엑시머 레이저 가스/Arf 프리믹스 가스

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• 혼합 가스

  • 엑시머 레이저 가스/Arf 프리믹스 가스

• 에칭제

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• 반응물

  • 일산화질소
  • H2S
  • 일산화탄소
  • 암모니아
  • 염화수소

• 탄화수소

  • 에틸렌
  • 프로판
  • 메탄
  • 에탄
  • 프로필렌
  • 에틸렌
  • EO/ETO

• Bulk & Rare Gases

  • O2
  • 이산화탄소
  • 수소
  • N2
  • 제논
  • 네온
  • 크립톤
  • 헬륨
  • 아르곤
  • CL2

• 할로카본

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• 냉매 가스

  • R290
  • R170
  • R508B

• 가스 장비

  • 펌프
  • 시린더 랙
  • 가스 캐비닛
  • 산소 조절기
  • VMB
  • ISO 탱크
  • 실린더 캡
  • 밸브
  • 알루미늄 실린더
  • 스틸 실린더

• 기타 화학물질

  • 크림 충전기
  • AlH3