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シリンダー種別： 2.2L、40L、47L、50L、118L、926L、ISOタンク
適用分野：
ポリシリコンの製造
エピタキシャル成長
シランの合成
シランの合成
- 概要
- お問い合わせ
- 関連製品
製品の説明
SiHCl3 ガス
トリクロロシラン（HSiCl3）は、無色で揮発性の液体であり、刺激臭を有します。水および湿った空気と非常に反応性が高く、…
水および湿った空気と反応し、塩化水素ガスを放出します。トリクロロシランは、半導体産業および太陽光発電産業向けの高純度シリコン製造に主に使用されます。ポリシリコンおよび各種オルガノシリコン化合物の製造における重要な中間体です。
トリクロロシランガス／SiHCl3ガス
応用分野
ポリシリコンの製造
これが主な用途です。精製および化学反応を経て、高純度ポリシリコンを製造し、太陽電池および半導体チップの製造に不可欠な基盤材料として用いられます。
エピタキシャル成長
半導体製造において、シリコン源ガスとして用いられ、ウェーハ表面に高品質な単結晶シリコン膜（エピタキシャル層）を成長させることで、デバイス性能を向上させます。
シランの合成
より高純度のシラン（SiH₄）ガスを合成する際の重要な中間体であり、このシランガスもまた、半導体および太陽光発電産業で広く使用されています。
仕様
MOQ： 1個
シリンダー種別： 2.2L、40L、47L、50L、118L、926L、ISOタンク
シリンダー種別： 2.2L、40L、47L、50L、118L、926L、ISOタンク
お客様への当社の約束：
1. 高品質かつ安全なガスシリンダー
2. 市場最安値
3. 迅速な納期（3～4週間）
2. 市場最安値
3. 迅速な納期（3～4週間）
主な製品：
1. ガス製品：超高純度（UHP）酸素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス、一酸化炭素（CO）、メタンガス、アセチレン、液体酸素（LO₂）、液体窒素（LN₂）、液体二酸化炭素（LCO₂）など
2. あらゆる種類の高圧ガスシリンダーおよび溶接式ガスシリンダー：
酸素シリンダー（GB 5099／ISO 9809-3／DOT／EN規格シリンダー）
3. 液体窒素容器：2L～50Lの各種液体窒素容器
4. 低温液体デワーチャンク：容量175L、195L、210L、495L
5. 液体貯蔵タンク：5M³、10M³、20M³、30M³、50M³、100M³、200M³など
6. ガス機器：気化器、マニホールド、ガス充填ポンプなど
2. あらゆる種類の高圧ガスシリンダーおよび溶接式ガスシリンダー：
酸素シリンダー（GB 5099／ISO 9809-3／DOT／EN規格シリンダー）
3. 液体窒素容器：2L～50Lの各種液体窒素容器
4. 低温液体デワーチャンク：容量175L、195L、210L、495L
5. 液体貯蔵タンク：5M³、10M³、20M³、30M³、50M³、100M³、200M³など
6. ガス機器：気化器、マニホールド、ガス充填ポンプなど
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