EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Medizinisches Excimer-Laser-Vorgemischgas | Kompatibel mit Alcon WaveLight, Schwind Amaris und Nidek | ArF, 193 nm, 20 L
- Überblick
- Anfrage
- Verwandte Produkte
Über das Produkt
Ausdruck
Nano-Skalige Mischpräzision: Wir nutzen fortschrittliche gravimetrische Fülltechnik und Massenstromregler (MFC), um Gasgemischtoleranzen von nur 1 % bis 2 % zu gewährleisten. Dadurch wird eine konstante Laserpulsenergie und -stabilität für die DUV-Lithographie sichergestellt.
Patentierte Passivierungstechnologie: F₂ ist äußerst reaktiv. Unsere Flaschen durchlaufen einen speziellen internen Oberflächenpassivierungsprozess, bei dem eine stabile Fluoridschicht erzeugt wird, um zu verhindern, dass das Gemisch mit der Flaschenwand reagiert, und um eine lange Lagerfähigkeit (bis zu 12–24 Monate) zu gewährleisten.
Komponenten mit ultra-hoher Reinheit: Als Grundgase verwenden wir ausschließlich Neon und Krypton/Xenon der Reinheitsstufe 6N (99,9999 %), um Spurenverunreinigungen (O₂, H₂O, HF) zu minimieren, die den Laser löschen oder optische Komponenten beschädigen könnten.
Fachkundige Sicherheitsverpackung: Versand in speziellen Hochdruckflaschen aus Nickellegierung oder behandelter Stahl, ausgestattet mit DISS- oder speziellen Ventilen für korrosive Medien, um Leckagen während des internationalen Transports vollständig auszuschließen.
Über uns
AGEM wurde 2008 als multinationales, professionelles Unternehmen für die Herstellung und den Service von Gasgeräten mit Hauptsitz in Taiwan, China, gegründet. Mit 16 Jahren branchenspezifischer Expertise haben dessen globale Präsenz, herausragende Fertigungskompetenz sowie umfassendes Produktportfolio AGEM zu einem Referenzunternehmen im Bereich Gasgeräte gemacht. Das Unternehmen verfolgt eine Globalisierungsstrategie und betreibt moderne Produktionsstätten auf dem chinesischen Festland, in Taiwan, China, und in Indien; dadurch entstand ein Produktions- und Servicenetzwerk, das Asien abdeckt und weltweit ausgedehnt ist. Jede Produktionsstätte ist mit intelligenten Fertigungslinien und hochpräzisen Prüfeinrichtungen ausgestattet, was eine lückenlose Prozesskontrolle – von der Rohstoffverarbeitung bis zur Auslieferung des fertigen Produkts – ermöglicht. Mit einer jährlichen Produktionskapazität, die kontinuierlich zu den Branchenführern zählt, kann das Unternehmen rasch auf die vielfältigen Anforderungen seiner globalen Kunden reagieren. Das Kerngeschäft konzentriert sich auf gasbezogene Kernkomponenten und umfasst ein vollständiges Produktspektrum: verschiedene technische Gase, spezielle Gasventile, Hochdruckflaschen, leichte Aluminiumflaschen sowie hochpräzise Druckminderer. Diese Produkte finden breite Anwendung in kritischen Sektoren wie Chemie, Elektronik, Gesundheitswesen und Energie. Aufgrund tiefgreifender technischer Kompetenz erhielten die Produkte die ISO-9001-Zertifizierung für das Qualitätsmanagementsystem sowie mehrere maßgebliche internationale Zertifizierungen, darunter die ASME-Zertifizierung für Hochdruckausrüstung, die CE-PED-Zertifizierung für den Zugang zum EU-Markt sowie die IECEx-Zertifizierung für explosionsgeschützte Geräte für den weltweiten Einsatz. Schlüsselkenngrößen wie Dichtleistung, Druckfestigkeit und Sicherheitsschutz haben international führende Niveaus erreicht. Das Unternehmen stellt technologische Innovation konsequent in den Mittelpunkt seiner Kernwettbewerbsfähigkeit, beschäftigt ein internationales Forschungs- und Entwicklungsteam und investiert kontinuierlich in technologische Durchbrüche.
Häufig gestellte Fragen
Können Sie spezifische Gemische für ASML-, Cymer- oder Gigaphoton-Geräte herstellen?
Ja. Wir können die genauen Molanteile (z. B. 5 % F₂ in Neon mit Spuren von Ar/Kr) individuell anpassen, um den spezifischen Anforderungen an „Vormischungen“ oder „Füllgase“ aller führenden Excimer-Laser-Hersteller zu entsprechen.
Wie garantieren Sie die Fluorkonzentration über die Zeit?
Durch unsere fortschrittlichen Passivierungs- und Feuchtigkeitsentfernungsverfahren garantieren wir, dass die F₂-Konzentration während der gesamten Lebensdauer des Zylinders stabil bleibt und so ein „Gasdrift“ verhindert wird, der zu einem Abfall der Laserleistung führen würde.
Welche Versandvorschriften gelten für diese Gemische?
Aufgrund des Fluorgehalts werden diese Gemische als UN 3306, Klasse 2.3 (giftig) sowie Zusatzrisiken Klasse 2.1 (entzündbar) oder 8 (korrosiv) eingestuft. Wir stellen vollständige, der IMO entsprechende Dokumentation sowie spezielle Gefahrgutverpackungen von unseren Standorten in Taiwan und China bereit.
Bieten Sie die Edelgase (Ne, Kr, Xe) als Einzelkomponenten für die Mischung vor Ort an?
Ja, wir können die einzelnen hochreinen Edelgase oder die vorgemischten „Halogen-“ und „Edelgas“-Gemische je nach Konfiguration des Gasfachs Ihres Lasersystems liefern.
