Kaasuvarusteet

All

• Seokset

  • Excimer-laserikaasu/Arf Premix Gas

• Etchantit

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reaktorit

  • NO,Nitriksioksiidi
  • H2S
  • CO,Kahvihiilimonoksidi
  • NH3
  • HCL

• Hiilivetyhydrideja

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Kaasujen ja harvinaisten kaasujen varastointi

  • O2
  • CO2
  • Hydrogeeni
  • N2
  • Ksenon
  • Neoni
  • Krypton
  • Heeliumi
  • Argon
  • CL2

• Halogenaattorit

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Hilavikaasi

  • R290
  • R170
  • R508B

• Kaasulaitteisto

  • Pumpi
  • Sylinterirastas
  • Kaasukattilasto
  • Happo-regulari
  • VMB
  • ISO-Tankkaus
  • Sylinterin Katto
  • Venttiili
  • Alumiinipohjainen Sylinteri
  • Teräs-Sylinteri

• Muu Kemikaalit

  • Kermavihje
  • AlH3