DUV-Lithographie-Lasergasgemische: ArF, 193 nm; KrF, 248 nm

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Über das Produkt

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Präzision der Nano-Skalen-Mischung: Wir verwenden fortschrittliche gravimetrische Abfüllverfahren und Massenstromregler (MFC), um Toleranzen bei den Gasgemischen von nur 1 % bis 2 % sicherzustellen. Dadurch wird eine konsistente Laserpulsenergie und Stabilität für die DUV-Lithographie gewährleistet. Patentierte Passivierungstechnologie: F₂ ist äußerst reaktiv.
Unsere Zylinder durchlaufen einen speziellen Passivierungsprozess der inneren Oberfläche, um eine stabile Fluoridschicht zu erzeugen, die verhindert, dass das Gemisch mit der Zylinderwand reagiert, und so eine lange Lagerfähigkeit (bis zu 12–24 Monate) gewährleistet.
Komponenten mit ultra-hoher Reinheit: Als Grundgase verwenden wir ausschließlich Neon und Krypton/Xenon der Reinheitsstufe 6N (99,9999 %), um Spurenverunreinigungen (O₂, H₂O, HF), die den Laser löschen oder optische Komponenten beschädigen könnten, auf ein Minimum zu reduzieren.
Fachkundige Sicherheitsverpackung: Versand in speziellen Hochdruck-Zylindern aus Nickellegierung oder behandelter Stahlbauart, ausgestattet mit DISS-Ventilen oder speziellen Ventilen für korrosive Medien, um während des internationalen Transports eine vollständige Dichtheit zu gewährleisten.

Über uns

AGEM wurde 2008 als multinationales, professionelles Unternehmen für die Herstellung und den Service von Gasgeräten mit Hauptsitz in Taiwan, China, gegründet. Mit 16 Jahren branchenspezifischer Expertise haben dessen globale Präsenz, herausragende Fertigungskompetenz sowie umfassendes Produktportfolio AGEM zu einem Referenzunternehmen im Bereich Gasgeräte gemacht. Das Unternehmen verfolgt eine Globalisierungsstrategie und betreibt moderne Produktionsstätten auf dem chinesischen Festland, in Taiwan, China, und in Indien; dadurch entstand ein Produktions- und Servicenetzwerk, das Asien abdeckt und weltweit ausgedehnt ist. Jede Produktionsstätte ist mit intelligenten Fertigungslinien und hochpräzisen Prüfeinrichtungen ausgestattet, was eine lückenlose Prozesskontrolle – von der Rohstoffverarbeitung bis zur Auslieferung des fertigen Produkts – ermöglicht. Mit einer jährlichen Produktionskapazität, die kontinuierlich zu den Branchenführern zählt, kann das Unternehmen rasch auf die vielfältigen Anforderungen seiner globalen Kunden reagieren. Das Kerngeschäft konzentriert sich auf gasbezogene Kernkomponenten und umfasst ein vollständiges Produktspektrum: verschiedene technische Gase, spezielle Gasventile, Hochdruckflaschen, leichte Aluminiumflaschen sowie hochpräzise Druckminderer. Diese Produkte finden breite Anwendung in kritischen Sektoren wie Chemie, Elektronik, Gesundheitswesen und Energie. Aufgrund tiefgreifender technischer Kompetenz erhielten die Produkte die ISO-9001-Zertifizierung für das Qualitätsmanagementsystem sowie mehrere maßgebliche internationale Zertifizierungen, darunter die ASME-Zertifizierung für Hochdruckausrüstung, die CE-PED-Zertifizierung für den Zugang zum EU-Markt sowie die IECEx-Zertifizierung für explosionsgeschützte Geräte für den weltweiten Einsatz. Schlüsselkenngrößen wie Dichtleistung, Druckfestigkeit und Sicherheitsschutz haben international führende Niveaus erreicht. Das Unternehmen stellt technologische Innovation konsequent in den Mittelpunkt seiner Kernwettbewerbsfähigkeit, beschäftigt ein internationales Forschungs- und Entwicklungsteam und investiert kontinuierlich in technologische Durchbrüche.

Häufig gestellte Fragen

Wie stellen Sie die Sicherheit und Druckfestigkeit Ihrer Zylinder sicher?

Unsere Zylinder werden aus hochwertigem nahtlosem legiertem Stahl unter strikter Einhaltung der ISO-9809-, DOT- und EN-Normen hergestellt. Jeder Zylinder durchläuft vor Verlassen des Werks eine hydrostatische Prüfung, eine Dichtheitsprüfung sowie eine Ultraschallinspektion, um absolute Sicherheit und Zuverlässigkeit unter Hochdruckbedingungen zu gewährleisten.

Welche Zertifikatsdokumente stellen Sie für die Zylinder bereit?

Sicherheit ist das Fundament unserer Produktion. Unsere Zylinder und zugehörigen Produkte sind vollständig nach wichtigen internationalen Normen zertifiziert, darunter ISO, GB, TPED und DOT.

Können wir die Zylinder zur Wiederbefüllung nach China zurücksenden?

Ja, selbstverständlich. Wir bieten einen umfassenden geschlossenen Wiederbefüllungsservice an. Sobald das Gas verbraucht ist, können Sie die leeren Zylinder an unser Werk zurücksenden. Wir übernehmen sämtliche Einfuhrzollabfertigungsverfahren sowie die anschließenden Operationen innerhalb Chinas. Sie müssen uns lediglich rechtzeitig informieren.

Sind die Zylinder innen speziell behandelt?

Für elektronische Spezialgase bieten wir eine innenseitige Wandschleif- und Trocknungsbehandlung an, um Feuchtigkeits- und Partikelkontamination zu vermeiden und so eine extrem hohe Reinheit des Gases während der Langzeitlagerung sicherzustellen.

Können Sie die Ventilanschlüsse an mein System anpassen?

Ja. Wir unterstützen verschiedene internationale Standardanschlüsse wie CGA, DISS, DIN oder JIS. Bitte teilen Sie uns Ihre spezifischen Anforderungen vor der Bestellung mit – wir wählen dann die passenden Armaturen für Sie aus.