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- 개요
- 문의
- 관련 제품
제품 설명
순도 99.99% 99.999% 황화육불소 SF6 가스
제품명: |
황화육불소 |
순수성: |
99.9-99.999% |
CAS 번호 |
2551-62-4 |
EINECS 번호 |
219-854-2 |
분자식: |
F6S |
몰 질량 |
2551-62-4.mol |
유엔 번호: |
1080 |
위험 등급 |
2.2 |
외관: |
무색의 |
냄새: |
무색 가스 |
SF6 황화물의 규격서(COA)는 모든 지수가 맞춤형입니다:
검사 항목 |
uNIT |
순수성 |
|
SF6 |
% |
≥99.999 |
≥99.99 |
O2+Ar |
ppmw |
≤2.0 |
≤10 |
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤ 30 |
H2O |
ppmw |
≤2.0 |
≤10 |
HF |
ppmw |
≤40 |
≤0.3 |
THC(CH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1.0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
C |
ppmw |
≤0.5 |
≤2 |
적용 분야:
반도체 |
플라즈마 에칭. 불소 플라즈마 에칭제/분해 산물은 에칭을 수행할 수 있습니다 |
||||||
약품 |
마취, 망막 탈리수술, 초음파 영상 |
||||||
전기 장비 |
고전압 회로 차단기 및 가스 절연 스위치 기어 |
||||||
고출력 전자기파 시스템 |
파이프를 압력화하며, 파이프를 절연하여 내부 스파크를 방지합니다 |
||||||
포장 & 쇼핑
패키지 크기 |
40리터 용기 |
47Ltr 실린더 |
50리터 탱크 |
||
충전량/용기 |
50kg |
52kg |
55-60kg |
||
20피트 컨테이너당 수량 |
260Cyl |
260Cyl |
260Cyl |
||
밸브 |
CGA580, CGA590, QF-2C |
||||
자주 묻는 질문
응용
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회사 소개
