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ホウ素三フッ化物 BF3 は、式が BF3 の無機化合物です。この刺激臭のある、無色で有毒なガスは湿った空気中で白い煙を発生します。それは有用なルイス酸であり、他の硼素化合物のための多才な構築要素です。
BF3ガスの応用、
- イオン注入におけるドーパントとして使用
- エピタキシャル成長シリコン用のp型ドーパント
- イオン化チャンバでの高感度中性子検出器や放射線レベルを監視する装置に使用
- 地球の大気中では
- ~に 燻蒸
- マグネシウムろう付のためのフラックスとして
- 二硼化水素の製造に使用
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