen oder Kalibrierergebnisse in analytischen Geräten verfälschen könnten.

– Präzise Zusammensetzungssteuerung: Jede Charge des Excimer-Laser-Gasgemisches unterzieht einer strengen Zusammensetzungsprüfung, um sicherzustellen, dass das Xe-Kr-Ne-Gemisch den vorgegebenen Verhältnissen entspricht. Eine präzise Zusammensetzung ist entscheidend für konsistente Excimer-Laser-Wellenlängen, stabile Ausgangsleistung und reproduzierbare Kalibrierstandards.

– Enge Rückverfolgbarkeit und Dokumentation: AGEM stellt zu jedem Zylinder umfassende Analysezertifikate und Rückverfolgbarkeitsdokumente bereit. Diese Rückverfolgbarkeit ist unverzichtbar für Labore und Produktionsstätten, die nachweisbare Konformität und reproduzierbare Leistung des Krypton-Kalibrierungsgases benötigen.

– Geringe Ausgasung und Kontaminationskontrolle: Die Zylinderhandhabung, Passivierung und Verpackung durch AGEM sind optimiert, um die Ausgasung zu reduzieren und die Integrität dieses hochreinen Edelgases während Lagerung und Einsatz zu bewahren.

– Kompatibilität und Anpassungsfähigkeit: Diese Excimer-Laser-Gasversorgung ist so formuliert, dass sie sich nahtlos in bestehende Laser-Schränke, Gasversorgungssysteme und Kalibrieranlagen integriert. Die Xe-Kr-Ne-Mischung fördert eine verbesserte Zündung und Stabilität der Entladung, was eine einfachere Integration sowie eine optimierte Systemlebensdauer ermöglicht.

Anwendungen und Anwendungsfälle

– Excimer-Laser und Photolithographie: Das Kalibriergasgemisch mit 99,999 % Krypton eignet sich ideal als Excimer-Laser-Gasversorgung für Anwendungen in der Photolithographie und Mikro-Bearbeitung. Die Xe-Kr-Ne-Mischung gewährleistet stabile Laservorgänge und konsistente Leistungsabgabe, die für hochauflösende Strukturierung und wiederholbare Fertigungsergebnisse erforderlich sind.

– Laserforschung und -entwicklung: Labore, die neuartige Excimer-Laserquellen entwickeln, profitieren von der Reproduzierbarkeit, die dieses hochreine Edelgas bietet. Das Krypton-Kalibrierungsgas unterstützt experimentelle Aufbauten, die eine präzise Kontrolle über Gaszusammensetzung und Entladungseigenschaften erfordern.

– Kalibrierlabore und analytische Instrumentierung: Als Krypton-Kalibrierungsgas dient das Xe-Kr-Ne-Gemisch als Gas-Kalibrierstandard und Referenzgasprotokoll für Massenspektrometrie, Gaschromatographie und optische Emissionssysteme. Seine dokumentierte Reinheit und Zusammensetzung machen es geeignet zur Kalibrierung empfindlicher analytischer Geräte.

– Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung: In der Halbleiterherstellung wird das Excimer-Lasergas für Materialbearbeitungsschritte eingesetzt, die eine exakte Energiedeposition und minimale Kontamination erfordern. Die hochreine Edelgasnatur dieses Gemisches senkt die Ausschussrate und verbessert die Prozessreproduzierbarkeit.

– Spezialfertigung und Messtechnik: Branchen, die präzise Gasgemische für die Dünnschichtabscheidung, Oberflächenbehandlung oder Messgeräte benötigen, können sich auf das Krypton-Kalibrierungsgas von AGEM für stabile Leistung und langfristige Konsistenz verlassen.

Innovation und F&E-Stärken

AGEMs Herkunft als AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS unterstreicht unermüdliche F&E- und Qualitätskontrollaktivitäten und ermöglicht innovative Ansätze beim Umgang mit Edelgasen sowie deren Formulierung. Der globale Serviceverbund des Unternehmens und dessen Forschungskapazitäten haben Verbesserungen bei der Versorgung mit Excimer-Lasergas vorangetrieben, darunter aktuelle Trends bei Xe-Kr-Ne-Gemischen der nächsten Generation, die auf eine verlängerte Laserlebensdauer, reduzierte, verunreinigungsbedingte Dunkelströme und eine überlegene Entladungshomogenität abzielen. AGEM investiert in analytische Messtechnik, Isotopenmanagementverfahren sowie fortschrittliche Zylinderreinigungsprozesse, um sicherzustellen, dass jedes Krypton-Kalibrierungsgas von AGEM nicht nur die Kundenanforderungen an hochreine Edelgasleistung erfüllt, sondern diese häufig sogar übertrifft.

