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실리콘 테트라플루오라이드는 무색, 부식성, 불연성, 독성 가스입니다. 이는 매우 자극적인 냄새가 있으며 염화수소와 유사하며 흡입 시 치명적일 수 있습니다. 이 화합물은 네 개의 플루오라이드 팔을 가진 실리콘 기반이 있습니다.
자연계에서 SiF4는 일부 화산 분출 기체의 주요 가스입니다. 실리콘 테트라플루오라이드는 실리콘 할라이드를 환원하거나 융해된 규석의 전기분해 또는 300°C 이상에서 바륨헥사플루오로실리케이트를 가열하여 생성될 수 있습니다. 또한, 실리콘 테트라플루오라이드는 비료 생산의 부산물입니다.
