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Nome del prodotto: |
Esafuoruro di zolfo |
Purità: |
99.9-99.999% |
Numero CAS |
2551-62-4 |
Numero EINECS |
219-854-2 |
SF: |
F6S |
Massa molare |
2551-62-4.mol |
N. ONU: |
1080 |
Classe di Pericolo |
2.2 |
Aspetto: |
incolore |
Odore: |
gas incolore |
Voce di ispezione |
unità |
Purezza |
|
SF6 |
% |
≥99,999 |
≥99,99 |
O2+Ar |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤10 |
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤ 30 |
H2O |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤10 |
Hf |
ppmw |
≤40 |
≤ 0,3 |
THC(CH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1.0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
Co |
ppmw |
≤0.5 |
≤2 |
Applicazione:
Semiconduttore |
Etching a plasma. L'agente etchante/prodotto di decomposizione del plasma di fluoruro può eseguire l'incisione |
||||||
Medicina |
Anestesia, interventi di riparazione del distacco della retina, imaging a ultrasuoni |
||||||
Attrezzature elettriche |
Interruttori ad alta tensione e impianti di commutazione isolati a gas |
||||||
Sistemi a microonde ad alta potenza |
Pressurizza i guideonde, isola la guidaonda, impedendo l'arcatura interna |

Dimensioni del Pacchetto |
cilindro da 40Ltr |
serbatoio da 47Ltr |
cilindro da 50Ltr |
||
Contenuto di riempimento/Cil |
50kg |
52 kg |
55-60kg |
||
QTA in contenitore da 20 piedi |
260Cyl |
260Cyl |
260Cyl |
||
Valvola |
CGA580, CGA590, QF-2C |







