EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- 概要
- お問い合わせ
- 関連製品
製品について
強調する
ナノスケール混合精度：当社では、先進的な重量式充填装置および質量流量制御器（MFC）を用いて、ガス混合物の許容誤差を1～2％という極めて狭い範囲に制御しています。これにより、DUVリソグラフィにおけるレーザー光パルスエネルギーおよびその安定性が一貫して確保されます。
独自の不活性化技術：F₂は極めて反応性の高いガスです。当社のシリンダーには、内面に安定したフッ化物層を形成する特殊な表面不活性化処理が施されており、ガス混合物がシリンダー内壁と反応することを防止し、長期保存性（最大12～24か月）を実現します。
超高純度原料ガス：レーザーの消光や光学部品の損傷を引き起こす微量不純物（O₂、H₂O、HF）を最小限に抑えるため、ベースガスとしてネオンおよびクリプトン／キセノンを6N（99.9999％）純度で使用しています。
専門的な安全包装：DISS仕様または腐食性ガス対応の特殊バルブを装備した、高圧用ニッケル合金製または処理済み鋼製専用シリンダーにて出荷しており、国際輸送中の完全な漏洩防止を保証します。
当社について
AGEMは2008年に中国台湾を本拠地とするガス機器の多国籍専門メーカーおよびサービスプロバイダーとして設立されました。業界における16年にわたる専門的知見を基盤に、グローバルな事業展開、卓越した製造技術、そして包括的な製品ポートフォリオを有しており、ガス機器分野におけるベンチマーク企業としての地位を確立しています。同社はグローバル化戦略を堅持し、中国本土、中国台湾、インドに近代化された生産拠点を設置し、アジア全域をカバーし、さらに世界へと広がる生産・サービスネットワークを構築しています。各拠点にはスマート生産ラインおよび高精度試験設備が整備されており、原材料加工から完成品出荷に至るまでの全工程を一貫して管理・制御しています。年間生産能力は業界トップクラスを維持しており、グローバルな顧客の多様なニーズに迅速かつ柔軟に対応可能です。主力事業はガス関連コア機器であり、各種産業用ガス、特殊用途ガスバルブ、高圧シリンダー、軽量アルミニウムシリンダー、高精度減圧弁など、幅広い製品ラインナップを展開しています。これらの製品は、化学、電子、医療、エネルギーといった重要分野で広く採用されています。同社は豊かな技術的専門性を活かし、ISO9001品質マネジメントシステム認証およびASME高圧機器認証、EU市場向けCE-PED認証、グローバル適用のIECEx防爆認証など、複数の権威ある国際認証を取得しています。密封性能、耐圧性能、安全保護性能などの主要性能指標は、国際的に先進的な水準に達しています。同社は一貫して技術革新をコア競争力と位置付け、国際的なR&Dチームを編成し、継続的な技術的ブレイクスルーへの投資を推進しています。
よくある質問
ASML、Cymer、またはGigaphotonの装置向けに特定の混合ガスを製造できますか？
はい。当社では、主要なエキシマレーザー各メーカーが要求する「事前混合ガス（pre-mix）」または「充填ガス（fill-gas）」仕様に完全に適合するよう、正確なモル比（例：ネオン中5％F₂、微量のアルゴン／クリプトン添加）をカスタマイズできます。
フッ素（F₂）濃度を時間経過とともにどのように保証しますか？
当社独自の高度なパッシベーション処理および水分除去技術により、シリンダーの使用期間中におけるF₂濃度の安定性を保証しており、「ガスドリフト（gas drift）」によるレーザ出力低下を防止します。
これらの混合ガスの輸送に関する規制はどのようになっていますか？
フッ素を含むため、これらはUN 3306、第2類（2.3：有毒物質）＋2.1（可燃性ガス）または8（腐食性物質）の副危険性を有する危険物に分類されます。当社は、台湾および中国のハブ拠点からIMO準拠の完全な危険物輸送書類および専用の危険物（DG）包装を提供します。
希ガス（Ne、Kr、Xe）を現地混合用の個別成分としてご提供していますか？
はい、お客様のレーザーシステムのガスキャビネット構成に応じて、個別の高純度希ガス、または事前にブレンドされた「ハロゲン」と「希ガス」の混合ガスをご提供できます。
