고순도 99.999% 전자 등급 반도체용 C4F6 가스 옥타플루오로사이클로부탄 가스

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산화물 기반 재료의 건식 에칭 압축액화가스 퍼플루오로 2 부테인 H 2316 퍼플루오로2부테인 C4F6

헥사플루오로1,3-부타디엔은 독성, 무색, 무취, 가연성 액화 압축 가스입니다.

수년간의 연구는 C4F6 (H-2316)이 산화물 기반 재료의 드라이 에칭에 있어 여러 가지 이점을 제공함을 보여주었습니다:

이는 실리콘 산화물 에칭에 널리 사용되는 옥타플루오로시클로부탄 (c-C4F8 - H318)보다 더 높은 에칭 속도와 선택성을 가지고 있습니다. C4F8 (H318)과 달리 C4F6 (H2316)에서는 디일렉트릭 기판만 에칭됩니다. 에칭된 구조체는 더 높은 종횡비를 가지며, 이는 c-C4F8에 비해 더 좁은 트렌치를 생성합니다. 휘발성 유기 화합물(VOC) 배출량이 줄어듭니다: 대기 중에서 수명이 훨씬 짧아 C4F6 (H2316)는 낮은 전구 온실 효과를 가지고 있습니다.

적용 분야:

다음 세대의 코어 소재는 LSI 생산 공정에서 회로 라인 폭과 깊이를 최소화하기 위해 필요합니다. 건식 에칭 가스는 마이크로 접촉 구멍의 에칭 공정에 사용됩니다. CxFy 화학식을 기반으로 하는 특수 가스의 경우 F/C 값이 작을수록 더 많은 CF2 그룹이 생성됩니다. C2F6 및 C3F8에 비해 C4F6은 더 작은 F/C 비율을 가지고 있으며 더 많은 CF2 그룹을 생성하여 산화물 막을 더 많이 에칭합니다. 따라서 C4F6은 산화물 막에 대해 더 높은 선택성을 가지며 보다 균일한 에칭을 가능하게 합니다.