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六フッ化硫黄(SF6)ガス 99999純度 40L 売り
製品名 : |
六フッ化硫黄 |
純度: |
99.9-99.999% |
CAS番号: |
2551-62-4 |
EINECS NO.: |
219-854-2 |
MF: |
F6S |
モル質量: |
2551-62-4.mol |
国連番号: |
1080 |
危険物クラス : |
2.2 |
外観: |
無色 |
臭い: |
無色ガス |
六氟化硫ガス SF6 の分析証明書(COA):
検査項目 |
ユニット |
純度 |
||
SF6 |
% |
≥99.999 |
≥99.99 |
|
O2+Ar |
ppmw |
≤2.0 |
≤10 |
|
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
|
CF4 |
ppmv |
≤0.5 |
≤30 |
|
H2O |
ppmv |
≤2.0 |
≤10 |
|
Hf |
ppmv |
≤0.1 |
≤0.3 |
|
THC(CH4) |
ppmv |
≤0.1 |
≤1.0 |
|
CO2 |
ppmv |
≤0.5 |
≤6 |
|
コー |
ppmv |
≤0.5 |
≤2 |

半導体 |
プラズマエッチング。フッ素プラズマのエッチング剤/分解生成物はエッチングを実行できます。 |
薬 |
麻酔、網膜剥離修復手術、超音波画像診断 |
電気機器 |
高電圧サーキットブレーカーおよびガス絶縁スイッチギア |
高出力マイクロ波システム |
波導管を加圧し、波導管を絶縁して内部のアーク放電を防止する |

パッケージサイズ |
40Ltr シリンダー |
47Ltr シリンダー |
50Lシリンダー |
||
充填内容物/シリンダー |
50kg |
52kg |
55-60kg |
||
20フィートコンテナ内の数量 |
260 |
260 |
260 |
||
バルブ |
CGA580, CGA590, QF-2C |






