高純度 99.999% C116 ヘキサフルオロエタン C2F6 ガス

パッケージサイズ	40Ltr シリンダー	500リットルシリンダー
充填内容物／シリンダー	42kgs	520キロ
20フィートコンテナに積載された数量	170シリンダー	15シリンダー
総容量	7.14トン	7.8トン
ヘキサフルオロエタン用バルブ	QF-2

問い合わせ

概要
問い合わせ
関連製品

純度99.999%のC116ヘキサフルオロエタンC2F6ガスは、トップクラスの製品であり、業界の最高基準を満たすように非常に慎重に作られています。この高純度の優れた燃料には、性能や安全性を損なう可能性のある不純物や汚染物が一切含まれていません。
純度99.999%のC116ヘキサフルオロエタンC2F6ガスの主要な特長の一つは、その卓越した安定性です。このガスはさまざまな条件や圧力においてもその特性を維持することができ、他のガスとは異なり、精度と正確さが重要な厳しい応用分野に適しています。
このガソリンは、安全性と純度の点で非常に-versatileです。それは多くの目的に使用することができ、冷媒、溶剤、推進剤としてなどがあります。その独特の特性により、半導体産業で特に適しており、電子機器やマイクロチップの製造に広く使用されています。
この製品の最大の特長の一つは、環境への影響が最小限であり、他のガスと比べてよりエコフレンドリーであることです。これは、多くの用途に適した毒性物質を少ない含量で含んでいることを意味します。
満足度と信頼性に関して、AGEMは単に業界で信頼されるタイトルです。私たちは製品とサービスが最高の品質と安全性基準を満たすように細心の注意を払っています。そのため、最先端の設備と最新技術を使用してガスを製造しています。私たちの卓越性への献身により、99.999%高純度C116ヘキサフルオロエタンC2F6ガスが期待する満足感と基準を提供できることをお約束します。

仕様

ヘキサフルオロエタンは、エタンという炭化水素の完全フッ素置換体です。これは非燃性のガスで、わずかに溶媒に溶けます。
水にはほとんど溶けず、アルコールには若干溶けます。非常に強力で長期間存続する温室効果ガスです。
物理的特性[編集]
ヘキサフルオロエタンの固体相には2つの多形体があります。科学文献では異なる相転移温度が報告されています。
最新の研究ではその温度は103 K（−170 °C）とされています。103 K以下では構造が若干無秩序となり、相転移を超えて
点において、体心立方構造を持っています。[1] 臨界点は19.89 °C (293.04 K) および30.39 barです。[2]
密度表：
状態、温度密度 (kg.m−3)液体、-78.2 °C16.08気体、-78.2 °C8.86気体、15 °C5.84気体、20.1 °C5.716気体、24 °C5.734蒸気
密度は4.823 (空気 = 1)、21 °Cにおける比容積は4.773 (空気 = 1)で、21 °Cにおける比体積は0.1748 m3/kgです。
用途[編集]
ヘキサフルオロエタンは、半導体製造における多目的エッチング剤として使用されます。金属
シリシドや酸化物の選択的エッチングに使用され、それらの金属基板に対して、またシリコン二酸化物のエッチングにも使用されます。一次アルミニウムと
半導体製造産業が、ホール・エルーラー法プロセスを使用して、ヘキサフルオロエタンを主に放出しています。
トリフルオロメタンと共に、冷媒R508A (61%) とR508B (54%) に使用されます。
網膜再付着手術後の補助として、硝子体手術後に用いられます。[3]
環境への影響[編集]

さまざまな緯度でのヘキサフルオロエタンの時間変化。

C-F結合の高いエネルギーのために、ヘキサフルオロエタンはほぼ不活性であり、非常に安定した温室効果ガスとして作用し、
大気中での寿命は1万年（他の資料によると500年）です。[4] その地球温暖化係数 (GWP) は9200で、オゾン層破壊係数 (ODP) は0です。ヘキサフルオロエタンはIPCCの温室効果ガスリストに含まれています。
オゾン層破壊係数 (ODP) は0です。ヘキサフルオロエタンはIPCCの温室効果ガスリストに含まれています。
工業規模の製造が行われる前には、環境中にヘキサフルオロエタンは有意な量では存在していませんでした。大気中の
ヘキサフルオロエタンの濃度は21世紀の初めに3 pptvに達しました。[5] この物質の赤外線領域における吸収帯は、放射強制力が約0.001 W/m2を引き起こします。
このスペクトルの部分は、放射強制力が約0.001 W/m2を引き起こします。
健康へのリスク[編集]
その高い相対密度により、低い場所に集積し、高濃度になると窒息を引き起こす可能性があります。その他
健康への影響はテトラフルオロメタンと似ています。

High Purity 99.999% C116 Hexafluoroethane C2F6 Gas manufacture

グレード 5.0 FC1160 ヘキサフルオロエタン C2F6 ガス

C2F6、別名ハロカーボン116は、半導体およびMEMSエッチングアプリケーションおよびMEMS用の最高純度の製品です。
チャンバクリーニングアプリケーション向けです。ハロカーボン116は無色、無臭の液化ガスです。

製品名	高純度 99.999% C116 ヘキサフルオロエタン C2F6 ガス	純度	99.9~99.999%
CAS No	76-16-4	EINECS番号	200-939-8
MF	C2F6	モル質量	76-16-4.mol
ではない	2193	危険物クラス	2.2
外観	無色、非燃性	臭気	臭いがなく

検査項目	ユニット	要件	検査結果
製品外観	/	透明で無色	透明で無色
製品のにおい	/	臭いがなく	臭いがなく
純度、％、≧	メートル毎（m/m）	99.9	99.99
水分、％、≦	メートル毎（m/m）	0.001	0.0004
酸度（HCLとして）、≦	メートル毎（m/m）	0.0001	<0.00001<>
蒸発残渣、％、≦	メートル毎（m/m）	0.01	0.001

適用

使用法	ヘキサフルオロエタンの典型的な用途
半導体およびマイクロエレクトロニクス	プラズマタイミングガス、デバイス表面クリーニング剤として使用
冷凍	繊維生産および低温冷凍用冷媒

梱包と配送

パッケージサイズ	40Ltr シリンダー	500リットルシリンダー
充填内容物／シリンダー	42kgs	520キロ
20フィートコンテナに積載された数量	170シリンダー	15シリンダー
総容量	7.14トン	7.8トン
ヘキサフルオロエタン用バルブ	QF-2