고순도 99.999% 10L/8L C4F6 헥사플루오로부타디엔 가스 공급(첨단 기술 응용 및 전자 제조용)

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제품에 대해

강조

반도체 제조용 전자 등급 순도: 당사의 C4F6는 최대 5N(99.999%)의 초고순도 등급으로 공급되며, 산소(O₂), 수분(H₂O), 탄화수소 등 불순물 함량이 극히 낮아 고급 반도체 소자 제작에 필수적인 우수한 플라즈마 안정성, 일관된 에칭 성능 및 높은 공정 재현성을 보장합니다. 고급 플라즈마 에칭 응용 분야에 최적화됨: C4F6는 유전체 에칭, 산화막 에칭, 저-k 재료 패터닝, 임계 치수(CD) 제어 등 고정밀 플라즈마 에칭 공정을 위해 특별히 설계되었으며, 기존의 불소탄소계 가스(CF₄, C₂F₆, C₃F₈ 등) 대비 뛰어난 선택비, 이방성 에칭 능력 및 향상된 프로파일 정확도를 제공하므로 고급 로직, 메모리, MEMS 제조에 이상적입니다. 낮은 지구온난화지수(GWP) 대체 가스: 기존의 과불화탄소(PFC) 계열 가스와 비교하여 C4F6는 더 높은 에칭 효율, 낮은 가스 소비량, 그리고 감소된 환경 영향을 제공함으로써 반도체 제조사가 높은 생산 성능과 수율을 유지하면서도 지속가능성 목표를 달성할 수 있도록 지원합니다. 엄격한 불순물 및 수분 관리: 당사는 첨단 가스 정제 시스템, 정밀 분석 장비, 엄격한 품질 관리 절차를 통해 수분(H₂O) ≤ 1 ppm, 산소(O₂) ≤ 1 ppm, 총 탄화수소 ≤ 1 ppm을 확보하여 웨이퍼 오염, 플라즈마 불안정성, 공정 결함을 효과적으로 방지하고, 일관되고 신뢰성 높은 반도체 공정 성능을 보장합니다. 반도체 등급 표면 처리 인증 실린더: 당사의 C4F6는 ISO 9809, DOT 3AA, TPED EN 표준을 준수하여 제조된 표준 47L 및 10L 크기, 또는 맞춤형 크기의 실린더에 공급되며, 내부 전해 연마 및 패시베이션 처리 옵션을 통해 입자 발생을 최소화하고, 가스 오염을 방지하며, 저장 및 사용 중 초고순도 가스 품질을 유지합니다.

회사 소개

AGEM은 2008년에 중국 대만을 본사로 두고 설립된 다국적 전문 가스 장비 제조업체이자 서비스 제공업체입니다. 16년간의 전문 산업 경험을 바탕으로, AGEM은 글로벌 진출 역량, 뛰어난 제조 기술 및 포괄적인 제품 포트폴리오를 통해 가스 장비 분야의 벤치마크 기업으로서의 위상을 확고히 다졌습니다. 회사는 글로벌화 전략을 지속적으로 추진하며, 중국 본토, 중국 대만, 인도에 현대화된 생산 기지를 구축하여 아시아를 중심으로 전 세계로 확장되는 생산 및 서비스 네트워크를 형성하였습니다. 각 기지에는 지능형 생산 라인과 정밀 검사 장비가 갖춰져 있어 원자재 가공부터 완제품 납품에 이르기까지 전 공정에 걸친 철저한 품질 관리를 실현합니다. 연간 생산 능력이 꾸준히 업계 최상위 수준을 유지함에 따라, 회사는 글로벌 고객의 다양한 요구에 신속하고 유연하게 대응할 수 있습니다. 핵심 사업 분야는 가스 관련 핵심 장비로, 산업용 가스, 특수 가스 밸브, 고압 실린더, 경량 알루미늄 실린더, 고정밀 압력 조절기 등 전 범위의 제품을 포괄합니다. 이러한 제품들은 화학, 전자, 의료, 에너지 등 핵심 산업 분야에 광범위하게 적용되고 있습니다. 깊이 있는 기술 역량을 바탕으로, 해당 제품들은 ISO 9001 품질 경영 시스템 인증을 비롯해 고압 장비에 대한 ASME 인증, EU 시장 진출을 위한 CE-PED 인증, 전 세계 적용을 위한 IECEx 방폭 인증 등 다수의 권위 있는 국제 인증을 획득하였습니다. 밀봉 성능, 내압 성능, 안전 보호 성능 등 주요 성능 지표는 국제적으로 선진 수준을 달성하였습니다. 회사는 기술 혁신을 핵심 경쟁력을 지속적으로 강화하는 데 주력하며, 국제적 수준의 R&D 팀을 구성하고 기술적 돌파를 위한 지속적인 투자를 이어가고 있습니다.