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의료용 엑시머 레이저 프리믹스 가스 — 알콘 웨이브라이트(Wavelight), 슈인트 아마리스(Amaris), 니덱(Nidek) 장비와 호환 가능 | ArF 193nm, 20L

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제품에 대해

강조

나노 규모 혼합 정밀도: 당사는 고급 중량식 충전 장치 및 질량 유량 조절기(MFC)를 활용하여 가스 혼합 허용 오차를 1%~2% 수준으로 정밀하게 제어합니다. 이를 통해 DUV 리소그래피 공정에서 레이저 펄스 에너지와 안정성을 일관되게 유지할 수 있습니다. 독자적인 패시베이션 기술: F₂는 극도로 반응성이 높은 가스입니다. 당사의 실린더는 특수 내부 표면 패시베이션 공정을 거쳐 안정적인 불화물 층을 형성함으로써, 가스 혼합물이 실린더 벽과 반응하는 것을 방지하고 장기 보관 기간(최대 12~24개월)을 확보합니다. 초고순도 구성 성분: 레이저 소멸 또는 광학 부품 손상을 유발할 수 있는 미량 불순물(O₂, H₂O, HF)을 최소화하기 위해 기저 가스로 순도 6N(99.9999%)의 네온(Neon) 및 크립톤/크세논(Krypton/Xenon)만을 사용합니다. 전문가 수준의 안전 포장: DISS(Diameter Index Safety System) 또는 부식성 가스 전용 밸브가 장착된 특수 고압 니켈 합금 또는 처리된 강재 실린더에 포장되어 국제 운송 중 완전한 누출 방지를 보장합니다.
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회사 소개

AGEM은 2008년에 중국 대만을 본사로 두고 설립된 다국적 전문 가스 장비 제조업체이자 서비스 제공업체입니다. 16년간의 전문 산업 경험을 바탕으로, AGEM은 글로벌 진출 역량, 뛰어난 제조 기술 및 포괄적인 제품 포트폴리오를 통해 가스 장비 분야의 벤치마크 기업으로서의 위상을 확고히 다졌습니다. 회사는 글로벌화 전략을 지속적으로 추진하며, 중국 본토, 중국 대만, 인도에 현대화된 생산 기지를 구축하여 아시아를 중심으로 전 세계로 확장되는 생산 및 서비스 네트워크를 형성하였습니다. 각 기지에는 지능형 생산 라인과 정밀 검사 장비가 갖춰져 있어 원자재 가공부터 완제품 납품에 이르기까지 전 공정에 걸친 철저한 품질 관리를 실현합니다. 연간 생산 능력이 꾸준히 업계 최상위 수준을 유지함에 따라, 회사는 글로벌 고객의 다양한 요구에 신속하고 유연하게 대응할 수 있습니다. 핵심 사업 분야는 가스 관련 핵심 장비로, 산업용 가스, 특수 가스 밸브, 고압 실린더, 경량 알루미늄 실린더, 고정밀 압력 조절기 등 전 범위의 제품을 포괄합니다. 이러한 제품들은 화학, 전자, 의료, 에너지 등 핵심 산업 분야에 광범위하게 적용되고 있습니다. 깊이 있는 기술 역량을 바탕으로, 해당 제품들은 ISO 9001 품질 경영 시스템 인증을 비롯해 고압 장비에 대한 ASME 인증, EU 시장 진출을 위한 CE-PED 인증, 전 세계 적용을 위한 IECEx 방폭 인증 등 다수의 권위 있는 국제 인증을 획득하였습니다. 밀봉 성능, 내압 성능, 안전 보호 성능 등 주요 성능 지표는 국제적으로 선진 수준을 달성하였습니다. 회사는 기술 혁신을 핵심 경쟁력을 지속적으로 강화하는 데 주력하며, 국제적 수준의 R&D 팀을 구성하고 기술적 돌파를 위한 지속적인 투자를 이어가고 있습니다.
Factory profile Competitive advantages Customization capabilities Company overview Factory profile

자주 묻는 질문

ASML, Cymer 또는 Gigaphoton 장비용 특정 혼합 가스를 생산할 수 있습니까?

네. 당사는 주요 엑시머 레이저 제조사 전부의 특정 '프리믹스(pre-mix)' 또는 '충전 가스(fill-gas)' 요구 사양에 정확히 부합하도록 몰 비율(예: 불소 5% 함유 네온 및 미량의 아르곤/크립톤)을 맞춤형으로 조정할 수 있습니다.

불소 농도를 시간 경과에 따라 어떻게 보장합니까?

당사의 고급 패시베이션(passivation) 및 습기 제거 기술을 통해 실린더 수명 동안 F₂ 농도가 안정적으로 유지되도록 보장하며, 레이저 출력 저하를 유발하는 '가스 드리프트(gas drift)'를 방지합니다.

이 혼합 가스의 운송 규정은 무엇입니까?

불소 함유로 인해 이 혼합 가스는 UN 3306, 2.3류(독성) + 2.1류(인화성) 또는 8류(부식성) 부위험물로 분류됩니다. 당사는 타이완 및 중국 거점에서 IMO 규정을 완전히 준수하는 서류와 특수 위험물(DG) 포장재를 제공합니다.

희귀 가스(Ne, Kr, Xe)를 현장 혼합용 별도 구성 성분으로도 공급합니까?

예, 귀사의 레이저 시스템 가스 캐비닛 구성에 따라 개별 고순도 희귀 가스 또는 사전 혼합된 "할로겐" 및 "희귀 가스" 혼합물을 제공해 드릴 수 있습니다.

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