Qualitätssicherung und Einhaltung der Vorschriften

Das Produktions- und Prüfprotokoll von AGEM für dieses Kalibriergas mit 99,999 % reinem Krypton umfasst strenge Dichtheitsprüfungen, Verunreinigungsanalysen mittels hochsensitiver Detektoren sowie eine Chargenzertifizierung. Die Versorgung mit Excimer-Lasergas wird in kontrollierten Umgebungen hergestellt, wobei dokumentierte Qualitätsmanagementsysteme zum Einsatz kommen. AGEM orientiert seine Gasverarbeitungs- und Kennzeichnungspraktiken an internationalen Standards und stellt Kunden Sicherheitsdaten sowie Handlungsanleitungen zur sicheren Handhabung zur Verfügung, um die Einhaltung branchenüblicher Vorschriften sowie einen sicheren Betrieb des Xe-Kr-Ne-Gemisches in unterschiedlichen Anwendungsbereichen zu gewährleisten.

Lieferkett Zuverlässigkeit und Kundenunterstützung

AGEMs globale Vertriebs- und regionale F&E-Präsenz gewährleisten eine zuverlässige Lieferung von Krypton-Kalibrierungsgas sowie umfassende technische Unterstützung. Kunden profitieren von AGEMs Fachwissen bei der Auswahl von Gasen, bei Integrationsstrategien für die Excimer-Laser-Gasversorgung sowie bei der Fehlerbehebung für anwendungsspezifische Herausforderungen. AGEMs Logistik- und Bestandsmanagement verringern das Risiko von Ausfallzeiten bei kritischen Fertigungsprozessen, während technische Ansprechpartner Kunden dabei unterstützen, Xe-Kr-Ne-Gemischtrends an sich wandelnde Prozessanforderungen anzupassen.

Warum AGEMs 99,999 % reines Krypton-Kalibrierungsgas wählen

– Bewährte Formulierung: Das Xe-Kr-Ne-Gemisch ist optimiert für Excimer-Laser-Gasversorgung und Kalibrierungsanwendungen und bietet wiederholbare Leistung in unterschiedlichen Umgebungen.

– Hohe Reinheitszuverlässigkeit: Strenge Reinigungs- und Prüfverfahren garantieren edelgasreine Leistung ohne Verunreinigungen – ideal für empfindliche Messgeräte und hochpräzise Prozesse.

- Dokumentierte Rückverfolgbarkeit: Umfassende Analysezertifikate und Qualitätsdokumentation unterstützen regulierte Arbeitsabläufe und reproduzierbare Ergebnisse.

- Fachkundige Unterstützung und globale Reichweite: Der forschungsorientierte Ansatz von AGEM sowie seine Servicefähigkeiten in mehreren Regionen ermöglichen schnelle technische Unterstützung und skalierbare Lieferlösungen.

Zusammenfassend bietet AGEMs Kalibriergas für Excimer-Laser mit 99,999 % reinem Krypton, einer Xe-Kr-Ne-Gasmischung, eine zuverlässige und leistungsstarke Krypton-Kalibrierlösung, die speziell auf die Gasversorgung für Excimer-Laser sowie auf Präzisionskalibrieranforderungen zugeschnitten ist. Die hochreine Edelgaszusammensetzung, präzise Fertigungskontrollen sowie AGEMs Engagement für Produktexzellenz machen diese Xe-Kr-Ne-Mischung zur bevorzugten Wahl für Anwender, die konsistente und gut dokumentierte Leistung in fortschrittlichen Photonikanwendungen, der Halbleiterfertigung und analytischen Laboren benötigen. AGEM verfolgt kontinuierlich Entwicklungen im Bereich Xe-Kr-Ne-Mischungen und optimiert sein Angebot an Excimer-Laser-Gasversorgungslösungen, um den sich wandelnden Anforderungen hochpräziser Industrien gerecht zu werden.