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DUVリソグラフィ用レーザー混合ガス：ArF（193nm）、KrF（248nm）用レーザー混合ガス

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ナノスケールレベルでの高精度ブレンド技術：当社では、高度な重量法充填および質量流量制御装置（MFC）を採用し、ガス混合比率の許容誤差を1～2％という極めて狭い範囲に制御しています。これにより、深紫外（DUV）リソグラフィにおけるレーザーパルスエネルギーおよび出力の安定性が確保されます。独自のパッシベーション技術：F₂は極めて反応性の高い気体です。
当社のシリンダーは、専用の内面パッシベーション処理を施し、安定したフッ化物層を形成することで、混合ガスがシリンダー内壁と反応することを防止し、長期的な保存性（最大12～24か月）を確保しています。
超高純度成分：レーザーの消光や光学部品の損傷を引き起こす可能性のある不純物（O₂、H₂O、HF）を最小限に抑えるため、基底ガスとして6N（99.9999％）のネオンおよびクリプトン／キセノンのみを使用しています。
専門的な安全包装：DISS仕様または特殊腐食対応バルブを装備した、特殊高圧ニッケル合金製または処理済み鋼製シリンダーにて出荷し、国際輸送中の完全な漏れ防止を実現しています。

当社について

AGEMは2008年に中国台湾を本拠地とするガス機器の多国籍専門メーカーおよびサービスプロバイダーとして設立されました。業界における16年にわたる専門的知見を基盤に、グローバルな事業展開、卓越した製造技術、そして包括的な製品ポートフォリオを有しており、ガス機器分野におけるベンチマーク企業としての地位を確立しています。同社はグローバル化戦略を堅持し、中国本土、中国台湾、インドに近代化された生産拠点を設置し、アジア全域をカバーし、さらに世界へと広がる生産・サービスネットワークを構築しています。各拠点にはスマート生産ラインおよび高精度試験設備が整備されており、原材料加工から完成品出荷に至るまでの全工程を一貫して管理・制御しています。年間生産能力は業界トップクラスを維持しており、グローバルな顧客の多様なニーズに迅速かつ柔軟に対応可能です。主力事業はガス関連コア機器であり、各種産業用ガス、特殊用途ガスバルブ、高圧シリンダー、軽量アルミニウムシリンダー、高精度減圧弁など、幅広い製品ラインナップを展開しています。これらの製品は、化学、電子、医療、エネルギーといった重要分野で広く採用されています。同社は豊かな技術的専門性を活かし、ISO9001品質マネジメントシステム認証およびASME高圧機器認証、EU市場向けCE-PED認証、グローバル適用のIECEx防爆認証など、複数の権威ある国際認証を取得しています。密封性能、耐圧性能、安全保護性能などの主要性能指標は、国際的に先進的な水準に達しています。同社は一貫して技術革新をコア競争力と位置付け、国際的なR&Dチームを編成し、継続的な技術的ブレイクスルーへの投資を推進しています。