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제품 이름 : |
프로판 |
순수성: |
99.9% |
CAS 번호 |
74-98-6 |
EINECS 번호 |
200-827-9 |
분자식: |
C3H8 |
몰 질량 |
74-98-6.mol |
유엔 번호: |
1978 |
위험 등급 |
2.1 |
검사 |
uNIT |
순수성 |
||||
프로판 |
% |
99.5 |
99.95 |
99.99 |
||
산소 |
ppmv |
≤ 100 |
≤ 10 |
≤2 |
||
질소 |
ppmv |
≤ 400 |
≤ 30 |
≤10 |
||
CO2 |
ppmv |
≤ 100 |
≤10 |
≤2 |
||
프로필렌 |
ppmv |
≤ 400 |
≤50 |
≤10 |
||
다른 |
ppmv |
≤ 4000 |
≤400 |
≤ 80 |
||
물 |
ppmv |
≤5 |
≤5 |
≤3 |


실린더 |
DOT/50 L |
DOT\/47L |
40리터 |
10L |
4L |
||||
밸브 |
CGA 510 /DISS W22.5-14L/BS431 NO.4/DIN 477 NO.1 |


사용 |
전형적인 응용 |
|||||||
석유 화학 및 환경 모니터링을 위한 교정 가스 생산의 구성 요소입니다. |
||||||||
1. |
추출제, 용매 및 추진제로 사용됩니다. |
|||||||
2. |
원자 방출 분광계의 연료로 사용됩니다. |





AGEM의 C3H8 가스 교정 가스 공장은 99.999% (995)의 순도로 다양한 절차인 에칭, 에피택시 및 CVD에 적합한 고순도를 제공합니다. 이 가스 교정 가스 공장의 사용은 장비의 정확성과 신뢰성을 보장하며, 이를 실험실, 연구 센터 및 상업 설치에서 사용하기에 이상적입니다.
특히 교정, 고급 품질 관리 요청 및 명령을 위해 설계되었습니다. 세부 사항에 대한 주의 깊은 제조로 일관된 결과와 정확한 성과를 제공합니다. 99.999%의 순도로, 이 프로판 제품이 장비에 필요한 정밀한 교정을 제공할 수 있습니다.
주요 용도 중 하나는 에칭 공정에서의 사용입니다. 프로판은 일반적으로 반도체 처리, MEMS 칩 제작 및 장치에 사용되는 플라즈마 에칭 요청에 사용됩니다. 프로판의 높은 순도는 이러한 요청에서 요구되는 정밀도와 균일성을 달성하는 데 중요합니다.
CVD(화학 기상 성장) 및 에피택시는 AGEM의 C3H8 가스 교정 가스 공장이 일반적으로 사용되는 다른 두 가지 공정입니다. 프로판은 이 처리에서 전구체로서 탁월하게 사용되어 기판에 얇은 막을 형성합니다. 이 가스 교정 제품은 막이 고르고 높은 품질의 깊이와 피복을 유지하도록 보장하는 데 필수적입니다.
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