Hochreines 6N-CF4-O2-Gasgemisch mit Wasserstoff- oder Argon-Balance für die Kalibrierung bei der Halbleiter-Plasmaätztechnik

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Über das Produkt

Hervorhebung

Diese ultrahochreine Kalibrierungsmischung mit einer Reinheit von 99,9999 % (6N) ist eine spezialisierte Prozessgas-Lösung, die gezielt für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiter-Plasmaätz- und fortschrittlichen Dünnfilmprozesse entwickelt wurde. Durch die präzise Mischung von Kohlenstofftetrafluorid (CF4) und Sauerstoff (O2) innerhalb einer ausgewogenen Matrix aus Wasserstoff (H2) und Argon (Ar) bietet diese Mischung die exakt erforderliche chemische Synergie, um die Ätzselektivität und die Profilanisotropie bei der Herstellung im Sub-Nanometer-Bereich zu steuern. Die 6N-Reinheitsstufe gewährleistet, dass Spurenmetallverunreinigungen und Feuchtigkeit praktisch nicht vorhanden sind, wodurch Waferkontamination vermieden und die Ausbeute an Bauelementen bei komplexen Architekturen wie 3D-NAND und FinFET deutlich erhöht wird. Die Zugabe von Argon liefert die erforderliche Ionenbombardierungsenergie für das physikalische Sputtern, während das Verhältnis von Wasserstoff zu Sauerstoff sorgfältig justiert ist, um die Polymerpassivierungsschichten einzustellen und so Gräben mit hohem Seitenverhältnis und perfekt vertikalen Flanken sicherzustellen. Jeder Zylinder wird mittels fortschrittlicher gravimetrischer Mischtechnik hergestellt und unterzieht sich einer proprietären internen Passivierung, um zu garantieren, dass diese reaktiven Komponenten stabil bleiben und ihre angegebene Konzentration über die Zeit nicht verändern. Geliefert mit einem umfassenden Analysezertifikat (CoA) und rückverfolgbar zu internationalen Standards, ist diese Mischung die ideale Wahl für F&E-Labore und Hochvolumen-Halbleiter-Fabriken, die absolute Konsistenz ihrer Plasma-Chemie benötigen. Diese „All-in-One“-ausgewogene Mischung vereinfacht Gasversorgungssysteme, indem sie die Anzahl der erforderlichen Einzelgasleitungen reduziert, wodurch potenzielle Leckstellen minimiert und der Kalibrierungsprozess für Massenstromregler (MFC) optimiert wird.

Über uns

AGEM wurde 2008 als multinationales, professionelles Unternehmen für die Herstellung und den Service von Gasgeräten mit Hauptsitz in Taiwan, China, gegründet. Mit 16 Jahren branchenspezifischer Expertise haben dessen globale Präsenz, herausragende Fertigungskompetenz sowie umfassendes Produktportfolio AGEM zu einem Referenzunternehmen im Bereich Gasgeräte gemacht. Das Unternehmen verfolgt eine Globalisierungsstrategie und betreibt moderne Produktionsstätten auf dem chinesischen Festland, in Taiwan, China, und in Indien; dadurch entstand ein Produktions- und Servicenetzwerk, das Asien abdeckt und weltweit ausgedehnt ist. Jede Produktionsstätte ist mit intelligenten Fertigungslinien und hochpräzisen Prüfeinrichtungen ausgestattet, was eine lückenlose Prozesskontrolle – von der Rohstoffverarbeitung bis zur Auslieferung des fertigen Produkts – ermöglicht. Mit einer jährlichen Produktionskapazität, die kontinuierlich zu den Branchenführern zählt, kann das Unternehmen rasch auf die vielfältigen Anforderungen seiner globalen Kunden reagieren. Das Kerngeschäft konzentriert sich auf gasbezogene Kernkomponenten und umfasst ein vollständiges Produktspektrum: verschiedene technische Gase, spezielle Gasventile, Hochdruckflaschen, leichte Aluminiumflaschen sowie hochpräzise Druckminderer. Diese Produkte finden breite Anwendung in kritischen Sektoren wie Chemie, Elektronik, Gesundheitswesen und Energie. Aufgrund tiefgreifender technischer Kompetenz erhielten die Produkte die ISO-9001-Zertifizierung für das Qualitätsmanagementsystem sowie mehrere maßgebliche internationale Zertifizierungen, darunter die ASME-Zertifizierung für Hochdruckausrüstung, die CE-PED-Zertifizierung für den Zugang zum EU-Markt sowie die IECEx-Zertifizierung für explosionsgeschützte Geräte für den weltweiten Einsatz. Schlüsselkenngrößen wie Dichtleistung, Druckfestigkeit und Sicherheitsschutz haben international führende Niveaus erreicht. Das Unternehmen stellt technologische Innovation konsequent in den Mittelpunkt seiner Kernwettbewerbsfähigkeit, beschäftigt ein internationales Forschungs- und Entwicklungsteam und investiert kontinuierlich in technologische Durchbrüche.

Häufig gestellte Fragen

Wie lange beträgt die Lieferzeit für kundenspezifische Gemische mit einer Reinheit von 99,9999 % (6N)?

Für Gase mit ultra-hoher Reinheit (UHP) wie CF4/O2 beträgt die typische Lieferzeit 10–15 Werktage. Dazu gehören präzises Mischen und mehrstufige Stabilitätsprüfungen, um die Reinheitsstufe 6N sowie die Konzentrationsgenauigkeit sicherzustellen.

Wie gewährleisten Sie die Genauigkeit der Konzentration im CF4/O2-Gemisch?

Wir verwenden während des Abfüllvorgangs das gravimetrische Verfahren (hochpräzises Wiegen), das genaueste Mischverfahren. Jeder Zylinder wird mittels Gaschromatographie (GC) analysiert und wird mit einem Analysezertifikat (COA) geliefert, das auf NIST- oder nationale Standards zurückführbar ist.

Ist dieses Gemisch stabil, obwohl es sowohl Wasserstoff (H2) als auch Sauerstoff (O2) enthält?

Ja. Wir befolgen strikt Sicherheitsrichtlinien für das Mischen: Die Konzentrationen brennbarer und oxidierender Komponenten werden innerhalb sicherer Grenzen gehalten oder durch Argon (Ar) ausgeglichen, um chemische Stabilität zu gewährleisten und gefährliche Reaktionen im Zylinder zu verhindern.

Welche Art von Zylinder und Ventil wird für dieses Halbleitergas verwendet?

Wir verwenden intern passivierte Zylinder aus Aluminiumlegierung oder polierte Zylinder aus Edelstahl, um Oberflächenadsorption zu verhindern. Für Gase der Reinheitsstufe 6N rüsten wir diese üblicherweise mit Ventilen des Typs DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 oder aus Edelstahl SS 316L aus, um eine vollständige Dichtheit und Kontamination zu gewährleisten.

Welche Lagerungsanforderungen gelten für dieses Gasgemisch?

Die Zylinder sind an einem kühlen, trockenen und gut belüfteten Ort aufzubewahren, fern von direkter Sonneneinstrahlung und Wärmequellen (Temperatur < 50 °C). Die Zylinder müssen stehend gesichert werden, um ein Umkippen zu verhindern.

Bieten Sie weltweiten Versand gefährlicher Gase an?

Ja, wir spezialisieren uns auf die Logistik von Gefahrgut der Klasse 2. Wir stellen sämtliche erforderliche Dokumentation bereit, darunter das Sicherheitsdatenblatt (MSDS), UN-zertifizierte Verpackung sowie Gefahrgut-Erklärungen (DG) für den Seeverkehr oder Luftfracht.