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電子用高純度ガスモノフルオロメタン 99.999% FC41 UN 2454 ハロカーボン 41 メチルフロライド CH3F

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電子用高純度ガスモノフルオロメタン 99.999% FC41 UN 2454 ハロカーボン 41 メチルフロライド CH3F

AGEM 半導体チップの製造プロセスで使用される高純度のモノフルオロメタンガス（CH3F）を生産および販売しています。

フルオロメタン、 別名メチルフッ化物、フレオン41、ハロカーボン41、HFC-41は、標準温度と圧力において無毒で液化可能なガスです。これは炭素、水素、およびフッ素で構成されています。その名前は、これがメタン（CH4）に一つの水素原子がフッ素原子で置き換えられたものであることに由来します。これはプラズマエッチングリアクターでのエッチングガスとして半導体製造プロセスで使用されます。

フルオロメタン、 より一般的にはメチルフッ化物（MeF）またはハロカーボン41と呼ばれ、無毒で液化可能なガスであり、半導体や電子部品の製造に使用されます。RFフィールドの存在下では、シリコン化合物フィルムの選択的エッチングのためにフッ素イオンに分解されます。

応用 :CH3F は、半導体チップの製造プロセスでエッチングによって窒化物膜をマイクロマシニングするために使用される専用ガスです。CH3Fは主に、NANDフラッシュやDRAMなどのマイクロマシニング技術が必要な半導体メモリチップの製造に使用されます。そのエッチング選択性は他のガスよりも高いため、CH3Fは3D NANDフラッシュの多層構造のマイクロマシニングに適しています。近年、多くのラインで3D NANDフラッシュの生産が開始されたことにより、CH3Fの需要が増加しています。