- Überblick
- Anfrage
- Verwandte Produkte



Produktname: |
Schwefelhexafluorid |
Reinheit: |
99.9-99.999% |
CAS-Nr. |
2551-62-4 |
EINECS Nr. |
219-854-2 |
MF: |
F6S |
Molare Masse |
2551-62-4.mol |
UN-Nr.: |
1080 |
Gefahrgutklasse |
2.2 |
Erscheinungsbild: |
farblos |
Geruch: |
farbloses Gas |
Prüfposten |
einheit |
Reinheit |
|
SF6 |
% |
≥99.999 |
≥99.99 |
O2+Ar |
ppmw |
≤2.0 |
≤10 |
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤30 |
H2O |
ppmw |
≤2.0 |
≤10 |
HF |
ppmw |
≤40 |
≤0.3 |
THC(CH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1.0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
Co |
ppmw |
≤0.5 |
≤2 |
Anwendungsbereich:
Halbleiter |
Plasmabearbeitung. Fluorplasma als Etchant/Zerfallsprodukt kann die Bearbeitung durchführen. |
||||||
Medizin |
Narkose, Operationen zur Befestigung der Netzhautablösung, Ultraschallbildgebung |
||||||
Elektrisches Gerät |
Hochspannungsschalter und gasisolierte Schaltanlagen |
||||||
Hochleistungsmikrowellsysteme |
Druckt die Wellenleiter, isoliert den Wellenleiter und verhindert internes Funkenschlagen |
||||||

Verpackungsgröße |
40Ltr Zylinder |
47Ltr Zylinder |
50-Liter-Zylinder |
||
Füllinhalt/Zyl |
50kg |
52 kg |
55-60kg |
||
MENGE in 20-Fuß-Container |
260Cyl |
260Cyl |
260Cyl |
||
Ventil |
CGA580, CGA590, QF-2C |
||||








EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